王姗姗 1石峰 2,*乔硕 2徐博文 1[ ... ]彭星 2
作者单位
摘要
1 北京理工大学 光电学院,精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京 100081
2 国防科技大学 智能科学学院,长沙 410073
3 长春理工大学 光电工程学院,长春 130022
针对基于强光元件高精度面形在位检测需求,开展了面形测量误差敏感因素仿真分析,进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究,分析各类误差对测量面形误差的具体影响,设计并搭建在位检测系统,开展系统温度变化、系统重复性、系统稳定性等测量实验。研究结果表明:所建立的逆向哈特曼仿真检测模型可用于平面、球面、非球面、自由曲面等各类型被测面,各类影响因素对测量结果的影响主要体现在低频误差上,对高频误差的影响相对较小,搭建的在位检测系统6 h内测量面形误差PV值最大不超过68 nm(约λ/10),RMS值最大不超过15 nm(约λ/40)。
面形测量 在位检测 强光元件 误差分析 仿真模型 shape measurement in-situ measurement optical element error analysis simulation model 
强激光与粒子束
2023, 35(9): 091002
作者单位
摘要
中国海洋大学信息科学与工程学院, 山东 青岛 266100
海洋与大气交换的CO2通量是研究海-气之间碳循环过程及海洋酸化问题的重要指标, 其估算方法主要依赖于海水中CO2的测量。 可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)作为一种常用的气体浓度检测技术, 因其具有较好的环境适应性、 选择性和较高的灵敏度, 亦可发挥出水中溶存气体原位测量的潜力。 为验证将TDLAS技术应用到海洋中溶存CO2原位探测的可行性, 将渗透膜脱气技术与实验室研发的TDLAS气体探测样机相结合, 实现了海水中溶存CO2的原位探测。 为适应水下的复杂环境, 样机整体被设计为铝合金密封舱结构, 具有良好的密封性、 耐压性与耐腐蚀性。 激光光源采用中心波数位于4 990 cm-1的DFB激光器, 其波数扫描范围为4 992~4 994.5 cm-1, 可覆盖CO2在4 992.51和4 993.74 cm-1的相邻两条吸收谱线。 渗透膜采用具有优秀耐压性与透气性的Teflon AF-2400 X, 可满足样机在深水区长期探测的目的。 为兼顾较高探测灵敏度与较快响应速率双重指标要求, 样机采用了一种小型化多次反射式气体吸收池, 有效吸收光程可达8 m, 内部仅需气体量24 mL, 具有良好的吸收特性。 在实验室对样机进行校正实验, 使用样机对5种不同浓度(202.8×10-6, 503×10-6, 802×10-6, 1 006×10-6和2 019×10-6)的标准CO2气体进行测量, 测量值与实际值的线性相关度R2高达99.94%, 最大相对误差小于8%, 减小了样机误差对测量值的影响。 为评估样机长时间工作的稳定性, 使用样机对浓度为802×10-6的标准CO2气体进行了30 min的连续测量, 平均测量浓度为802.6×10-6, 其波动范围仅为10×10-6, 样机精度约为0.5%, 可满足水中溶存气体探测的要求。 选取水深3米的近海码头进行试验, 成功获得了24 h水中CO2的典型吸收光谱及浓度时间序列测量结果, 验证了样机水下工作的能力与稳定性。 通过在东海海域五处不同深度的区域进行现场试验, 成功获取溶存CO2的典型吸收光谱, 证明了结合渗透膜脱气技术的TDLAS探测样机在30 m以浅水域的工作适应性。
溶存CO2气体 可调谐半导体激光吸收光谱 渗透膜 原位测量 Dissolved carbon dioxide gas Tunable diode laser absorption spectroscopy Permeable membrane In-situ measurement 
光谱学与光谱分析
2022, 42(4): 1264
作者单位
摘要
中国航发北京航空材料研究院,北京 100095
采用MSC Marc软件建立了热力耦合有限元模型,分析了激光直接沉积过程中的温度与应力变形的演变过程。考虑高温下钛合金的应力松弛行为,通过多次迭代修正了材料本构方程。同时,基于热电偶与激光位移传感器开发了成形过程中的瞬态实时测量装置,对钛合金薄壁件实际成形过程中的温度和变形进行了原位测量。对修正后的模型的模拟计算值和实测值进行比较与分析,结果表明:原位测量结果与模拟结果的温度误差仅为7.9%,变形误差为19.6%,基板变形的规律一致;沉积层总体呈拉应力状态,主应力方向与沉积方向一致。
