作者单位
摘要
1 季华实验室, 广东 佛山 528000
2 佛山科学技术学院, 广东 佛山 528000
3 沈阳芯源微电子设备股份有限公司, 辽宁 沈阳 110168
为缩短12寸晶圆检测成像系统的轴向和径向尺寸,提出一种小角度棱镜折转光路与超短物像距镜头相结合的解决方法。设计优于1/12λλ=632.8 nm)面形精度的小角度棱镜折转光路,实现照明系统与成像镜头的水平布置,径向尺寸仅为80 mm,在保证不影响系统成像质量的前提下,极大地降低了整个系统的径向尺寸,同时也实现了12°的小角度明场照明。设计放大倍率为0.264的对称混合型光学系统,采用纯球面系统获得较大成像视场,像高为81.92 mm,物像距仅为392.5 mm,极大地降低了整个系统轴向尺寸。设计结果表明,整个成像系统全视场平均光学传递函数优于0.4@100l p/mm,相对畸变优于0.03%,像面照度均匀性全视场优于50%。实际测试结果表明:全视场实际成像分辨率优于18.88 μm,达到了系统极限分辨率;全视场像面照度均匀性为43.3%,满足均匀性优于40%的研制要求。研究结果表明本文提出的超薄超短物像距高分辨率检测成像系统合理、有效,解决了12寸晶圆检测成像系统空间尺寸压缩的难题,并降低了研制成本,为后续近距离大尺寸物体检测成像系统的研制提供参考依据。
棱镜 物像距 对称混合型光学系统 像面照度均匀 prism object-image distance symmetric hybrid optical system image surface illumination uniformity 
中国光学
2024, 17(1): 61
李香兰 1,2金霞 3吕金光 1郑凯丰 1,*[ ... ]梁静秋 1,*
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 中国电子科技集团公司第四十六研究所, 天津 300220
本文提出了一种基于Micro LED阵列的车灯投影方案,设计了以像素尺寸为80 μm×80 μm的200×150白光Micro LED阵列作为显示光源,视场角为16°×34°的车灯投影光学系统,并对物面倾斜角度和光学系统结构进行了优化。此外,分别采用反向畸变处理方法和像素灰度调制方法用以解决车灯投影图像的梯形畸变和照度均匀性问题,并搭建了投影实验平台,对图像校正方法进行了验证。实验结果表明:校正后图像梯形畸变系数p1p2分别从0.0932和0.3680下降至0.0835和0.0373,像面照度均匀性从83.2%提高到93.2%。本文通过对基于Micro LED的倾斜投影车灯光学系统进行优化设计及采用图像校正方法,实现了高光效、低畸变的车灯投影。
车灯投影光学系统 光学设计 Micro LED 照度均匀 梯形畸变 headlight projection optical system optical design Micro LED illumination uniformity trapezoidal distortion 
中国光学
2024, 17(1): 89
作者单位
摘要
1 南京工业大学 1. 材料科学与工程学院, 南京 211816
2 南京工业大学
3 2. 电光源材料研究所, 南京 210009
4 3. 轻工业部南京电光源材料科学研究所, 南京 210015
5 南京工业大学 4. 江苏长晶科技有限公司, 南京 211800
基于Taguchi实验方法和Tracepro仿真软件, 研究了Mini LED背光模组中LED芯片大小、芯片发光半角、芯片出光面到液晶层的距离等因素, 对液晶面板照度均匀性的影响规律并对其进行了相应分析。研究结果表明: 芯片出光面到液晶层的距离对照度均匀性影响最大, 影响因素的权重占比达到82.88%; 发光半角占比14.33%: 芯片大小占比为14.33%。根据研究结果, 固定发光半角与芯片尺寸, 调节出光面与液晶面板层的距离, 得到了最优的照度均匀度。
背光模组 芯片大小 发光半角 照度均匀 Mini LED Mini LED backlight module chip size luminous half angle illumination uniformity 
半导体光电
2021, 42(4): 493
作者单位
摘要
1 重庆邮电大学 通信与信息工程学院,重庆 400065
2 重庆邮电大学 数字医疗装备与系统重庆市工程实验中心,重庆 400065
