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光学器件
基于十八硫醇修饰的Al0.6Ga0.4N MSM光电探测器研究下载：608次
李宇航 谷燕 陈建薇 姚宇飞 [ ... ]卞宝安 *
作者单位
摘要
江南大学 理学院，江苏 无锡 214122
高Al组分的AlGaN材料的光谱响应范围在日盲紫外波段，但其表面较高的缺陷密度限制了其在日盲紫外探测领域的应用。为此，研究了表面修饰对AlGaN基日盲紫外光电探测器件的性能影响。采用化学自组装方法，将十八硫醇有机分子化学吸附在高Al组分的Al0.6Ga0.4N表面，制备出表面修饰的AlGaN基金属-半导体-金属型日盲紫外光电探测器件。与未经修饰的光电探测器对比验证了这种修饰过程能有效减少AlGaN材料的表面状态引起的不利影响，降低器件的漏电流，并显著提高器件响应度，从而实现具有高响应度的AlGaN基金属-半导体-金属型日盲紫外光电探测器制备。
紫外光电探测器 响应度 表面修饰 AlGaN 十八硫醇 Ultraviolet photodetectors Responsivity Surface modification AlGaN Octadecanethiol 
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光子学报
2021, 50(11): 1123002
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