集成太赫兹滤波器是实现集成太赫兹通信系统的基本器件之一，为了使太赫兹滤波器实现片上可调，提出了基于温控系统的太赫兹可调谐滤波器。相比于其他的太赫兹滤波器，提出的片上可调谐滤波器的调谐方法简单，尺寸小，可以很好地与其他太赫兹器件集成到晶片上。利用温控系统改变晶片的温度，再利用硅材料的热光效应改变折射率，使得微环耦合状态发生变化，从而让太赫兹滤波器的谐振峰发生漂移。在将加热片从30 ℃逐渐加温到90 ℃的过程中，太赫兹可调谐滤波器在180 GHz附近的谐振峰中心频率从180.453 GHz逐渐减小到180.224 GHz，变化范围为0.229 GHz，谐振深度从−68 dB逐渐变化为−44 dB，半高宽由原来的0.040 GHz逐渐变为0.246 GHz。