郭子路 1,2,3王文娟 1,4,**曲会丹 1范柳燕 1[ ... ]陆卫 1,2,3,4,***
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
2 中国科学院大学,北京 100049
3 上海科技大学 物质科学与技术学院,上海 201210
4 上海量子科学研究中心,上海 201315
5 复旦大学 应用表面物理国家重点实验室和物理学系,上海 200438
InP基InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)对近红外光具有高敏感度,使其成为微弱信号和单光子探测的理想光电器件。然而随着先进器件结构越来越复杂,厚度尺寸从量子点到几微米不等,性能越来越受材料中晶格缺陷的影响和工艺条件的制约。采用固态源分子束外延(MBE)技术分别在As和P气氛保护下对InP衬底进行脱氧处理并外延生长晶格匹配的In0.53Ga0.47As薄膜和APD结构材料。实验结果表明,As脱氧在MBE材料质量方面比P脱氧具有明显的优势,可获得陡直明锐的异质结界面,降低载流子浓度,提高霍尔迁移率,延长少子寿命,并抑制器件中点缺陷或杂质缺陷引起的暗电流。因此,As脱氧可以有效提高MBE材料的质量,这项工作优化了InP衬底InGaAs/InP外延生长参数和器件制造条件。
分子束外延 P/As切换 异质界面扩散 铟镓砷/磷化铟雪崩光电二极管 molecular beam epitaxy P/As exchange heterointerface diffusion InGaAs/InP APD 
红外与毫米波学报
2024, 43(1): 63
祁雨菲 1,2,5王文娟 2,*孙京华 2,3武文 4[ ... ]陆卫 1,2,**
作者单位
摘要
1 中国科学院大学杭州高等研究院,浙江 杭州 310024
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
3 上海理工大学,上海 200093
4 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093,中国
5 中国科学院大学,北京 100049
我们描述了一种高性能平面InGaAsP/InP单光子雪崩二极管(SPAD),该二极管具有单独的吸收、分级、电荷和倍增(SAGCM)异质结构。通过电场调节和缺陷控制,SPAD在293 K的门控模式下工作,光子探测效率(PDE)为70%,暗计数率(DCR)为14.93 kHz,后脉冲概率(APP)为0.89%。此外,在死区时间为200 ns的主动淬灭模式下工作时,室温下实现了12.49%的PDE和72.29 kHz的DCR。
单光子雪崩二极管 暗计数率 光子探测效率 后脉冲概率 single photon avalanche diode dark count rate photon detection efficiency after-pulse probability 
红外与毫米波学报
2024, 43(1): 1
崔壮壮 1,3,4刘清权 1,2,3谢茂彬 1,3,4王少伟 1,3,4,5,*陆卫 1,2,3,4,**
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
2 上海科技大学 物质科学与技术学院,上海 201210
3 上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心,上海 200083
4 中国科学院大学,北京 100049
5 南通智能感知研究院,江苏 南通 226000
低维材料嵌入微腔已经广泛应用于纳米激光器和探测器等。为了实现增益材料和光学微腔之间的有效耦合,需要深入研究嵌埋材料对腔共振模式的影响。本文主要讨论了嵌埋材料的厚度、位置、腔层厚度以及分布式布拉格反射镜的对数对腔供着模式的影响。结果表明,腔共振模式随嵌埋材料位置的不同呈现周期性变化并且在λ/2光程周期内存在最大峰位移。最大峰位移随腔层厚度增加而减小,但与嵌埋材料的厚度成正比。分布式布拉格反射镜的对数不影响腔共振模式。这些结果为光学器件的设计和实验现象的分析提供了指导,并且可以应用于不同波长分布式布拉格反射腔结构。
光学腔 共振模式 嵌埋位置 分布式布拉格反射镜 optical cavity resonant mode embedded position distributed Bragg reflector 
红外与毫米波学报
2023, 42(6): 736
刘清权 1,3关学昱 1,3,4崔恒毅 1,3,4王少伟 1,3,4,*陆卫 1,2,3,4,**
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083
2 上海科技大学物质科学与技术学院,上海 201210
3 上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心,上海 200083
4 中国科学院大学,北京 100049
法布里-珀罗(F-P)微腔作为基础的光学谐振器,因其结构设计方法成熟、品质因子高等特性,在近现代光学领域中具有举足轻重的地位。近年来,随着微纳加工技术的不断成熟,F-P微腔进入了一个新的发展阶段,其结构展现出集成化、多样化、功能定制化的特点,其应用领域也得到进一步拓展。本文总结了近20年来F-P微腔在光场调控领域的研究进展,重点介绍了基于F-P微腔的分光结构及光谱探测应用、F-P微腔中光子与低维材料相互作用的研究,以及F-P微腔在参数精密测量、生物检测、多维光场调控等方面的潜在应用,并对未来F-P微腔的发展及新的应用前景进行了展望。
