光电子技术, 2019, 39 (1): 21, 网络出版: 2019-04-11
H扩散掺杂源漏的自对准顶栅a-IGZO TFT制备工艺研究
Fabrication of Self-aligned Top-gate a-IGZO TFT with Source-drain Doped by Hydrogen Diffusion
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