1 中国科学院 声学研究所, 北京 100190
2 中国科学院大学, 北京 100190
该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波（SAW）传感器的设计方法。在Y切石英晶体上, 利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器, 在此基础上, 通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔, 并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台, 对制备的SAW传感器性能进行测试, 测试结果表明, 传感器在0~3.6 MPa量程内获得了1.36 kHz/MPa的检测灵敏度, 并表现出良好的线性度。
声表面波 气压传感器 单端对谐振器 宽量程 全石英封装 SAW pressure sensor one-port resonator wide range all quartz package
1 中国科学院 声学研究所，北京100190
2 中国科学院大学，北京100490
该文设计并制作了一种基于新型声表面波(SAW)单端对谐振器的金黄色葡萄球菌生物传感器，该传感器采用了叉指电极中间内置敏感区域的谐振器结构。首先基于微扰理论分析了SAW生物传感器的响应机理。然后结合耦合模理论分析，得到了该谐振器的频率响应曲线。通过网络分析仪测量，实际制作的SAW谐振器的频率响应与仿真结果一致，且具有高品质因数的优点。实验中采用该结构对金黄色葡萄球菌进行初步检测，结果表明检测结果线性度较好，为下一步实现SAW传感器特异性实时检测金黄色葡萄球菌奠定了基础。
声表面波传感器 单端对谐振器 敏感区域 高品质因数 金黄色葡萄球菌 surface acoustic wave(SAW) sensor one port resonator sensitive area high quality factor Staphylococcus aureus
