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“超快激光诱导自组织周期微纳结构”专题
扫描方向对金属和硅复合薄膜表面激光诱导自组织加工质量的影响（特邀）
石理平 1,*耿娇 1,**仇旻 2,3,***
作者单位
摘要
1 西安电子科技大学杭州研究院 先进光电成像与器件实验室，杭州 311231
2 西湖大学 工学院 浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室，杭州 310024
3 浙江西湖高等研究院 前沿技术研究所，杭州 310024
激光诱导周期性表面结构的质量可通过调整激光参数、改善材料表面和优化扫描策略等手段来提高。研究了扫描方向对线偏振激光诱导金属/硅复合薄膜表面氧化LIPSS的影响。结果表明，当扫描方向垂直于激光偏振方向时，纳米结构会出现分叉、不连续等问题；当扫描方向平行于激光偏振方向时，纳米结构呈现短程有序，但在光斑拼接处存在扭曲；而当扫描方向与激光偏振方向存在一定夹角时，容易获得长程均匀有序的周期性纳米结构。数值仿真结果表明造成这些现象的原因是近场效应对自组织过程具有不可忽略的影响。
激光诱导周期性表面结构 表面等离激元 激光诱导化学反应 复合薄膜 Laser-Induced Periodic Surface Structures（LIPSS） Surface plasmons Laser-induced oxidation Hybrid thin films 
PDF全文 Full Text
光子学报
2023, 52(7): 0752303
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