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研究与试制
共轭涡旋光干涉位移测量拓扑荷优化实验研究
赵秉义 1赵冬娥 1,2马亚云 1褚文博 3
作者单位
摘要
1 中北大学 信息与通信工程学院,太原03005
2 中北大学 电子测试技术国家重点实验室,太原030051
3 中北大学 机电工程学院,太原00051
以共轭涡旋光干涉原理为基础，理论分析了干涉图像旋转角度和位移量的对应关系，利用光学仿真系统验证了理论的可行性。采用基于空间光调制器和改进型的马赫⁃泽德干涉仪组成的共轭涡旋光干涉测量系统，利用不同拓扑荷数的共轭涡旋光实验测量了纳米位移台的位移变化。实验结果表明，在位移量为100 nm、200 nm和250 nm的情况下，拓扑荷数为3时的相对误差最小，分别为2.19%、1.28%和1.27%。研究结果有助于提高基于共轭涡旋光干涉位移测量的精度。
物理光学 涡旋光 位移测量 拓扑荷数 相对误差 physical optics vortex beam displacement measurement topological charge relative error 
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光电子技术
2023, 43(1): 11
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