中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083
激光三角测量方法因其具有结构简单、非接触、信号处理便捷等特点而得到广泛应用。针对工程应用中提出的高精度、大工作距离的测量要求,从激光三角位移传感器结构、光斑定位不确定度和定标方法等方面进行分析,分别讨论了各个因素对于测量精度的影响,并提出了优化方案。经实验验证,该激光三角位移测量系统在110 mm的工作距离下测量误差小于1.2 μm,优于在同等工作条件下的商用激光三角位移传感器。
激光三角法 光斑定位 二次法定标 光电探测器 非接触测量 laser triangulation spot locating uncertainty parabolic calibration photoelectric detector non-contact measurement
