作者单位
摘要
哈尔滨工业大学,特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨 150080
单晶金刚石作为一种性能优异的半导体材料,在功率器件、深空探测等领域具有广阔的应用前景。然而采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备的单晶金刚石通常含有大量的缺陷,尤其是位错,严重限制了其电学性能的发挥。横向外延生长是半导体材料中常用的缺陷调控方法,近年也被应用于金刚石材料制备领域。本研究首先通过金属催化等离子体刻蚀在单晶金刚石籽晶上构造图形阵列,从而为同质外延单晶制备创造横向生长条件;随后通过MPCVD法在此基础上进行单晶金刚石制备,研究了横向外延生长过程并对样品进行了激光共聚焦显微镜、偏光显微镜、Raman光谱和缺陷密度测试。测试表明该方法能够稳定可控的制备图形化生长所需的阵列并降低生长层的缺陷密度。
微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 横向外延 缺陷调控 microwave plasma chemical vapor deposition single crystal diamond lateral epitaxy defect control 
硅酸盐学报
2023, 51(6): 1374
作者单位
摘要
1 浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室, 杭州 310027
2 浙江大学杭州国际科创中心, 杭州 311200
宽禁带半导体具备禁带宽度大、电子饱和飘移速度高、击穿场强大等优势,是制备高功率密度、高频率、低损耗电子器件的理想材料。碳化硅(SiC)材料具有热导率高、化学稳定性好、耐高温等优点,在SiC衬底上外延宽禁带半导体材料,对充分发挥宽禁带半导体材料的优势,并提升宽禁带半导体电子器件的性能具有重要意义。得益于SiC衬底质量持续提升及成本不断降低,基于SiC衬底的宽禁带半导体电子市场占比呈现逐年增加的态势。在SiC衬底上外延生长高质量的宽禁带半导体材料是提高宽禁带半导体电子器件性能及可靠性的关键瓶颈。本文综述了近年来国内外研究者们在SiC衬底上外延SiC、氮化镓(GaN)、氧化镓(Ga2O3)所取得的研究进展,并展望了SiC衬底上宽禁带半导体外延的发展及应用前景。
SiC衬底 宽禁带半导体 异质外延 同质外延 晶格失配 缺陷调控 SiC substrate wide bandgap semiconductor heteroepitaxy homoepitaxy lattice mismatch GaN GaN Ga2O3 Ga2O3 defect control 
人工晶体学报
2021, 50(9): 1780
作者单位
摘要
东南大学生物科学与医学工程学院 生物电子学国家重点实验, 江苏 南京 210096
采用水热法制备了Er3+掺杂的ZnO纳米棒阵列, 通过场发射扫描电镜、X单晶衍射谱仪、透射电镜、微区显微光谱仪等对其形貌结构和发光性能进行了表征。结果表明, 掺杂前后ZnO纳米棒的形貌及晶型结构未发生改变, Er3+被均匀地掺杂至ZnO纳米棒中, 并未发现形成Er2O3; 掺杂Er3+后样品的光致发光光谱显示400 nm左右蓝光部分占比先提高后减少, 其可见光占比减少归因于Er3+填补了一部分锌空位缺陷, 同时抑制了一部分氧空位缺陷。结合荧光寿命光谱分析也可发现其辐射发光部分寿命延长, 表明荧光辐射效率提高。最终选取掺杂浓度为30%的单根ZnO纳米棒制备ZnO/GaN异质结发光二极管, 与未掺杂Er3+的样品相比, 其电致发光强度提高了5倍。本研究可为ZnO基电致发光器件的性能改善提供一种简便可行的方法。
ZnO纳米棒阵列 Er3+掺杂 缺陷调控 电致发光器件 ZnO nanorod array Er3+ doping defect control electroluminescence device 
发光学报
2021, 42(6): 863
作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室, 上海 201800
运用溶胶改性和溶剂置换的方法制备以癸烷为溶剂的SiO2溶胶,通过单面旋涂方法在方形50 mm×50 mm×10 mm 的KDP晶体基片上制备均匀性良好的膜层。使用分光光度计测试涂膜的晶体基片,涂制三倍频及基频二倍频减反膜的KDP晶体基片在378 nm和835 nm处的透过率峰值均大于99.5%,膜层减反射效果良好。结合过滤技术及超声波清洗技术实现了膜层制备过程中的缺陷控制,将经过缺陷控制的三倍频减反膜涂制在洁净度高的熔石英陪涂片上,并在测试前进行激光(波长为355 nm,脉宽为3 ns)预处理,得到的三倍频减反膜的抗激光损伤阈值为(14.0±2.1) J·cm -2
材料 溶胶凝胶 二氧化硅 旋涂法 方形基片 缺陷控制 
激光与光电子学进展
2019, 56(14): 141602
作者单位
摘要
Key Lab. of Mater. Phys., Institute of Phys. Eng., Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
Diffusion control Defect control Point defect Line defect 
半导体光子学与技术
2005, 11(1): 32

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