光学器件 法布里-珀罗微腔 微型光谱仪 低维材料 精密测量 光场调控 耦合 
光学学报
2023, 43(16): 1623009
姚晨禹 1,2张力波 1,3卫英东 1王林 1,*[ ... ]陆卫 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
2 中国科学院大学,北京 100049
3 中国科学院大学杭州高等研究院 物理与光电工程学院,浙江 杭州 310024
二维材料中的新量子态对凝聚态物理和现代光电器件的发展具有重要意义。然而具有宽带、室温和快速响应能力的太赫兹光电探测技术,由于缺乏暗电流和光吸收之间的最佳平衡,仍然面临着巨大的挑战。在这项研究中,作者合成了新型拓扑绝缘体材料GeBi4Te7,并搭建了其与Bi2Te3的范德华异质结,以实现高灵敏度的太赫兹光电探测器。在平面金属-材料-金属结构中实现了在室温下将低光子能量太赫兹波段直接转化为光电流。结果表明,基于Bi2Te3-GeBi4Te7的太赫兹光电探测器能够实现0.02 ~0.54 THz的宽谱探测,且具有很高的光响应率(在 0.112、0.27、0.5 THz下分别为 592 V?W-1、203 V?W-1、40 V?W-1),响应时间小于6 μs。值得注意的是,它被用于高频太赫兹的成像应用演示。这些结果为Bi2Te3-GeBi4Te7拓扑绝缘体异质结材料的低能量光电应用开辟了可行性途径。
太赫兹 拓扑绝缘体 天线 异质结 terahertz topological insulator antenna heterojunction 
红外与毫米波学报
2023, 42(3): 362
潘晓凯 1,*姜梦杰 1,2王东 1,3吕旭阳 1,2[ ... ]陆卫 1
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室, 上海 200080
2 东华大学理学院, 上海 201620
3 上海师范大学数理学院, 上海 200233
4 上海科技大学物质科学与技术学院, 上海 201210
5 上海大学微电子学院, 上海 200444
自红外辐射被发现以来, 科学家一直在努力将红外技术应用于地球观测、航天遥感和宇宙探索等领域。目前, 第二、三代红外探测器已进入大规模应用, 高端三代也在逐步突破, 并随着材料制备技术、纳米加工技术、集成技术和相关交叉学科的发展, 开始出现了具有前瞻性的新材料、新技术和新概念。红外-太赫兹探测器也开始由单一探测、被动探测和探测分立的传统探测器形式, 逐渐走向多维探测、自主探测和智能化芯片集成的变革发展方向。在介绍光电探测器物理机制的基础上, 概述了红外-太赫兹探测技术在天文遥感领域的应用与发展, 重点综述了红外-太赫兹探测器有望出现变革式发展的三大方向, 包括基于人工微结构的光场集成、基于三维堆叠技术的片上智能化和新型低维材料的应用, 并展望了未来探测器向着超高性能、多维感知、智能化和感存算一体化的发展趋势。
光电子学 太赫兹探测器 天文遥感 多维感知 集成化 二维材料 optoelectronics terahertz detector astronomical remote sensing multi-dimensional perception integration two-dimensional material 
量子电子学报
2023, 40(2): 217
郁菲茏 1,2陈金 1,2赵增月 1,2李冠海 1,2,*[ ... ]陆卫 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
2 中国科学院大学,北京 100049
人工微结构超表面近年来在偏振调控与色散调控领域都取得了诸多进展,然而传统方法计算超表面结构对椭圆偏振态的调控效果需要对每一个数据求解方程,因此实现任意偏振的消色差调控依然在复杂度上是一个挑战。一种基于坐标变换的正向计算方法用以快速计算超表面单元对任意偏振态的调控效果被提出,利用纯硅体系下的椭圆柱结构作为调控单元设计了工作在中红外波段的对椭圆偏振态调控的消色差聚焦超表面透镜。结果表明,此种方法与设计在极大简化计算流程的情况下,能够有效实现对椭圆偏振态的操控。相比于之前所报道的基于圆偏振或无偏振依赖的设计,该方法进一步拓展了超表面色散调控的应用范围,具有广阔的应用前景。
超表面 椭圆偏振消色差 琼斯矩阵 正向计算 metasurface elliptical polarization achromatic Jones matrix forward calculation 
红外与毫米波学报
2022, 41(4): 792
Zhiyi Xuan 1,2,3,4Qingquan Liu 1,2,3,4Zhuangzhuang Cui 1,2,4Songlei Huang 2,5[ ... ]Wei Lu 1,2,3,4,**
Author Affiliations
Abstract
1 State Key Laboratory of Infrared Physics, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083, China
2 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
3 School of Physical Science and Technology, ShanghaiTech University, Shanghai 201210, China
