作者单位
摘要
中国计量大学 计量测试工程学院,杭州 310018
针对单波长Mirau干涉显微镜存在测量范围小和2π模糊等问题,提出了多波长Mirau偏振干涉显微镜,以实现微观轮廓的大动态范围测量的和表面粗糙度等显微结构的瞬态检测。系统利用R、G、B三个单色LED光源实现多波长干涉;利用彩色偏振相机获取瞬态相移干涉条纹图,降低实时瞬态检测中复杂的环境扰动影响;利用线栅偏振片调节条纹对比度,满足不同被测对象的反射率检测要求。为验证系统方案的可行性,经过系统误差补偿校准后测量标称值为1.993 9 μm的标准微米台阶,结果与标称值的偏差约为5.4 nm。利用该方法与Wyko干涉仪对金刚石车削凸面反射镜表面微观轮廓和表面粗糙度进行测量,表面粗糙度测量结果均方根值偏差为3.7 nm,验证了该系统可实现高精度的大动态范围测量。
多波长干涉 瞬态检测 偏振成像 Mirau干涉显微镜 误差校正 Multi-wavelengths interferometry Transient measurement Polarization imaging Mirau interference microscope Error calibration 
光子学报
2024, 53(1): 0111001
胡晨 1,3魏朝阳 1,3,*万嵩林 1江国昌 1[ ... ]邵建达 1,2,3,**
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心,上海 201800
2 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光材料重点实验室,上海 201800
3 中国科学院大学材料科学与光电子工程中心,北京 100049
随着激光脉冲宽度极限的不断突破以及峰值功率的不断提高,脉宽压缩光栅的尺寸需要进一步增大。但反射式曝光系统所需大口径长焦距离轴镜的高精度加工检测成为制约大口径光栅制作的难题。采用计算全息补偿检测不需要复杂的设计和装调,但同样会引入非回转对称和复杂的二维投影畸变。传统的畸变校正方法由于精度受限或计算复杂不利于工程应用。提出基于数值计算的畸变校正方法,该方法具有简单通用易于编程的优点。利用800 mm口径折反镜在直径为18 m光学平台上搭建了面形检测光路,通过系统误差标定去除以及畸变校正的方法实现了高精度面形测量,经磁流变迭代加工后,面形精度RMS可收敛至0.013λλ=632.8 nm),这为后续大口径反射式曝光系统的建立奠定了基础。
离轴抛物面镜 计算全息图 误差标定 投影畸变校正 
中国激光
2023, 50(23): 2304002
作者单位
摘要
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室,北京 100081
四波前横向剪切干涉(QWLSI)是一种精度高、动态范围大、分辨率高、抗干扰能力强的瞬态波前检测技术。本文结合国内外相关研究工作,重点阐述了本课题组在分束器件设计、多方向横向剪切干涉图处理、测量误差校准等QWLSI的关键技术研究方面取得的进展。以关键技术研究为基础,本课题组开发了QWLSI的原理装置,其绝对测量精度(RMS)达到0.0038λ(2.4 nm,λ=635 nm),重复测量精度(RMS)达到0.0004λ(0.25 nm,λ=635 nm)。QWLSI与商品化的夏克-哈特曼波前传感器的对比实验结果表明,两种仪器对含有第4~36项单项Zernike像差入射波前的测量结果基本一致。
光学检测 剪切干涉 衍射光栅 相位提取 波前重建 误差校准 
光学学报
2023, 43(15): 1512001
作者单位
摘要
1 中国计量大学 计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
2 浙江大学温州研究院,浙江 温州 325006
条纹投影测量技术为复杂曲面提供了一种大动态范围的非接触式三维形貌检测方式。在基于双光纤点衍射干涉的条纹投影检测系统中,系统结构参数对最终面形检测精度影响较大。通过建立系统结构几何分析模型,对系统结构参数进行了优化。针对双光纤点衍射探头投射角标定误差的影响,传统基于零级亮条纹定位的投射端投射角标定方法由于临近级次条纹光强较为接近难以区分而导致存在较大误差,为此提出了一种基于基准平面的投射角迭代校正方法,在原标定方法的基础上进一步提高了其标定精度,进而有效提高了面形检测精度。为验证所提出方法的可行性,搭建实验系统对不同斜率动态范围的待测物测量比对,结果表明校正前后的测量系统与三坐标测量机的测量结果偏差从0.418 2 mm减小至0.021 1 mm,实现了微米级的检测精度,为各类复杂曲面的高精度检测提供了一种可行的方法。
轮廓测量 光纤点衍射干涉 条纹投影 几何误差校正 复杂曲面 profilometry fiber-diffraction interferometry fringe projection geometrical error calibration complex surface 
红外与激光工程
2022, 51(3): 20210140
作者单位
摘要
南京理工大学 电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
随着精密制造行业对光学元件面形要求的提高, 干涉仪系统误差的标定越来越重要。其中, 采用液面基准法作为干涉仪系统误差标定的方案具有高精度, 低成本的优点。在不考虑外界因素的影响下, 理论上液体平晶曲率与地球半径相同, 可认作绝对平面进行系统误差标定。但由于液体对环境较为敏感, 不易控制, 因此如何建立一个高精度的液面基准是整个过程中最为关键的一个环节, 其直接影响了系统精度。由于液体的流动性特点使得以往的时间移相方法不再适用, 因此采用了点源异位立式斐索干涉仪进行液面的动态测量, 对液体、液盘的各项性质进行综合分析。最终完成了高精度的液面基准建立, 可用于干涉仪的系统误差标定。
