1 1.北京科技大学 新材料技术研究院, 北京 100083
2 2.北京科技大学 顺德创新学院, 佛山 528399
3 3.北方工业大学 机械与材料工程学院, 北京 100144
均匀生长大尺寸光学级金刚石膜一直是微波化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition, MPCVD)金刚石研究领域的热点和难点, 沉积台的结构与位置对于金刚石膜均匀性以及厚膜生长的长期稳定性至关重要。本研究通过COMSOL模拟结合实验研究了沉积台高度对衬底表面电场均匀性、等离子体状态和温度均匀性的影响规律, 优化了光学级金刚石膜均匀生长的工艺参数, 在最佳沉积台高度(2 mm)下沉积得到的2英寸金刚石膜(最大厚度337 μm), 厚度不均匀性<11%, 从膜中心到边缘的拉曼半峰全宽为3~4 cm-1, 可见光波段内最高透过率为69%~70%, 10.6 μm处红外透过率为70%。结果表明: 金刚石膜的厚度和品质较为均匀, 实现了两英寸光学级金刚石膜的均匀沉积。沉积台高度对衬底表面的电场分布、等离子体形状和温度分布都有一定影响, 随着沉积台高度增加, 衬底表面电场分布均匀性和温度均匀性得到明显改善, 且衬底表面的等离子体分布更均匀, H原子和含碳基团的浓度增加。
光学级金刚石膜 温度均匀性 红外透过率 沉积台高度 COMSOL模拟 optical grade diamond film temperature uniformity infrared transmittance deposition platform height COMSOL simulation
1 宁波大学高等技术研究院, 宁波 315211
2 浙江省光电探测材料及器件重点实验室, 宁波 315211
梯度折射率红外成像系统可在保持成像性能的基础上, 极大降低系统的尺寸、质量和成本, 有望推进红外成像系统向轻小型发展。然而, 目前没有可用的红外梯度折射率光学材料。本文基于65GeS2-25In2S3-10CsCl硫系玻璃, 利用梯度温度场热诱导析出轴向梯度分布的β-In2S3纳米晶体, 制得梯度折射率透明硫系微晶玻璃。结果表明: 析出的β-In2S3晶体为不同晶面取向纳米晶组成的多晶结构, 尺寸约为25 nm, 且晶体尺寸、数量与梯度温度场密切相关; 制得的梯度折射率硫系微晶玻璃仍保持良好的长波红外透过率, 且其10 μm处最大折射率差Δn达0.047。
硫系玻璃 热诱导析晶 梯度折射率 微晶玻璃 红外透过率 光学材料 chalcogenide glass thermally induced crystallization gradient refractive index glass-ceramics infrared transmission optical material
空军工程大学航空机务士官学校, 河南 信阳 464000
针对3~5 μm机载中波红外系统复杂气象条件下对地目标探测识别问题, 在理论研究的基础上, 采用PcModWin大气仿真软件, 进行了清洁大气、雾、云、雨等气象条件下的模拟仿真实验, 分析了不同气象条件下不同距离范围内该波段红外辐射透过率分布曲线和峰值参数的变化规律, 结合大气分子学理论, 证明了探测角度、大气能见度、雾型、云层类型、降雨(雪)强度等, 都是影响该波段机载红外系统对地目标探测识别效果的重要因素, 提出了工程运用中应当采取的策略方法。研究结果对后续工程试验和运用实践具有指导作用, 可提高该波段机载红外系统的应用效果。
复杂气象 机载 中波红外 探测识别 红外透过率 complex meteorology airborne medium wave infrared detection and identification infrared transmittance
1 中国科学院高能物理研究所, 粒子天体物理重点实验室, 北京 100049
2 西藏大学物理系, 拉萨 850000
碲锰镉(CdMnTe)作为性能优异的室温核辐射探测器材料, 可用于环境监测和工业无损检测领域。本文中采用Te溶剂Bridgman法生长In掺杂Cd0.9Mn0.1Te晶体, 制备成10 mm×10 mm×2 mm大小的室温单平面探测器, 研究了该探测器对241Am@59.5 keV γ射线源的能谱响应。通过表征红外透过率、电阻率以及探测器能谱响应等参数, 综合评定了探测器用CdMnTe晶体的质量、电学和探测器性能。结果表明, 晶片的红外透过率均在55%以上, 最好可达到60%。采用湿法钝化, 100 V偏压下的漏电流由钝化前的9.48 nA降为钝化后的7.90 nA, 钝化后的电阻率为2.832×1010 Ω·cm。在-400 V反向偏压下, CdMnTe探测器对241Am@59.5 keV γ射线源的能量分辨率在钝化前后分别为13.53%和12.51%, 钝化后的电子迁移率寿命积为1.049×10-3 cm2/V。研究了探测器的能量分辨率随电压的变化特性, 当偏压≤400 V时, 探测器的能量分辨率主要由载流子的收集效率决定, 而当偏压>400 V时, 能量分辨率由漏电流决定。本文研究结果表明, Te溶剂Bridgman法生长的CdMnTe晶体质量较好, 电阻率和电子迁移率寿命积满足探测器制备需求。
碲锰镉 Te溶剂Bridgman法 红外透过率 钝化 漏电流 核辐射探测器 能量分辨率 CdMnTe Te solvent Bridgman method infrared transmittance passivation leakage current nuclear radiation detector energy resolution
西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710016