提高发光二极管(light emitting diode,LED)组成的光疗光源在照射平面上的照度均匀分布水平,对于光疗设备发展具有重要的价值。提出了一种基于多目标人工鱼群算法的光疗LED光源的照度优化方法。设计了2种不同组合模式的光疗LED光源阵列。结合多目标人工鱼群算法对光疗LED光源阵列组合数据进行优化,使光疗LED光源阵列的照度分布更加均匀。将优化设计后的光疗LED 光源芯片组合数据,导入光学仿真软件TracePro实现仿真验证,得到经优化的圆形光源排列的照度均匀程度较未优化圆形光源排列提升0.104,矩形光源排列的照度均匀程度较未优化矩形光源排列提升0.148。对比分析最终数据,验证了该优化方法是可行的,可以提高光疗LED光源的照度分布水平。
光疗发光二极管 多目标人工鱼群算法 照度均匀 优化方法 phototherapy light emitting diode multi-objective artificial fish swarm algorithm uniform illuminance optimization method 
应用光学
2021, 42(2): 352
刘红 1,2,*翟长鑫 1,2文燕燕 1,2席磊 1,2杜宗育 1,2
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 长春理工大学光电工程国家级实验教学示范中心,吉林 长春 130022
针对可见光通信系统存在的光照度和接收平面功率分配不均匀的问题,提出了基于多种群遗传算法的光源布局模型。以 15个 LED灯为例,构造和接收功率方差有关的适应度函数,采用多个种群协同进化的方式,对 LED灯的位置坐标信息进行寻优。经 Matlab R2016a仿真结果表明,优化后的功率分布直观上更均匀,功率方差达到 1.5744 dBm,照度范围为 889 lx ~1009 lx,照度均匀度亦达到 91.73%,均优于传统遗传算法优化的布局和多种群遗传算法优化的矩形布局,从而为系统优化 LED灯布局使得用户获得更好的通信体验提供了一种借鉴方案。
可见光通信系统 光源布局 照度均匀 功率均匀性 多种群遗传算法 visible light communication system light source layout the uniformity ratio of illuminance the evenness of power multi-population genetic algorithm 
光电工程
2020, 47(7): 190565
作者单位
摘要
1 西安美术学院 影视动画系, 陕西 西安 710065
2 华中科技大学 工程实践创新中心, 湖北 武汉 430074
为了满足基于TIR棱镜的高分辨率工程投影机对高分辨率、高照度均匀性、长后工作距离及连续变焦投影的工作需求, 设计了一种基于TIR棱镜的高分辨率像方远心连续变焦投影镜头。该镜头焦距为25~32 mm, F#为2.4, 工作在可见光波段。该投影镜头具有靶面大、分辨率高、后工作距离长及照度均匀性高的设计难点, 通过选择反远距的双高斯结构, 控制像方远心度, 通过采用不同材料搭配, 并借助CODE V的玻璃专家优化功能, 反复迭代优化, 最终, 得到满足使用要求的连续变焦投影镜头。结果表明: 该镜头在连续变焦过程中各视场MTF值在72 lp/mm处不低于0.4, 各视场RMS弥散斑直径小于8.5 μm, 畸变小于2%, 短焦边缘视场照度均匀性大于95%。该连续变焦投影镜头采用全球面设计, 结构紧凑, 成像质量好, 畸变、垂轴色差和照度均匀性都得到了较好的控制, 可以很好地满足高分辨率工程投影机的投影需求。
投影镜头 连续变焦 像方远心 垂轴色差 照度均匀 projection lens continuous zoom image-side telecentric vertical axis chromatic aberration illumination uniformity 
红外与激光工程
2019, 48(11): 1114005
作者单位
摘要
1 苏州大学 光电科学与工程学院, 江苏 苏州 215006
2 江苏省先进光学制造技术重点实验室 教育部现代光学技术重点实验室, 江苏 苏州 215006