干涉测量 误差标定 点源异位 动态干涉仪 液面基准 interferometry error calibration displacement of point source dynamic interferometer liquid reference 
光学技术
2020, 46(6): 684
作者单位
摘要
海军航空大学, 山东 烟台 264001
为有效提高雷达探测精度, 提出一种系统误差非均匀分布下的拟合分区校准方法。该方法首先对于雷达对海量测多目标信息与自动识别系统(AIS)提供的真值数据进行时空对准与相关处理得到误差序列;进而给出了两种非均匀分布下系统误差分布假设;在假设合理性的基础上, 通过拟合处理对雷达探测覆盖海域进行区域划分, 得到系统误差估计值对对海雷达进行校准。最后, 实验证明了该方法的有效性。
雷达 探测精度 误差校准 非均匀分布 拟合分区 radar detection accuracy error calibration non-uniform distribution fitted partitioning 
电光与控制
2020, 27(3): 69
作者单位
摘要
1 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 安徽 合肥 230031
2 中国科学技术大学, 安徽 合肥 230026
反射式点光源设备可用于光学遥感器的在轨调制传递函数检测和绝对辐射定标等,其高精度指向是确保太阳光反射至遥感器入瞳的关键。通过进一步提高指向精度,可以减小现有点光源的体积和质量,具有重要的工程意义。通过建立几何误差标校模型和反射镜法向标校模型,去除旋转矩阵参数的相关性;利用阻尼Gauss-Newton方法迭代求解标校模型参数,实现了反射式点光源优于0.1°的指向精度。该研究为实现光学卫星遥感器的高精度、高频次、全动态范围的定标检测提供了基础。
遥感 误差校正模型 几何误差 太阳敏感器 点光源 
光学学报
2018, 38(5): 0528004
作者单位
摘要
1 中国科学院电子学研究所, 北京 100190
2 中国科学院大学, 北京 100049
即使机载激光雷达经过良好的检校, 激光雷达数据仍可能呈现残余系统误差, 从而导致测区各个航带存在变形。先基于面特征计算安置角, 为消除残余系统误差的航带平差提供初始点云; 再基于迭代最近点法(ICP)的航带平差法, 以连接点三维坐标相等为条件, 对扫描角度误差进行非线性变形改正。结果表明, 该方法能保证高空飞行数据的绝对精度, 点云精度可满足要求。
传感器 激光雷达 系统误差标定 航带平差法 
中国激光
2017, 44(12): 1210003
作者单位
摘要
海军航空工程学院 控制工程系, 山东 烟台264001
针对十字形磁梯度张量系统中的单磁力仪误差(三轴灵敏度偏差、非正交误差和零点漂移误差)以及磁力仪之间存在的不对正误差, 提出了十字形磁梯度张量系统的误差校正方法。首先, 建立单磁力仪误差模型, 采用基于椭球约束的最小二乘拟合算法对磁力仪的测量数据进行拟合从而得到椭球拟合参数; 然后, 接着利用Cholesky分解得到单磁力仪误差校正矩阵; 最后在单磁力仪误差校正的基础上, 利用正交Procrustes方法对不同磁力仪间的测量数据进行拟合从而得到磁力仪间的不对正误差校正矩阵。对提出的方法进行仿真与实测实验验证, 实验结果表明: 经过校正, 磁梯度张量各分量的最大波动量由10 049 nT/m降到52 nT/m。提出的校正方法可以基本消除十字形磁梯度张量系统的误差, 提高测量结果的准确度, 且方法操作简单, 不需要高精度的三轴无磁转台等设备, 具有较高的实用价值。
磁场测量 椭球拟合 误差校正 磁梯度张量 magnetic field measurement ellipsoid fitting error calibration magnetic gradient tensor 
光学 精密工程
2017, 25(7): 1919
作者单位
摘要
1 信息工程大学 地理空间信息学院, 河南 郑州 450052
2 地理信息工程国家重点实验室, 陕西 西安 710054
3 西安测绘研究所, 陕西 西安 710054
4 中国科学院光电研究院, 北京 100094
机载激光雷达系统是集激光扫描仪、全球定位系统和惯性导航系统等于一体的多传感器集成系统。机载激光雷达的检校和标定是保证激光点云定位精度的关键环节,其中扫描系统安置角误差是影响定位精度的主要因素之一。首先介绍了国产中远程机载激光雷达Mars-LiDAR系统, 然后基于误差传播定律对系统误差进行了分析。研究了系统安置角误差的飞行检校方法, 采用外场定标的方法将安置角进行动态分离, 并通过飞行试验完成了系统安置角误差的动态检校, 对Mars-LiDAR系统在3000 m、4000 m飞行高度获取的点云进行了定位精度分析和校正, 验证了Mars-LiDAR系统安置角误差检校方法的实用性。
机载激光雷达系统 系统误差 安置角误差 三维点云 误差检校 airborne LiDAR system system error installation angle error three dimensional point cloud data error calibration 
红外与激光工程
2016, 45(12): 1217009

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