激光光学 激光直接沉积 原位测量 热力耦合模型 残余应力与变形 有限元方法 
激光与光电子学进展
2022, 59(11): 1114007
作者单位
摘要
上海交通大学 机械与动力工程学院, 上海200240
为了提高微透镜阵列单点金刚石车削的加工精度与一致性,提出了加工误差的理论模型,并针对其补偿方法进行了理论分析和实验研究。将微透镜阵列加工等效为自由曲面加工,通过建立单点金刚石慢刀伺服切削模型,计算了理论曲面在每一个切削点处沿切削方向的曲率半径;结合刀具等效倾斜角模型和机床加工时延模型,进一步得到了慢刀伺服切削微透镜阵列误差面形的理论预测值。然后,使用原位测量设备测量处理得到实际加工误差,将面形误差理论值与实际加工误差测量值比较,并将面形误差理论值预补偿到加工程序中。实验结果表明,面形误差理论值与实际加工误差测量值具有一致性,两者偏差在[-0.7 μm,0.3 μm];补偿加工后微透镜阵列的PV值从5.4 μm降低到0.6 μm。所提出的微透镜阵列的单点金刚石车削加工与补偿方法能够预测误差面形,显著提升面形精度与一致性。
超精密加工 微透镜阵列 单点金刚石车削 慢刀伺服 原位测量 加工补偿 ultra-precision fabrication micro-lens array single diamond turning slow slide servo in situ measurement machining compensation 
光学 精密工程
2022, 30(7): 813
作者单位
摘要
齐鲁工业大学(山东省科学院)激光研究所,山东 济南 250103
基于掺杂光纤光热转换效应和光纤光栅测温原理研发了一种全光纤微型土壤水分含量传感器。利用1480 nm泵浦激光对埋设在土壤中的掺钴光纤加热,同时利用刻写在掺钴光纤上的布拉格光栅测定其温度变化,根据加热过程中温度特征值与含水率之间存在的线性关系实现土壤水分含量的原位测量。为了验证该方法的可行性和传感器准确度,搭建了土壤水分含量测试平台并进行实验,实验表明温度特征值与土壤含水率之间存在线性关系;且研发的全光纤微型土壤水分含量传感器所测土壤含水率与烘干法有较好的一致性,最大误差−1.41%,明显优于电导率法。这种新型的土壤水分含量测量方法具有微型化、低功耗的特点。
全光纤土壤水分含量传感器 光热转换 原位测量 all-optical fiber soil moisture content sensor light-to-heat conversion in-situ measurement 
红外与激光工程
2022, 51(3): 20210299
作者单位
摘要
复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海 200438
复杂光学曲面的在位测量是当前精密工程领域面临的重要难题。偏折术对光学曲面的测量精度可与干涉仪相比, 而且拥有更高的测量效率、稳定性及动态范围, 因此具有广阔的应用前景。但是偏折测量本质上是一个标定问题, 其测量精度直接取决于几何标定的可靠性。本文结合单点金刚石切削机床设计了原位偏折测量系统, 采用机床中自带的气浮转台安装辅助反射镜, 在两个姿态下进行光线追迹, 通过数值优化计算各元件之间的相对位置, 将标定精度提高一个数量级。根据反向投影偏差的统计规律, 可有效分离工件的面形偏差与位姿误差。该方法有效利用了工件的名义面形信息, 将传统的位置 -面形单向映射转变为双向映射, 显著提高了在位测量的灵活性与效率。对于复杂的自由曲面, 采用子孔径拼接测量方法, 对待测的局部区域发展了精准定位技术, 有效保证了迭代重构过程的正确收敛。采用离轴抛物镜等光学曲面进行实验验证, 所提出的偏折测量方法的精度优于 150 nm RMS。
光学制造 在位测量 偏折术 几何标定 光线追迹 optical manufacturing in-situ measurement deflectometry geometrical calibration ray tracing 
光电工程
2020, 47(8): 190581
杨航 1,*宋书飘 1张帅 1甘欢 1[ ... ]何建国 2
作者单位
摘要
1 遵义师范学院工学院, 贵州 遵义 563006
