针对因压电陶瓷固有的迟滞特性降低了压电陶瓷平台定位精度问题，该文提出一种基于前馈补偿的复合控制系统。首先建立前馈模型，提出并应用一种分段式的Prandtl-Ishlinskii模型，增加拟合精度，同时避免了复杂的求解过程，并求出迟滞逆模型，其建模误差率可达0.69%; 其次，对反馈回路设计了串联比例-积分(PI)数字电路、正弦激励电路及电容转换电路，进一步提高了压电陶瓷定位平台的控制精度。根据国标GB/T 38614—2020的测试标准进行实验测试，结果表明，在设计的复合控制系统控制下，压电陶瓷定位平台正、反向重复定位精度分别为0.013 1 μm和0.015 5 μm，准确度为0.033 5 μm，在计算出反向差值后得出迟滞误差为0.013%。与仅有前馈控制相比，其控制精度提高了79.57%。

该文提出了一种基于惯性粘滑驱动原理、可快速运动的跨尺度精密运动压电平台。该平台由滑动部分、摩擦调整部分、堆叠压电陶瓷、惯性部分和底座组成, 总尺寸为60 mm×60 mm×58 mm。该文详细介绍了基于此结构的新型惯性粘滑驱动原理。为了研究所设计压电平台的驱动性能, 制作了样机并建立了实验系统。实验中, 驱动频率7 kHz时最大的单步步距为2.67 μm, 最大速度为22.7 mm/s, 最大静态保持力为36 N。实验结果表明, 该文设计的平台可快速运动, 具有良好的运动性能。

为了提高薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD，以下简称液晶光阀)投影图像的分辨率，提出了一种利用压电陶瓷驱动的平台拖动液晶光阀做X、Y方向上的精确移动，实现液晶光阀像素移动的方法。介绍了液晶光阀硬件结构的特点，基于这些特点提出了利用像素移动技术提高投影图像分辨率的原理。根据计算得出X、Y方向精确位移运动的精度要求为10 nm量级，进而选择了实现这样高精度运动的机械结构。提出了3种检测试验结果的方案，绘制了整体试验方案的结构框图。最后，搭建试验平台验证了试验原理的正确性和有效性。采用像素移动技术后，利用液晶光阀投影得到的图像的分辨率在X、Y方向上分别提高到原来的2倍，总像素个数为原来的4倍，突破了星模拟器的分辨率完全受限于显示器件分辨率的状况。