4 Shanghai Research Center for Quantum Sciences, Shanghai 201315, China
5 State Key Laboratories of Transducer Technology, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083, China
6 Nantong Academy of Intelligent Sensing, Nantong 226000, China
We demonstrate an ultra-compact short-wave infrared (SWIR) multispectral detector chip by monolithically integrating the narrowband Fabry–Perot microcavities array with the InGaAs detector focal plane array. A 16-channel SWIR multispectral detector has been fabricated for demonstration. Sixteen different narrowband response spectra are acquired on a 64×64 pixels detector chip by four times combinatorial etching processes. The peak of the response spectra varies from 1450 to 1666 nm with full width at half-maximum of 24 nm on average. The size of the SWIR multispectral detection system is remarkably reduced to a 2 mm2 detector chip.
short-wave infrared detector multi-spectra micro-cavity on-chip 
Chinese Optics Letters
2022, 20(6): 061302
郭家祥 1,2谢润章 1,***王鹏 1,**张涛 1,2[ ... ]胡伟达 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
2 中国科学院大学,北京 100049
红外光电探测器可以获取目标反射和自发的红外辐射,具有抗干扰性强、全天候观测、探测距离远、分辨率高等优点,在**、通信、遥感、航天等领域中扮演着不可替代的角色。从20世纪40年代第一代低像素探测器的应用到90年代末第三代SWaP3概念的提出,红外光电探测器正经历着变革性发展。专注于阵列规模、灵敏度、分辨率等性能指标提高的传统光电探测器利用光强度信息进行成像,无法满足未来目标多样化、环境复杂化、任务多元化等发展需求。多维度光信息的获取为提升红外探测器性能提供了新途径,除强度信息外,通过红外光电探测器可以获取光的波长、动量、偏振和相位等本征信息,也可利用光的传输时间获取光程信息。本文面向多维度红外探测发展需求,聚焦波长、偏振、光程和相位四个方面的特征,从新原理、新材料、新结构等方面综述了近年来多维度红外光电探测器的研究进展,进而提出对多维度红外探测器发展方向的思考和展望。
红外光电探测器 多维度光信息 波长 偏振 光程 相位 infrared photodetector multidimensional optical information wavelength polarization optical path phase 
红外与毫米波学报
2022, 41(1): 002
聂晓飞 1,2尹伊哲 1,3甄红楼 1,2,*董天阳 1,4[ ... ]陆卫 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海  200083
2 中国科学院大学北京  100049
3 上海师范大学 数理学院,上海  200234
4 上海科技大学 物质科学与技术学院,上海  201210
5 复旦大学 材料科学系 ASIC与系统国家重点实验室,上海  200433
测量了金属腔量子阱红外探测器在斜入射条件下的光电流谱,斜入射条件分为入射面垂直于器件长轴和平行于器件长轴两种情形。从实验和理论上研究了金属腔共振模对入射角度的依赖性。实验结果表明:入射面垂直于器件长轴时,腔模共振波长不随入射角度变化;入射面平行于器件长轴时,腔模共振波长随入射角度变大而向短波移动。测试结果和推导出的共振波长与入射角度的关系式所计算的结果符合的很好。同时也对比、分析了Fabry-Pérot滤光器和等离激元滤光器的透射峰值波长与入射角度的关系,结果表明金属腔量子阱红外探测器具有相对较好的角度稳健性,并且利用三维金属腔的限制作用有望开发出响应波长对入射角度完全不敏感的量子阱红外探测器。
金属微腔 红外探测器 量子阱 共振波长 metallic microcavity infrared photodetector quantum well resonance wavelength 
红外与毫米波学报
2021, 40(4): 465

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