激光与光电子学进展, 2017, 54 (11): 113102, 网络出版: 2017-11-17
PECVD技术在微结构表面沉积薄膜的复形性 下载: 574次
Reproducibility of Thin Films Deposited on Microstructure Surface by PECVD Technology
薄膜 复形性 光刻 等离子体增强化学气相沉积 微结构滤光片 thin films reproducibility photo etching plasma enhanced chemical vapor deposition microstructure filter
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