中国激光, 2021, 48 (4): 0401007, 网络出版: 2021-02-08
高能激光单晶硅反射镜纳米精度控形控性制造技术 下载: 1372次特邀综述
Nanoprecision Control of Shape and Performance Manufacturing Technology for High-Energy Laser Silicon Components
基本信息
DOI: | 10.3788/CJL202148.0401007 |
中图分类号: | O436 |
栏目: | “国防科技大学”专辑 |
项目基金: | NSFC-广东联合基金(U1801259)、国家自然科学基金(51835013, 51675526)、湖南省科技创新计划(2020RC2037)、湖南省教育厅科学研究项目(20C0151) |
收稿日期: | 2020-08-20 |
修改稿日期: | 2020-09-22 |
网络出版日期: | 2021-02-08 |
通讯作者: | 石峰 (shifeng@nudt.edu.cn), 田野 (shifeng@nudt.edu.cn), 乔硕 (shifeng@nudt.edu.cn) |
备注: | -- |
石峰, 田野, 乔硕, 周光奇, 宋辞, 薛帅, 铁贵鹏, 周林, 舒勇, 周港. 高能激光单晶硅反射镜纳米精度控形控性制造技术[J]. 中国激光, 2021, 48(4): 0401007. Feng Shi, Ye Tian, Shuo Qiao, Guangqi Zhou, Ci Song, Shuai Xue, Guipeng Tie, Lin Zhou, Yong Shu, Gang Zhou. Nanoprecision Control of Shape and Performance Manufacturing Technology for High-Energy Laser Silicon Components[J]. Chinese Journal of Lasers, 2021, 48(4): 0401007.