2 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 四川 绵阳 621900
3 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室, 四川 成都 610200
提出一种磁流变抛光瞬变过程多相颗粒流模型,获得了瞬变过程在宏观、介观、微观三个层次的力学关联,从而建立了基于三向在位力学信号的瞬变过程表征方法,在位、同步、动态地测定了磁流变抛光的三向力学信号,解决了毫米尺度空间下磁流变抛光液-固界面的在位测量问题。采用屈服强度为220 kPa、宾汉黏度为0.07 Pa·s的高去除率抛光液对?50 mm的BK7超精密平面元件进行磁流变抛光实验,测量得到磁流变抛光流场瞬变响应时间为700 ms。
光学设计 强激光系统 超精密光学加工 磁流变抛光(MRF) 瞬变过程 在位测量 响应时间 
激光与光电子学进展
2020, 57(3): 032201
作者单位
摘要
1 安徽大学物理与材料科学学院, 安徽 合肥 230601
2 国家深海基地管理中心, 山东 青岛 266237
深海海域蕴藏着丰富的矿产、能源和生物资源, 具有潜在的巨大经济价值。深海溶解态矿物质是海底热液活动及演化的重要示踪剂。以深海海水中的硫离子为研究对象, 以迷你型高功率发光二极管(LED)作为激发光源,采用全光纤传输方式的设计理念, 结合基于朗伯-比尔定律的全光谱检测方法和化学显色法, 对深海离子矿物质的检测方法开展研究。在数据处理上, 采用自行建立的自适应性Savitzky-Golay滤波算法使光谱信噪比提高3~7倍。结果表明:在1 s时间分辨率和20 mm的有效光程下, 系统的检测灵敏度可达0.1 μmol/L以下, 且在0~32 μmol/L浓度范围内具有良好的线性响应特性(相关度R2>0.99)。
光谱学 吸收光谱 深海矿物质 原位测量 离子化合物 
中国激光
2018, 45(9): 0911011
作者单位
摘要
中国科学院 南海海洋研究所 热带海洋环境国家重点实验, 广东 广州 510301
浮游植物粒级通常采用采集水样的分级叶绿素法来测定, 比较费时且难以实现剖面连续测量。本文提出了一种基于测定海水光吸收来反演浮游植物粒级结构的原位测量系统。该测量系统硬件主要由高稳定光源、光学窗口、样品管、光纤高精度微型光谱仪、数据采集系统等组成。测量数据基于遗传算法来分析浮游植物粒级结构。海上初步试验结果表明, 该仪器能够测定水下300 m之内的浮游植物粒级结构, 实现1 m剖面分辨率的连续测量, 尤其适用于分析50~80 m深度叶绿素最大值层的浮游植物粒级结构变化, 在未来海洋浮游植物粒级结构测定中有良好的应用前景。
浮游植物粒级结构 原位测量 海水光吸收 光谱分析 phytoplankton size class in situ measurement light absorption of seawater spectral analysis 
光学 精密工程
2018, 26(4): 764
作者单位
摘要
大连理工大学, 先进控制技术研究所, 辽宁 大连 116024
作为一种原位、 快速、 无损坏的中红外光谱分析技术, ATR-FTIR已在很多工程领域得到越来越多的应用, 尤其是针对结晶过程溶液浓度的原位实时测量。 水是一种常用的结晶溶剂, 在中红外波段具有强吸收峰, 并且在不同温度下具有光谱吸收差异性, 因而不能忽略溶剂水和温度对溶液浓度的中红外光谱测量带来的影响。 以朗伯-比尔定律为基础, 提出采用溶液光谱减去相应温度下的溶剂光谱的方法, 从而能准确地测量溶液浓度。 以L-谷氨酸溶液结晶过程为例, 对L-谷氨酸水溶液的原始光谱数据、 溶液光谱扣除常温(25℃)溶剂水的光谱数据以及溶液光谱对应温度扣除溶剂水的光谱数据分别进行建模。 结果表明, 提出的对应温度差谱法能有效消除溶剂水峰对溶质光谱测量的干扰, 明显地降低了溶液浓度光谱标定模型的预测误差。 该方法对提高原位ATR-FTIR光谱检测精度的实际应用具有一定的参考价值。
水峰干扰 定量分析 原位测量 溶液浓度 结晶 Disturbance of water absorbance peak Quantitative analysis In-situ measurement Solution concentration ATR-FTIR ATR-FTIR Crystallization 
光谱学与光谱分析
2017, 37(10): 3011

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!