提出了两种利用红外激光诱导钡化合物化学反应刻蚀石英玻璃的新方法,钡化合物分别选用BaCrO4和Ba(OH)2。通过能谱分析进行推理和利用X射线衍射图谱分析和验证,发现激光诱导BaCrO4化学反应刻蚀石英玻璃过程中得到的微通道出现崩边和微裂纹现象,BaCrO4分解生成的BaO在高温条件下与SiO2发生化学反应生成BaSiO3,因此这种方法能直接用于刻蚀石英玻璃;在激光诱导Ba(OH)2化学反应刻蚀石英玻璃的过程中,Ba(OH)2以及其分解生成的BaO在高温条件下都会与SiO2发生化学反应生成BaSiO3,也能直接刻蚀石英玻璃。两种方法的刻蚀机理不同,故刻蚀效果存在较大差异。
激光技术 石英玻璃刻蚀 激光诱导化学反应 钡化合物 激光与光电子学进展
2018, 55(2): 021402
