作者单位
摘要
深圳大学 物理与光电工程学院 光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室, 广东 深圳 518060
提出一种新颖、可避免高温过程的大面积吸收光栅制作方法, 使用钨纳米粒子作为X射线吸收材料, 利用有机溶剂和乳化剂作为吸收材料的载体, 在负压下将它们填充到周期为42μm、深度为150μm的光栅结构中。此外, 与通过微铸造技术制作的相同结构铋块体吸收光栅相比较, 得到的X射线投影吸收对比度表明, 钨纳米颗粒对X射线吸收性能低约15%, 但纳米颗粒填充法可显著降低吸收光栅的制作成本, 并利于实现大面积制作。
X射线 相衬成像 吸收光栅 纳米颗粒  X-ray phase contrast imaging absorption grating nanoparticles tungsten 
半导体光电
2019, 40(6): 786
作者单位
摘要
深圳大学 物理与光电工程学院 光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室,广东 深圳 518060
利用深反应离子刻蚀技术或湿法腐蚀在硅上制作光栅结构,将与光栅浸润的液体作为载体携带铋纳米颗粒进入光栅结构内,形成致密排列,从而制作出X射线吸收光栅.致密地填充了周期为42 μm、刻蚀深度为150 μm的光栅结构,比较了其与微铸造法制作的铋块体吸收光栅的X射线吸收性能,并通过填充周期为24 μm和6 μm的光栅结构,研究了光栅周期与填充致密性之间的关系.扫描电镜测试结果显示自由沉降法可有效制作较大周期光栅,但对周期为6 μm光栅结构填充的致密性不佳。分析结果表明,对于小周期吸收光栅,需筛选所用填充颗粒,以保证颗粒粒径远小于光栅槽宽.基于纳米颗粒的自由沉降法可降低光栅制作成本及技术门槛,方便实现大面积吸收光栅的制作.
X射线成像 吸收光栅 自由沉降 铋纳米颗粒 刻蚀 相位衬度 X-ray imaging Absorption gratings Free settling Bismuth nanoparticles Etching Phase contrast 
光子学报
2019, 48(10): 1005001
黄建衡 1,2,*雷耀虎 1杜杨 1刘鑫 1[ ... ]郭宝平 1
作者单位
摘要
1 深圳大学光电工程学院广东省/教育部光电子器件与系统重点实验室, 广东 深圳 518060
2 深圳大学信息工程学院, 广东 深圳 518060
吸收光栅是X射线相衬成像系统的关键器件,铋吸收光栅由于其制作成本低廉且适于在普通实验室开展制作而受到青睐。提出了一种针对铋光栅X射线相衬成像条纹对比度的定量计算方法,通过建立模型,数值计算了不同铋层厚度的吸收光栅所对应的叠栅条纹对比度,并比较了π和π/2相位光栅两种情形下的结果。结果显示,随着吸收光栅铋层厚度的增加,条纹对比度逐渐增加,当源光栅和分析光栅的铋层厚度分别达到150 μm和110 μm时,利用π相位光栅在40 kV管电压下其条纹对比度可达48%,60 kV管电压下其条纹对比度只能达到22%。而在两个吸收光栅铋层厚度相同的情况下,采用π/2相位光栅所得条纹对比度略优于π相位光栅的结果。对铋光栅X射线相衬成像条纹对比度的计算分析,可作为X射线相衬成像系统设计的参考依据,推动该成像技术走向实用化。
X射线光学 X射线相衬成像 条纹对比度 数值计算 吸收光栅 
光学学报
2017, 37(4): 0434001

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