主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错缺陷揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理研究进行了详细介绍。从表面处理机理和工艺参数对衬底表面的影响两个方面介绍了机械研磨、机械抛光、化学机械抛光以及化学抛光 4种表面处理工艺。同时, 介绍了能揭示碲锌镉不同晶向表面的位错缺陷的 Everson、Nakagawa及 EAg三种化学腐蚀液。
碲锌镉(CZT) 表面处理 位错揭示 cadmium zinc telluride (CZT), surface processing,
1 上海健康医学院上海市分子影像学重点实验室，上海 201318
2 上海健康医学院医学影像学院，上海 201318
3 海军军医大学第一附属医院，上海 200433
4 上海交通大学医学院附属瑞金医院核医学科，上海 200020
核医学成像设备中的探测器是整个设备的核心部件。基于闪烁体探测器的核医学成像设备存在光电转换效率低和能量分辨率差等关键问题，短期内难以有效解决。而近年来碲锌镉半导体探测器的发展使得核医学成像设备在能量分辨率和空间分辨率等方面取得了很大的提高。本文以单光子发射计算机断层成像(SPECT)技术为例，首先介绍了核医学成像原理及设备组成，然后从碲锌镉探测器的工作原理及基本结构出发，综述了碲锌镉探测器的新技术及其在临床核医学的应用，最后结合核医学领域应用的需求展望了碲锌镉探测器的研究重点和技术发展趋势。
碲锌镉 探测器 核医学 单光子发射计算机断层成像 能量分辨率 光电转换效率 cadmium zinc telluride detector nuclear medicine SPECT energy resolution photoelectric conversion efficiency
碲锌镉是一种性能优异的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料。随锌含量不同, 其禁带宽度可连续调节, 是用于制备红外探测器的碲镉汞材料的优良衬底。介绍了多种碲锌镉晶体的磨抛方法, 包括手工研磨、机械抛光、化学抛光和机械化学抛光。借助多种表征技术和改良手段, 碲锌镉晶体的表面加工取得了显著进步。
碲锌镉 磨抛 机械化学抛光 精密加工 cadmium zinc telluride lapping and polishing chemical mechanical polishing precision finishing
碲锌镉晶体（CdZnTe）是一种性能优异的红外焦平面探测器衬底材料，其质量的优劣将直接影响外延层的结构与性能，而晶体中的微观缺陷常常是影响衬底材料质量的主要因素之一。本文采用红外透射显微镜、金相显微镜、X 射线形貌仪、扫描电镜、白光干涉仪等仪器系统地检测和研究了碲锌镉晶体中存在的微观缺陷。研究发现碲锌镉晶体样品中主要存在层错、孪晶界和包裹物等微观缺陷，结合晶体缺陷理论详细地分析了碲锌镉晶体中微观缺陷的形成机制。
碲锌镉晶体 微观缺陷 层错 包裹物 孪晶 Cadmium zinc telluride micro-defect stacking fault inclusion twinning
1 重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室， 重庆 400030
2 重庆工商职业学院， 重庆 合川 401520
3 中国工程物理研究院 电子工程研究所， 四川 绵阳 621900
碲锌镉材料(CdZnTe)是目前探测X射线和γ射线的最好材料之一。将241Am和137Cs辐射源作用于像素CdZnTe探测器，通过实验和仿真分别得到能量谱估计、能量分辨率和峰值效率。由实验和仿真结果得出:在662 keV的高能量下，厚度较大的CdZnTe探测器可获得更高的能量分辨率和峰值效率，但在59.5 keV低能处会出现拖尾升高和电荷损失的现象;厚度较薄的探测器在低能处的特性反而更好。
碲锌镉 探测器 能量谱 能量分辨率 峰值效率 cadmium zinc telluride detectors energy spectrum energy resolution photopeak efficiency 强激光与粒子束
2014, 26(3): 034001
介绍了一种碲锌镉晶体生长炉温度场一阶仿真的实用方法。该方法基于传热学原理，利用蒙特卡罗法计算没有解析表 达式的角系数，利用MATLAB的矩阵计算功能实现多变量线性代数方程组的求解，具有简单、易用的特点。
碲锌镉 温度场 角系数 cadmium zinc telluride temperature field angle factor MATLAB MATLAB