为解决目前光片荧光显微镜光片厚度单一的问题, 基于变倍扩束原理进行了可变光片照明系统设计。首先, 对光片照明系统各组成部分进行了高斯光学计算, 得到光片厚度与扩束比的关系以及扩束比与各组元垂轴放大率、焦距的关系; 然后, 设计了基于10倍扩束的可变光片照明系统, 得到厚度和长度连续可变的光片; 最后, 对光片参数、均匀性及系统的公差进行分析。设计结果表明, 连续可变光片的厚度为3.33~33.3 μm, 在YOZ平面上60%的光片高度区域内, 低(1×)、中(6×)和高(10×)扩束比下的照度均匀性分别达到0.65、0.4和0.61。公差分析表明, 光片厚度在1×扩束比时的最大改变量小于设计值的15%, 在6×和10×扩束时小于6%。设计实现了光片厚度的连续变化, 且在60%的光片高度区域内有利于样本的观察。
光学设计 可变光片照明系统 无焦变倍扩束 照度均匀 optical design variable light-sheet illumination system afocal zoom expanding illumination uniformity 
红外与激光工程
2019, 48(11): 1114003
作者单位
摘要
1 华侨大学 信息科学与工程学院, 福建省光传输与变换重点实验室, 福建 厦门 361021
2 泉州市世芯智能照明技术研究院有限公司, 福建 泉州 362302
研制了一款可在接收面上实现平面光谱分布均匀的直下式LED黄疸灯。首先, 按照LED数量从少到多的顺序, 在同一基板上依次对4种单色LED进行排布, 使其分别在同一出光面上形成大小相近且照度均匀的光斑, 进而使出光面乃至接收面上实现平面光谱分布均匀。其次, 对直下式LED黄疸灯仿真验证, 结果表明其确实可在接收面上实现平面光谱分布均匀。最后, 在出光面上分别放置扩散板和棱镜膜, 对两款直下式LED黄疸灯样品进行实验测试。测试结果表明:相较而言, 在出光面上放置增光膜的直下式LED黄疸灯样品可以使接收面具有较多的光能量。但无论出光面上放置的是棱镜膜还是扩散板, 在600 mm×300 mm的接收面上, 直下式LED黄疸灯都能实现99.9%以上的平面光谱分布均匀度值以及74%以上的照度均匀度值, 符合国家婴幼儿光疗设备安全标准。
光学设计 LED黄疸灯 直下式 LED排布 平面光谱分布 照度均匀 optical design LED jaundice lamps direct-lit LED arrangement planar spectral distribution illumination uniformity 
发光学报
2019, 40(1): 67
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 吉林 长春 130022
2 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心, 重庆 400714
提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性,使每一测量单点测量重复性控制在0.02 mW/cm 2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验,结果表明,多点测量一致性小于0.1 mW/cm 2,且检测的照度均匀性符合要求。
测量 照度均匀 多点测量 光刻技术 光刻机 实时检测 
激光与光电子学进展
2018, 55(6): 061203
作者单位
摘要
厦门工学院电子信息与电气工程学院, 福建 厦门 361021
为了解决现有照明光纤束的发光二极管(LED)透镜耦合器的厚度和均匀性问题,根据菲涅耳光学理论和全反射原理设计了一款新型菲涅耳透镜耦合器。利用菲涅耳旋转曲面和自由曲面全反射旋转面,将LED朗伯光源发出的光束整形得到平顶光束,再耦合到光纤束中实现均匀照明。采用1 W的3535白光LED作为光源,在TracePro软件中对所设计的菲涅耳透镜耦合器模型进行光线追迹仿真。结果表明,当菲涅耳透镜最大直径为14.9 mm、厚度为7.8 mm、输出光束发散角度为60°时,在耦合距离为2 mm的接收屏上得到直径10 mm、照度均匀性达92%的均匀光场。
光学设计 发光二极管 菲涅耳透镜 耦合器 照度均匀 非球面设计 
激光与光电子学进展
2018, 55(2): 022201

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