1 福州大学 物理与信息工程学院, 福建 福州 350116
2 中国福建光电信息科学与技术创新实验室, 福建 福州 350116
可靠的薄膜封装对提高有机发光二极管(Organic light-emitting diode,OLED)器件寿命至关重要。本文采用原子层沉积实现了致密Al2O3薄膜的低温制备, 并研究了喷墨打印PMMA墨水在Al2O3薄膜的均匀成膜以及Al2O3/PMMA交叠薄膜的水汽阻隔性能。实验结果表明, 当打印分辨率为300 DPI时, PMMA墨水在Al2O3薄膜表面均匀成膜, Al2O3/PMMA交叠薄膜具有良好的水汽阻隔性能和光学透过率。钙膜电学测试结果显示, 3对Al2O3/PMMA薄膜的水汽透过率低至8.34×10-5 g/(m2·d), 而光学透光率在可见光范围内高于95%, 表现出良好的OLED器件薄膜封装性能。
薄膜封装 原子层沉积 喷墨打印 水汽透过率 thin film encapsulation atomic layer deposition ink-jet printing water vapor transmission rate OLED OLED
1 北京理工大学 光电学院, 北京 100081
2 北京京东方光电科技有限公司, 北京 100176
研究了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺参数对SiNx及SiOxNy防潮能力的影响, 并测试了SiNx/SiOxNy叠层薄膜的水汽渗透速率(WVTR)。实验结果表明: 单层SiNx薄膜和SiOxNy薄膜都存在临界厚度, 当膜厚大于临界值时, 继续增大厚度不会明显改善薄膜的WVTR。当沉积温度从50℃提高到250℃, SiNx薄膜的WVTR从0.031g/(m2·day)降至0.010g/(m2·day)。SiOxNy沉积时, 增大N2O通入量对薄膜的WVTR影响不明显, 但可以有效改善薄膜的弯曲性能。最后, 4个SiNx/SiOxNy叠层膜的WVTR下降到了4.4×10-4g/(m2·day)。叠层膜防潮能力的显著提升归因于叠层结构可以有效解耦层与层之间的缺陷, 延长水汽渗透路径。
水汽渗透速率 叠层 弯曲 PECVD PECVD SiNx SiNx SiOxNy SiOxNy water vapor transmission rate stacks bending
1 华南理工大学 材料科学与工程学院, 广东 广州 510641
2 创维液晶器件（深圳）有限公司, 广东 深圳 518108
原子层沉积（ALD）方法可以制备出高质量薄膜, 被认为是可应用于柔性有机电致发光器件（OLED）最有发展前景的薄膜封装技术之一。本文采用原子层沉积（ALD）技术, 在低温（80 ℃）下, 研究了Al2O3及TiO2 薄膜的生长规律, 通过钙膜水汽透过率（WVTR）、薄膜接触角测试等手段, 研究了不同堆叠结构的多层Al2O3/TiO2复合封装薄膜的水汽阻隔特性, 其中5 nm/5 nm×8 dyads（重复堆叠次数）的Al2O3/TiO2叠层结构薄膜的WVTR达到2.1×10-5 g/m2/day。采用优化后的Al2O3/TiO2叠层结构薄膜对OLED器件进行封装, 实验发现封装后的OLED器件在高温高湿条件下展现了较好的寿命特性。
有机电致发光器件 薄膜封装 原子层沉积 水汽透过率 organic electroluminescent devices thin film encapsulation atomic layer deposition water vapor transmission rate
1 上海大学 机电工程与自动化学院, 上海200072
2 上海大学 新型显示技术及应用集成教育部重点实验室, 上海200072
水汽透过率(WVTR)是衡量有机电致发光器件(OLED)封装薄膜性能的重要参数之一。本文研究了基于钙电学法的WVTR测试方法, 设计并研制了可满足OLED水汽透过率测试精度和功能要求的测试系统, 测试精度达1×10-6 g·m－2·d－1, 量程为10 g·m－2·d－1, 可同时完成20个样品的快速、精确测量。利用本系统对采用原子层沉积技术制备的不同厚度Al2O3封装薄膜的WVTR进行了测试研究, 结果表明, Al2O3薄膜具有良好的水汽阻挡性能。
有机电致发光器件 水汽透过率 钙电学测量法 多通道测试系统 薄膜封装 organic light emitting devices water vapor transmission rate electrical calcium test multi-channel measurement system thin film encapsulation
