苏航 1,2王孝坤 1,2程强 1,2李凌众 1,2[ ... ]张学军 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法。由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过拼接算法将中心检测数据和外圈检测数据进行拼接从而得到全口径面形。结合实例对一块口径为540 mm的大口径凸非球面进行测量,并将检测结果与Luphoscan 检测结果进行对比,两种方法检测面形残差的RMS值为0.019λ,自检验子孔径与拼接结果点对点相减后的RMS值为0.017λ。结果表明该方法能够实现大口径凸非球面的高精度检测。
光学检测 大口径凸非球面 混合补偿 子孔径拼接检测 计算全息 optical testing large convex asphere mixed compensation sub-aperture stitching testing computer generated hologram 
红外与激光工程
2022, 51(9): 20220576
作者单位
摘要
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室, 长春130033
将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法, 对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究, 并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大口径凸非球面的离轴三反光学系统的各反射镜进行加工, 并对整个系统进行装调和测试.测定光学系统各视场的波像差分布, 通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值求解得到大口径凸非球面全口径的面形信息.结合工程实例, 对一口径为292 mm×183 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工, 其最终面形分布的均方根值为0.017λ(λ=632.8 nm).
光学加工 光学检测 凸非球面 计算机控制光学表面成形 磁流变抛光 子孔径拼接 Optical fabrication Optical testing Convex asphere Computer Controlled Optical Surfacing(CCOS) Magneto Rheological Finishing (MRF) Subaperture Stitching Interferometry (SSI) 
光子学报
2016, 45(7): 070722001
作者单位
摘要
中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
在现代光学检测中,凸非球面的检测一直是一个难点。辅助面的背向零位检测方法, 从三级像差理论出发,通过计算非球面的法距差,来探讨辅助面对凸非球面法距差的补偿校 正能力。这种检验方法可用于偏心率-1/n2几何光学 辅助面补偿 凸非球面检测 geometric optics auxiliary surface compensation convex asphere testing 
量子电子学报
2014, 31(5): 520
作者单位
摘要
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
在简要总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用部分补偿法和子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。分别研究和分析了这两种非零位检测非球面方法的基本原理和基础理论;设计并制作了部分补偿器件,并对其系统误差进行了标定;开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法;设计并研制了两种方法都适用的检测装置。并结合实例对一口径为130 mm的碳化硅凸非球面分别进行了部分补偿检测和子孔径拼接测量,这两种方法测量所得的全口径面形分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差仅为0.010 λ和 0.002 λ(λ=0.632 8 μm)。从而提供了两种非零位补偿测试凸非球面的手段。
非零位检测 部分补偿 子孔径拼接干涉 凸非球面 零位补偿 non-null testing partial compensation SSI convex asphere null compensation 
应用光学
2012, 33(1): 124
作者单位
摘要
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033
在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸非球面全口径的面形分布。研究和分析了该方法的基本原理和基础理论,开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法。设计和研制了子孔径拼接干涉检测装置,并结合实例对口径为140 mm的碳化硅凸非球面进行了子孔径拼接测量,得到了精确的全口径面形分布,其面形分布的峰值(PV)和均方根(RMS)值偏差分别为0.274λ和0.024λ(λ=632.8 nm),且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV和RMS值的偏差仅为0.064λ和0.002λ,从而提供了又一种定量测试凸非球面的手段。
测量 子孔径拼接干涉(SSI) 凸非球面 零位补偿测试 
光学学报
2010, 30(7): 2022

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