中国工程物理研究院 计量测试中心, 四川 绵阳 621999
针对超声扫描用于LTCC滤波器微分层检测的可行性开展研究。首先通过理论计算证实,在参考频率下滤波器内部微分层缺陷对超声波有极高的反射率,对实际检测过程中的分辨力要求进行了说明。其次对滤波器开展超声实测,给出具体可行的检测程序,依据检测结果对缺陷信息进行了判别。然后制取样品剖面,根据获取的缺陷信息定位缺陷。最后,利用FIB刻蚀技术对检测结果进行验证,证实了滤波器微分层超声检测的可行性。
低温共烧陶瓷 滤波器 微分层缺陷 超声检测 LTCC filter micro-delamination defect FIB FIB ultrasonic test
中国工程物理研究院 计量测试中心，四川 绵阳 621999
针对多层陶瓷结构(MCS)介质缺陷的超声检测(UT)技术开展了研究. 首先，以多层瓷介电容器(MLCC)结构为例，通过薄层反射理论计算并证明了UT对空洞和分层等介质缺陷检测的适用性和有效性，即较低的频率对极薄的空隙也有很强的反射信号；同时，给出了C-Scan检测参数建议，包括等效焦距、表面波时间、门限和增益. 其次，对MCS进行了实际的UT检测验证，表明50 MHz是最佳的筛选频率. 最后，给出了A-Scan判别缺陷的理论依据和渡越时间定位缺陷纵深定位的方法，并通过制样检测进行了验证.
多层陶瓷结构 高温共烧陶瓷 低温共烧陶瓷 超声检测 A模式扫描 C模式扫描 Multilayer Ceramic Structure High Temperature Co-fired Ceramic Low Temperature Co-fired Ceramic Ultrasonic Test A-Scan C-Scan 太赫兹科学与电子信息学报
2020, 18(5): 951
