1 中国电子科技集团第二十六研究所，重庆 400060
2 重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心，重庆 401332
3 重庆市固态惯性技术工程实验室，重庆 401332
4 重庆电子工程职业学院 智慧健康学院，重庆 401331
为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求，该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺，在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2 μm的质量块，并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先，通过调整镀膜高度和角度以满足厚度精度要求；其次，为了保证对准精度，设计了掩膜夹具和位置调整夹具；最后，通过实验确定了最佳镀膜参数。此外，对制作的质量块进行了激光修调实验，经过修调后，陀螺机械耦合误差信号的幅值从初始的301.0 mV降至17.6 mV。
陀螺芯片 机械耦合误差 电子束镀膜 激光修调 gyroscope chip mechanical coupling error electron beam physical vapor deposition (EBPVD) laser trimming
中国电子科技集团公司 第二十四研究所, 重庆 400060
设计了一种14位乘法型D/A转换器。采用高3位温度计编码、低11位二进制编码的分段电流模R-2R电阻网络结构,规避了高分辨率二进制电流模R-2R电阻网络开关尺寸大、版图匹配难度大的缺点。基于混合信号CMOS工艺进行了流片,实测DNL在±0.5 LSB以内,INL在±0.8 LSB以内。该D/A转换器适用于工业控制、仪器仪表等领域。
乘法型D/A转换器 电流模R-2R电阻网络 薄膜电阻 激光修调 multiplying D/A converter current-mode R-2R resistance network thin-film resistor laser trim
武汉华工激光工程有限公司, 湖北 武汉 430223
介绍了自行研制的绿激光显微精密修调机，分析了其系统组成结构。该系统主要由激光器系统、激光聚焦及定位光学系统、精密数控系统及自动化测试系统组成。采用的半导体端面泵浦Nd∶YVO4电光调Q倍频532 nm激光器，保证了较高的峰值功率密度和光束质量，激光聚焦及定位光学系统保证了更小的聚焦光斑。经测试表明绿激光显微精密修调机的生产效率比国外同类设备提高了近50%，其技术指标达到了预期要求。
激光技术 绿激光 激光修调 厚膜调阻 laser technique green laser laser trimming thick-film trimming
1 华中科技大学, 湖北 武汉 430223
2 武汉华工激光工程有限责任公司, 湖北 武汉 430223
介绍了绿激光显微精密修调机, 分析了其系统组成结构。系统主要由激光器系统、激光聚焦及定位光学系统、精密数控系统及自动化测试系统组成。描述了绿激光修调在薄膜压力传感器中的应用,同时分析了绿激光修调薄膜压力传感器的主要工艺, 工艺的关键点是对激光束光斑的大小以及激光能量的实时控制。通过高性能的激光器、聚焦系统、监视系统、精确的运动控制系统成功的将调阻技术应用到了薄膜压力传感器生产中, 使传感器的零点控制误差控制±80 μV以内, 相应地保证了零点温漂小于0.02% ℃, 且基本呈线性,实现了传感器的非补偿性。
激光修调 绿激光 薄膜调阻 压力传感器
