作者单位
摘要
中国科学院生物物理研究所, 北京 100101
冷冻电子断层扫描成像(cryo-ET)是细胞原位解析生物大分子结构的核心技术,cryo-ET的样品厚度需要小于300 nm,冷冻样品聚焦离子束减薄(FIB)是样品制备流程中的必要环节。当前,FIB存在难以迅速精确定位目标区域的问题,原位冷冻光电关联技术(cryo-CLEM)是一项新兴的技术,对原位冷冻样品分别进行冷冻光镜成像和电镜成像,结合了荧光成像的定位优势和电镜成像的分辨率优势,通过将光镜和电镜图像进行配准,指导FIB对原位冷冻样品减薄,能够极大地提高cryo-ET的样品制备效率。本文介绍了cryo-CLEM中的原位冷冻技术和光电关联成像技术的最新进展和应用情况,重点讨论了超分辨cryo-CLEM成像技术以及嵌入式cryo-CLEM技术,分析了各种方法的优缺点和适用范围,并对cryo-CLEM技术当前面临的主要限制和未来的发展方向进行了展望。
光电关联成像 荧光导航聚焦离子束减薄 光学超分辨 correlative light and electron microscopy (CLEM) fluorescence navigated focus ion beam (FIB) milling super resolution 
中国光学
2022, 15(6): 1275
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 计量测试中心, 四川 绵阳 621999
针对超声扫描用于LTCC滤波器微分层检测的可行性开展研究。首先通过理论计算证实,在参考频率下滤波器内部微分层缺陷对超声波有极高的反射率,对实际检测过程中的分辨力要求进行了说明。其次对滤波器开展超声实测,给出具体可行的检测程序,依据检测结果对缺陷信息进行了判别。然后制取样品剖面,根据获取的缺陷信息定位缺陷。最后,利用FIB刻蚀技术对检测结果进行验证,证实了滤波器微分层超声检测的可行性。
低温共烧陶瓷 滤波器 微分层缺陷 超声检测 LTCC filter micro-delamination defect FIB FIB ultrasonic test 
微电子学
2022, 52(4): 695
作者单位
摘要
1 上海大学 通信与信息工程学院, 上海 200444
2 国网江西省电力有限公司 信息通信分公司, 南昌330000
随着智能电网技术的发展, 电流参数的监测需求日益提升。提出了一种基于磁致伸缩效应的光纤布喇格光栅(FBG)电流传感器, 将FBG全部固定于磁致伸缩材料上, 使其感知通电螺线管所产生的磁场来实现电流传感。监测FBG的波长变化可知, FBG电流传感器在0~5 A电流范围最大实现了0.773 nm的布喇格波长漂移量, 传感灵敏度高达0.184 nm/A。
磁致伸缩效应 光纤电流传感器 光纤布喇格光栅 magnetostrictive effect, fiber current sensor, fib 
光通信技术
2022, 46(3): 18
Chunyan Jin 1Wei Wu 1,*Lei Cao 1Bofeng Gao 1[ ... ]Jingjun Xu 1,****
Author Affiliations
Abstract
1 Key Laboratory of Weak-Light Nonlinear Photonics, Ministry of Education, School of Physics and TEDA Applied Physics Institute, Nankai University, Tianjin 300071, China
2 Science and Technology on Electro-Optical Information Security Control Laboratory, Tianjin 300308, China
3 Collaborative Innovation Center of Extreme Optics, Shanxi University, Taiyuan 030006, China
Lithium niobate (LN) metasurfaces have emerged as a new platform for manipulating electromagnetic waves. Here, we report a fabrication technique for LN nano-grating metasurfaces by combining focused ion beam (FIB) milling with inductively coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE). Steep sidewalls with angles larger than 80° are achieved. Sharp quasi-bound states in the continuum are observed from our metasurfaces. The measured transmission spectra show good agreement with the numerical simulations, confirming the high quality of the fabricated metasurfaces. Our technique can be applied to fabricate the LN metasurfaces with sharp resonances for various applications in optical communications, on-chip photonics, laser physics, sensing, and so on.
