中国激光, 2021, 48 (4): 0401007, 网络出版: 2021-02-08
高能激光单晶硅反射镜纳米精度控形控性制造技术 下载: 1371次特邀综述
Nanoprecision Control of Shape and Performance Manufacturing Technology for High-Energy Laser Silicon Components
光学制造 高能激光系统 单晶硅元件 浸没式光顺抛光 离子束抛光 optical fabrication high-energy laser system monocrystalline silicon element immersion smooth polishing ion beam polishing
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