采用紫外光刻电铸和微成型(UV LIGA)技术制造太赫兹真空器件的高频结构，频率为94~220 GHz。对于94 GHz高频结构，尺寸误差≤15 μm，采用此高频结构的脉冲行波管输出功率大于100 W；180 GHz高频结构，尺寸误差≤5 μm，采用此高频结构的太赫兹行波管二倍频器输出功率高于100 mW，带宽为11.4 GHz；220 GHz高频结构，尺寸误差≤3 μm，衰减因子为240 dB/m。UV LIGA技术在太赫兹真空器件中的成功应用，不但为毫米波太赫兹器件研制奠定了基础，同时也为UV LIGA技术在设计制造毫米波太赫兹器件领域，包括有源和无源器件，开辟了一番新天地。