合肥京东方显示技术有限公司，安徽 合肥 230012
为了解决传统小尺寸液晶面板缺陷寻址方法应用在高分辨率、大尺寸液晶面板上存在的效率低、精度差等问题，建立了全自动缺陷精确寻址系统，并对该系统硬件与软件的架构及实施方式、缺陷的定址逻辑进行研究。首先，在点灯检测设备的基础上增加可移动光学相机机构和相应的软件架构，构建成寻址中控系统；然后，通过相机拍摄液晶面板自身显示的空心十字光标与缺陷重合前后的图片，采用对比的方法精确定位缺陷；最后，通过液晶面板驱动装置输出缺陷坐标。对5种缺陷进行测试，结果表明，该系统稳定易用，具有全自动、识别速度快和100%精确寻址等优点。该系统应用于H公司缺陷坐标寻址工序后，缺陷坐标准确性提升30%以上，缺陷维修收益显著提升，在大尺寸液晶面板缺陷维修坐标寻址领域具有重大应用价值。
大尺寸 液晶面板 缺陷坐标 精确定位 large size LCD panel defect coordinates accurate addressing
1 厦门理工学院 光电与通信工程学院，福建 厦门 361000
2 天马微电子股份有限公司 消费品质量部，福建 厦门 361000
为提高液晶面板挤压漏光最大临界力值和抗挤压能力，通过对液晶面板挤压漏光机理进行分析，结合企业实际生产，采用实验设计（DOE）筛选主要因子。DOE结果表明，挤压漏光的主要因子有柱状隔垫物（Photo spacer，PS）尺寸、黑色矩阵（Black Matrix，BM）宽度、PS站位以及平坦化层（PLN）厚度。在实际生产过程中对挤压漏光进行改善设计实验，结果表明：增加PS的尺寸能有效提升面板抗击压能力的32.69%，且尺寸增大后，其弹性回复率增加了4.4%，能有效降低挤压漏光的发生；增加3 μm BM宽度设计的面板挤压漏光平均临界值提升了30.61%；改变PS站位整体居中设计较PS偏右上设计的面板的挤压漏光平均临界力值提升了33.33%；PLN厚度减小0.6 μm能有效提升27.08%的面板挤压漏光临界力值。
液晶面板 挤压漏光 隔垫物 实验设计 liquid crystal panel light leakage photo spacer design of experiments
合肥京东方光电科技有限公司, 安徽 合肥 230011
在液晶面板制造设备故障诊断中, 传统方法存在效率低、经验分散等缺陷, 为此设计了一种基于规则的设备故障诊断专家系统, 能够缩短诊断设备故障时间, 高效地整合了故障诊断经验资源。产生式规则按照固定的格式, 并具有与人的思维相似, 直观、自然、容易理解等特点, 将其应用到该专家系统中的知识库中, 提高了知识库的增长速度和准确度。实际应用表明, 该系统可准确判别液晶面板设备故障原因并提供解决方案, 将诊断设备故障平均时间降低了35.5% 。
产生式规则 知识库 故障诊断 液晶面板设备 production rule knowledge set fault diagnosis TFT-LCD equipment
鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 内蒙古 鄂尔多斯017020
为了改善过孔的干法刻蚀中刻蚀率的不同导致SD线和P-Si接触面积不一致的问题, 同时解决ELA工艺导致P-Si表面突起而造成SD与P-Si点状接触的问题, 探究了过孔的不同干法刻蚀工艺对TFT-LCD性能的影响, 从中找出最佳的过孔干法刻蚀工艺。利用京东方产线设备制备了两种不同的LTPS阵列样品, 样品一的过孔工艺采用传统的底部接触方式, 样品二采用新的侧面接触方式,样品一和样品二其余的工艺过程一致。实验结果表明: 多点的U-I曲线由发散变为集聚, 电子迁移率有所提高; SEM数据表明采用侧面接触方式能够完全将P-Si刻穿。采用侧面接触方式能够明显的解决干法刻蚀中刻蚀率的不同导致SD线和P-Si接触面积不一致的问题, 同时避免了ELA工艺导致P-Si表面突起而造成SD与P-Si点状接触的问题, 电学性能有所改善, 同时减少了工艺时间, 提高了产能。
干法刻蚀 侧面接触方式 过孔 液晶面板 低温多晶硅技术 dry etch Just Contact Method contact hole TFT-LCD low-temperature polysilicon
合肥京东方光电科技有限公司，安徽 合肥 230011
针对液晶面板制造企业资源计划的计划层与现场过程控制层之间信息和管理的断层而引起的生产管理问题，提出了在资源计划层和现场过程控制层之间的制造执行系统中引入射频识别技术的物料搬送模块，生产和品质信息通过在线设备与上位服务器之间的文件传输协议和数据库快速检索技术，实现生产和质量的数字化管理。在制品出货过程中，以XML文件和文本文件形式通过Tibco通信软件分别将制品品质信息和缺陷详细数据上传到目的服务器中，保证了从制品的生产控制、品质管理以及出货环节的数据和业务集成化。该系统在液晶面板制造生产线现场应用的结果表明，生产效率和生产质量得到了明显改善。
射频识别 物料搬送 制造执行系统 液晶面板制造 radio frequency identification material transfer manufacturing execution system TFTLCD manufacturer
目前液晶显示器在汽车产业的应用越来越普遍，文章通过2009年法兰克福汽车展(第63届)中第一手资料，观察到新车中平均一台汽车使用3片液晶面板。由于汽车产业对供货商的品质要求相当严格，即使驱动IC也必须通过应力测试认证，文章详述此认证规范AEC-Q100。
车载液晶面板 车用电子 车载STN驱动IC AEC-Q100 AEC-Q100 automotive LCD display automotive electronics automotive STN driver IC
上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海 200240
以化学蚀刻薄化技术为课题,介绍了化学蚀刻的原理、方式;TFT-LCD液晶面板经过HF溶液化学蚀刻后,原来的单片玻璃厚度从0.7mm减薄至0.5mm厚度,薄化后的液晶面板经后段生产组装成LCM模块,经过各项可靠性分析来验证产品可能出现的问题,为TFT-LCD生产中的化学蚀刻薄化技术提供参考。文章主要探讨了TFT-LCD薄板化生产,包括化学蚀刻方式、产品的性质,产品的可靠性项目等。
化学蚀刻 液晶面板 薄板化 chemical etching LCD panel thin'ning
