1 中国科学院 声学研究所, 北京 100190
2 中国科学院大学, 北京 100190
该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波（SAW）传感器的设计方法。在Y切石英晶体上, 利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器, 在此基础上, 通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔, 并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台, 对制备的SAW传感器性能进行测试, 测试结果表明, 传感器在0~3.6 MPa量程内获得了1.36 kHz/MPa的检测灵敏度, 并表现出良好的线性度。
声表面波 气压传感器 单端对谐振器 宽量程 全石英封装 SAW pressure sensor one-port resonator wide range all quartz package
