高能激光单晶硅反射镜纳米精度控形控性制造技术 | 中国激光 -- 中国光学期刊网

中国激光, 2021, 48 (4): 0401007, 网络出版: 2021-02-08

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Nanoprecision Control of Shape and Performance Manufacturing Technology for High-Energy Laser Silicon Components

石峰 ^1,2,*田野 ^1,2,*乔硕 ^1,2,3,*周光奇 ^1,2宋辞 ^1,2薛帅 ^1,2铁贵鹏 ^1,2周林 ^1,2舒勇 ⁴周港 ^1,2

作者单位

¹ 国防科技大学智能科学学院, 湖南长沙 410073

² 国防科技大学装备综合保障技术重点实验室, 湖南长沙 410073

³ 长沙学院机电工程学院, 湖南长沙 410022

⁴ 空军工程大学航空机务士官学校, 河南信阳 464000

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石峰, 田野, 乔硕, 周光奇, 宋辞, 薛帅, 铁贵鹏, 周林, 舒勇, 周港. 高能激光单晶硅反射镜纳米精度控形控性制造技术[J]. 中国激光, 2021, 48(4): 0401007. Feng Shi, Ye Tian, Shuo Qiao, Guangqi Zhou, Ci Song, Shuai Xue, Guipeng Tie, Lin Zhou, Yong Shu, Gang Zhou. Nanoprecision Control of Shape and Performance Manufacturing Technology for High-Energy Laser Silicon Components[J]. Chinese Journal of Lasers, 2021, 48(4): 0401007.

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