lithium niobate metasurfaces fabrication FIB ICP-RIE 
Chinese Optics Letters
2022, 20(11): 113602
作者单位
摘要
华北光电技术研究所, 北京100015
聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope, FIB-SEM)双束系统结合了扫描电子显微镜与聚焦离子束系统的优势。基于该系统的高分辨率、原位加工及观测的特点, 研究了它在缺陷与像元解剖分析、透射电镜样品制备以及电路修复等方面的应用。详细介绍了用FIB-SEM系统定位问题像元的方法和修复电路的具体过程, 并阐明了它对红外焦平面探测器研制的重要作用。该系统是高性能红外探测器研制过程中不可或缺的重要表征手段。
红外焦平面探测器 聚焦离子束扫描电子显微镜 电路修复 infrared focal plane detector FIB-SEM circuit repair 
红外
2022, 43(2): 34
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 材料研究所,四川绵阳62908
2 东南大学 机械工程学院,江苏南京11189
利用聚焦离子束技术加工微结构时,由于溅射过程的再沉积效应,难以获得较为陡直的侧壁,对于高深宽比微结构尤甚。为优化聚焦离子束的加工工艺,提出一种单像素线辅助溅射刻蚀方法,对非陡直侧壁进行局部刻蚀修正,以期改善再沉积现象,提高侧壁陡直度。采用元胞自动机算法,对该方法应用于溅射过程时各参数对刻蚀结果的影响进行了数值模拟,获得了V型截面侧壁的修正效果,指出实际加工中局部刻蚀修正的位置选择存在着侧壁再沉积改善和离子束斑扩展之间的矛盾。聚焦离子束刻蚀实验验证了该方法的有效性,确定了局部刻蚀修正的最佳位置,在刻蚀宽度100 nm的圆环微结构时,沟道侧壁的校正效果较好,获得了深宽比为3∶1的沟槽结构。该方法可为相似微结构再沉积现象削弱提供技术支持。
聚焦离子束 再沉积效应 高深宽比 侧壁校正 Focused Ion Beam (FIB redeposition effect large aspect-ratio sidewall correction 
光学 精密工程
2021, 29(9): 2108
赵亚 1王强 1,*凌张伟 2,3
作者单位
摘要
1 中国计量大学质量与安全工程学院, 浙江 杭州 310018
2 浙江省特种设备检验研究院, 浙江 杭州 310018
3 浙江省特种设备安全检测技术研究重点实验室, 浙江 杭州 310018
基于拉曼散射和光时域反射技术的结合,利用分布式光纤对自来水管道进行泄漏检测和定位模拟实验,分别在自来水管无泄漏和有微小泄漏的情况下,通过分布式光纤传感器获取温度检测信号。实验时,利用绝对距离法对温度检测信号进行聚类分析,识别聚乙烯(PE)自来水管有无泄漏发生,再对无泄漏信号利用选择性平均阈值法确定阈值信号,并通过检测信号和阈值信号的差值信号识别PE自来水管泄漏点位置。结果表明,该系统运行稳定,且能够准确识别自来水管泄漏情况,使用选择性平均阈值法能够准确定位泄漏点。
光纤光学 分布式光纤测温 聚乙烯自来水管道 泄漏检测 绝对距离法 选择性平均阈值 
激光与光电子学进展
2019, 56(3): 030602
作者单位
摘要
连云港师范高等专科学校 物理系, 江苏 连云港 222006
设计了一种由六角形空气柱包层组成的C6v(六重旋转对称)全内反射型PCF(光子晶体光纤), 采用全矢量有限元法研究其基模色散, 数值研究结果表明, 在其他参数不变的情况下, 包层空气柱由圆形变成六角形后两基模偏振态会出现分离现象, 存在较大的模式双折射与较高的PMD(偏振模色散), 基模的波长色散在X偏振时与包层圆形空气柱时有相同的变化曲线, 说明包层空气柱形状对基模色散特性有较大影响。
六重旋转对称全内反射型光子晶体光纤 全矢量有限元法 基模色散 C6v total internal reflection photonic crystal fib full vector finite element method the fundamental mode dispersion characteristics 
光通信研究
2016, 42(3): 40
作者单位
摘要
1 浙江大学 信息与电子工程学系, 杭州 310027
2 浙江大学 唐仲英传感材料及应用中心, 杭州 310027
为了研究光纤消偏器的性能, 使用琼斯传输矩阵化简方法, 对2段、3段和4段Lyot光纤消偏器进行了理论分析和实验验证, 归纳出多段Lyot光纤消偏器光纤段数N与偏振度的数学关系式, 得出随着光纤消偏器段数增加其出射光偏振度有大幅降低的结论。结果表明, 4段Lyot消偏器出射光偏振度为普通两段Lyot消偏器出射光偏振度的1/4,方差从0.0951下降为0.0245。该结果证明了理论的正确性, 为实际制作多段Lyot消偏器提供了理论指导。
光纤光学 Lyot光纤消偏器 琼斯矩阵 多段保偏光纤 偏振度 fiber optics Lyot fiber depolarizer Jones matrix multi-section polarization maintaining optical fib degree of polarization 
激光技术
2015, 39(6): 741
作者单位
摘要
1 复旦大学材料科学系, 上海 200433
2 中国科学院半导体研究所, 北京 100083
分析了980 nm波长的光在透过制作在金膜上的亚波长周期性孔阵时的透射增强现象。通过建立中心带缺陷孔的三角晶格的孔阵模型, 并采用三维时域有限差分方法对该模型的透射情况进行模拟分析。结果表明通过优化孔阵周期参数可以对特定波长的光实现一定程度的选择透过性。当孔阵周期为450 nm, 中心缺陷孔径为400 nm, 孔阵中单个孔孔径为150 nm时, 980 nm波长光透过该孔阵时具有明显的透射增强效应, 并且距孔阵表面3 μm的远场光斑尺寸被局限在亚波长尺度(880 nm)。研究了使用聚焦离子束在金膜上制备孔阵的工艺, 成功研制了与设计尺寸一致的孔阵。这种孔阵可以集成在980 nm垂直腔面发射激光器上, 用于改善器件的远场光学特性。
表面等离子体光子学 亚波长周期性孔阵的透射增强效应 三维时域有限差分方法 聚焦离子束 
光学学报
2009, 29(6): 1638

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