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同名作者【石理平】论文列表

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激光器与激光光学

s偏振激光斜入射诱导类“叶脉”状自组织条纹结构（特邀）创刊六十周年特邀

耿娇 ^1,2严吉 ^1,2,3石理平 ^1,2,*

作者单位

摘要

¹ 西安电子科技大学杭州研究院，浙江杭州 311231

² 西安电子科技大学光电工程学院，陕西西安 710071

³ 上海应用技术大学理学院，上海 201418

在金属铂和非晶硅构成的复合薄膜上，观察到了在斜入射条件下由s偏振激光诱导产生的、具有氧化周期性结构的、远离中轴线且外侧结构倾斜的周期性结构。首先，稳态照射下产生的条纹结构呈叶脉状，既不平行也不垂直于激光偏振方向；其次，动态扫描时产生的结构取向单一且与扫描方向有关；最后，结构周期随着入射角的增大而减小。这几个现象均与通常的激光烧蚀周期性结构不同。这些发现为调控激光诱导自组织提供了更多可能性。

激光诱导周期性表面结构斜入射纳米光栅金属-半导体复合薄膜

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激光与光电子学进展

2024, 61(3): 0314001

“超快激光诱导自组织周期微纳结构”专题

扫描方向对金属和硅复合薄膜表面激光诱导自组织加工质量的影响（特邀）

石理平 ^1,*耿娇 ^1,**仇旻 ^2,3,***

作者单位

摘要

¹ 西安电子科技大学杭州研究院先进光电成像与器件实验室，杭州 311231

² 西湖大学工学院浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室，杭州 310024

³ 浙江西湖高等研究院前沿技术研究所，杭州 310024

激光诱导周期性表面结构的质量可通过调整激光参数、改善材料表面和优化扫描策略等手段来提高。研究了扫描方向对线偏振激光诱导金属/硅复合薄膜表面氧化LIPSS的影响。结果表明，当扫描方向垂直于激光偏振方向时，纳米结构会出现分叉、不连续等问题；当扫描方向平行于激光偏振方向时，纳米结构呈现短程有序，但在光斑拼接处存在扭曲；而当扫描方向与激光偏振方向存在一定夹角时，容易获得长程均匀有序的周期性纳米结构。数值仿真结果表明造成这些现象的原因是近场效应对自组织过程具有不可忽略的影响。