设计了不同结构参数的几何拓扑结构, 对比分析了各几何拓扑结构的电磁屏蔽效能。建立了各几何拓扑结构的红外透过率公式, 用计算机图像处理和实验两种方法对其进行验证。用高频结构仿真软件(HFSS)对各几何拓扑结构进行仿真, 得到了不同几何拓扑结构在 12~18GHz波段内的电磁屏蔽效能。通过对比不同的几何拓扑结构电磁屏蔽效能的大小, 确定了在相同条件下, 电磁屏蔽效能最高的几何拓扑结构。采用光刻法得到十字形拓扑结构的实物, 用网络分析仪测试了其电磁屏蔽效能。对十字形拓扑结构的测试结果表明, 在频率增高时, 实测值和仿真值电磁屏蔽效能差值呈增大趋势。
电磁屏蔽效能 红外透过率 拓扑结构 屏蔽效能测试 高频结构仿真软件 electromagnetic shielding effectiveness infrared transmittance geometric topology shielding effectiveness testing HFSS
1 西华师范大学物理与空间科学学院,南充 637002
2 中国科学院国家天文台,北京 100012
采用垂直无籽晶气相升华法生长出直径37 mm的优质硒化镉(CdSe)单晶体,并沿光轴方向切割出20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚。经研磨和抛光,在2~20 μm波段CdSe波片的红外透过率约为70%。为进一步提高波片的透过率,采用Essential-Macleod软件辅助设计方案,选用YF3和ZnS为双层增透膜材料,并获得最佳的膜系厚度。镀膜后的CdSe波片在6~12 μm波段透过率达到90%,在10.5 μm处的透过率最高,峰值高达99%。
硒化镉波片 增透膜 红外透过率 wave plate of CdSe anti-reflection coating infrared transmittance
硫化锌(ZnS)是一种重要的红外光学材料,在8~10 μm波段范围内拥有较高的透过率,广泛应用于导弹整流罩、红外天文卫星、红外光谱仪、测量仪和热像仪等领域。采用高温后处理工艺方法可促进晶粒生长,并起到消除热压多晶ZnS内部的残余六方相和气孔的作用,进而可提升材料光学透过性能。对于厚度5 mm的热压ZnS试验片,1.064 μm处透过率达到60%,2~10 μm平均透过率达到73%。经后处理的光学窗口其抗冲击性能测试结果表明,材料保留了原有热压ZnS材料的力学特性,且在400 ℃的条件下能够满足光电探测系统清晰成像的要求。
热压硫化锌 后处理改性 红外透过率 抗冲击性能 hot-pressed ZnS post-treatment modification infrared transmittance thermal shock resistance
南京航空航天大学 机电工程学院,江苏 南京 210016
利用射频磁控溅射方法,选取溅射时间为15,25,30和45 min,在蓝宝石衬底上沉积了V2O5薄膜。研究了其他实验参量不变,溅射时间不同对薄膜结构、薄膜厚度、表面形貌、电学及光学性能的影响。实验结果表明,制备出的薄膜为单一组分的V2O5薄膜,其在(001)面有明显的择优取向。随着溅身时间的增加,结晶性能逐渐变强,晶粒尺寸也逐渐变大,而表面粗糙度值会逐渐降低;在晶体结构完整的基础上,随着溅射时间的增加,相变温度和经历的温度范围会逐渐增加,电学突变性能会降低。测试了薄膜在中红外波段的高低温透过率,结果显示: 当膜厚为350 nm,波长为5 μm 时,薄膜的透过率从25 ℃时的81%变为300 ℃的7%,变化幅度可达74%;所有薄膜相变前后透过率的比值均为9~13,表现出了非常突出的光学开关特性。
V2O5薄膜 磁控溅射 溅射时间 薄膜厚度 电学性能 红外透过率 V2O5 film magnetron sputtering sputtering time thin film thickness electrical performance infrared transmittance
采用原子层沉积(ALD)方法, 分别以VO(OC3H7)3和H2O2为钒源和氧源, 在载玻片基底上沉积钒氧化物薄膜; 在还原气氛的管式炉中, 对钒氧化物薄膜进行还原退火结晶, 进而得到VO2薄膜晶体。通过扫描电镜(SEM)、X-射线衍射(XRD)及X-射线光电子能谱(XPS)研究所制备的钒氧化物薄膜表面形貌、晶体结构以及组分的变化; 利用傅里叶红外光谱(FT-IR )对VO2薄膜的红外透射性进行测试分析。结果表明: ALD所制备的薄膜以非晶态V2O5、VO2和V2O3为主; 在通以还原气氛(95%Ar, 5%H2)并500℃热处理2h后得到以(011)择优取向的单斜金红石纳米VO2薄膜, VO2晶体薄膜相变前后红外透过率突变量较大。
原子层沉积(ALD) 纳米二氧化钒薄膜 半导体-金属相变 红外透过率 ALD nano-vanadium dioxide film semiconductor-metal phase transition IR transmittance
1 北京有色金属研究总院产业发展部, 北京 100088
2 北京有色金属研究总院能源材料与技术研究所, 北京 100088
3 中国科学院电工研究所, 北京 100190
利用射频等离子体增强化学气相沉积技术, 以 CH4为气源, 在单晶锗基底上制备了具有红外增透效果的薄膜。 Raman光谱分析表明, D峰和 G峰分别位于 1200~1450 cm-1和 1500~1700 cm-1之间, 说明薄膜具有典型的类金刚石的特征峰, 可知镀制的薄膜是类金刚石膜。通过研究射频功率对类金刚石膜红外透过率以及硬度等性能的影响, 分析了类金刚石膜的红外透过率和纳米硬度随着薄膜中 sp3含量的增加而增大的原因, 从而找出一种利用 PECVD方法制备 DLC膜的最佳工艺参数。
类金刚石膜 Raman光谱 红外透过率 DLC films RF-PECVD RF-PECVD Raman spectrum infrared transmittance