红外与激光工程
2022, 51(9): 20220457
1 中国民航大学中欧航空工程师学院, 天津 300300
2 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
通过白光扫描干涉术研究了用于非球面元件的大范围测量方法并利用纳米测量机（NMM）构建了测量系统。对系统的运行环境进行分析，定量给出了评定结果。在系统环境得以保证的前提下，重点研究了无重叠拼接方法，并将结果进行了对比；针对周期性非球面光学表面，提出通过白光倾斜扫描干涉法进行测量。扫描过程中，测试样品倾斜通过干涉区，消除了物镜视场的影响，使毫米量级表面一次扫描即可完成测量。针对扫描过程，分析了扫描过程中干涉条纹移出视场现象及双角度不一致对测量结果的影响。
测量 大范围评价 无重叠拼接 白光倾斜扫描干涉术 非球面光学元件 激光与光电子学进展
2014, 51(6): 061207
1 厦门大学 物理与机电工程学院, 福建 厦门 361005
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
根据大口径非球面光学元件的实际加工需要，设计并制造可控气囊抛光系统，并对机构进行运动学仿真，仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求。为了证明所设计系统的可加工性，以直径320 mm的圆形平面光学元件进行加工实验。经过该气囊抛光工具24 h的抛光后，工件达到较好的面型精度，光学元件的表面粗糙度由0.272λ减小到0.068λ(λ＝632.8 nm)， PV值从1.671λ降低到0.905λ。对光学元件的实际加工实验结果表明：可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好，符合设计要求，可有效提高加工工件面型精度。
大口径非球面光学元件 进动抛光 可控气囊抛光系统 设计及研制 large aspheric lenses precession finishing controlled bonnet polishing system design and manufacture
1 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
2 西安应用光学研究所, 陕西 西安 710065
构建了一台数字化刀口仪，利用该数字刀口仪对二次非球面光学元件进行实际检验，获得了非球面光学元件表面面形的均方根(RMS)值和峰谷(PV)值。将数字刀口仪测量结果与干涉仪测量结果进行比较，测量结果的一致性在0.001 μm以内，验证了数字刀口仪定量检测非球面光学元件的可行性以及所研究的数字刀口仪的准确性。最后对测量结果进行了讨论。
测量 非球面光学元件 刀口检验 波像差
