陈星 1,2,*周畅 1,2刘可为 1,2,*申德振 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学 材料科学与光电工程研究中心, 北京 100049
紫外探测技术是继红外探测与激光探测技术之后的又一项军民两用探测技术,有广阔的应用前景。真空光电倍增管和Si基光电二极管是常见的商品化紫外探测器,但是真空光电倍增管易受高温和电磁辐射干扰,需要在高压下工作;而Si基光电二极管需要昂贵的滤光片。宽禁带半导体紫外探测器克服了上述两种器件面临的一些问题,成为紫外探测器研究的热点。其中宽禁带氧化物材料,具有易于制备高响应高增益器件、有丰富的微纳结构、易于制备微纳器件的特点,引起了人们的广泛关注。本文对宽禁带半导体氧化物材料的微纳结构器件进行梳理,对近年来的一些相关研究进行了综述。其中涉及的氧化物材料包括ZnO,Ga2O3,SnO2,TiO2等,涉及的器件结构包括金属-半导体-金属型器件,肖特基结型器件,异质结型器件等。
宽禁带半导体 氧化物半导体 微纳结构 紫外探测器 wide bandgap semiconductor oxide semiconductor micro nano-structure ultraviolet photodetector 
中国光学
2022, 15(5): 912
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春 130022
2 长春理工大学空间光电技术国家地方联合工程研究中心,吉林 长春 130022
3 中国科学院国家天文台长春人造卫星观测站,吉林 长春 130117
随着5G时代的到来,自由空间光通信成为无线通信领域的研究热点,限制激光通信系统在大气信道下发展的主要因素是湍流闪烁效应。为了提高激光通信系统在大气信道下的通信性能,本文提出了一种基于雪崩光电二极管自适应增益控制的激光传输终端大气湍流的抑制方法,建立了大气湍流信道时域频域模型,编写了一套闭环调节算法并在湍流条件下搭建了具有自适应增益控制算法的无线激光通信实验。结果表明:在弱湍流条件下,光强闪烁方差由0.057降低至0.023,开启自动增益控制的功率谱曲线更加符合5/3次幂律谱,系统误码率降低两个数量级。经多次试验证明,自适应增益控制算法有效地抑制了湍流引起的信号功率波动,实现了高抗干扰能力的无线激光通信。
光通信 自由空间光通信 大气湍流 雪崩光电二极管 自适应增益控制 
中国激光
2022, 49(4): 0406002
作者单位
摘要
1 上海大学 机电工程与自动化学院,上海200444;上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203
2 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海2012203
3 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203
4 上海大学 机电工程与自动化学院,上海200444
工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度。在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动误差,而这些运动误差会影响TFT阵列基板长寸测量精度。为解决上述工件台运动误差对长寸测量精度的影响,文中基于桥式结构的长寸测量设备研究分析了工件台运动误差对长寸测量精度的影响机理,设计了一种共光路多自由度激光干涉仪测量系统,给出了激光干涉仪测量系统光束结构布局及测量补偿方案。通过搭建测试平台,基于4.5代基板对比测试了工件台运动误差补偿前后的重复性及最终长寸测量重复性。试验结果表明,研究的工件台运动误差测量及补偿技术可以满足100 nm高精度运动台定位精度技术需求。
薄膜晶体管 长寸 工件台 运动误差 激光干涉仪 测量补偿 TFT total pitch plate stage moving error laser interferometer measurement of compensation 
光电子技术
2021, 41(1): 1
作者单位
摘要
1 上海大学 机电工程与自动化学院,上海200444
2 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海0103
利用中心对称标记的中心旋转不变特性,提出了一种基于自归一化积相关(SNCC)的模板匹配方法。该方法对由于TFT制程工艺导致的非线性缩放变形以及标记离焦情形,具有较强的工艺适应性。通过对TFT工艺变形的对准标记以及离焦的对准标记对比测试,验证了在此工况条件下,基于SNCC方法的测量结果相对NCC及几何模版匹配算法具有更高的可信度,可以满足中心对称标记亚像素级的精确定位及测量需求。相对于传统标记中心定位方法,在对准标记产生工艺形变或对准离焦时,研究方法依旧可以获取高的可信度测量结果。
薄膜晶体管 归一化积相关 中心对称标记 亚像素定位 TFT normalized cross correlation centro-symmetrical mark sub-pixel positioning 
光电子技术
2020, 40(4): 284
周畅 1,*徐兵 1,2朱岳彬 1
作者单位
摘要
1 上海微电子装备(集团)股份有限公司, 上海 201203
2 上海大学 机电工程与自动化学院, 上海 200444
提出了一种使用小尺寸MASK(光罩)的高精度曝光技术, 能够实现1.5 μm分辨率, 几乎可以忽略的MASK成本。同时以曝光控制技术为基础, 提出了一种快速进行TP/OL/CD精确测量的技术, 为降低国产设备的测量使用成本提供了研究方向, 同时提高了国产屏的性价比, 可大幅降低单点测量时间和测量成本。
曝光 长寸 测量 光罩 精度 成本 exposure total pitch(TP) measurement mask accuracy cost 
光电子技术
2019, 39(3): 210
作者单位
摘要
1 空军预警学院 一系,湖北武汉 430019
2 中国人民解放军 93251部队,黑龙江 齐齐哈尔 161000
间歇采样转发干扰主要利用宽带信号的多普勒容限特性实现多假目标干扰,雷达亟需有效的干扰先验知识进行对抗。针对该问题,以间歇采样转发干扰原理为基础,推导出干扰信号经雷达匹配接收后的互模糊函数,在深入分析函数定量关系后,基于 Radon变换、最小二乘估计法对干扰采样周期和干扰占空比 2个关键参数进行了估计。仿真结果分析了干噪比 (JNR)和采样数据长度等因素对参数估计性能的影响,并验证了参数估计的有效性。
间歇采样转发干扰 互模糊函数 Radon变换 最小二乘估计 参数估计 intermittent sampling repeater jamming cross ambiguity function Radon transform least square estimation parameter estimation 
太赫兹科学与电子信息学报
2019, 17(5): 782
作者单位
摘要
1 上海大学 材料科学与工程学院, 上海 200072
2 上海大学 上海市新型显示设计制造与系统集成专业技术服务平台, 上海 200072
3 上海微电子装备集团有限公司, 上海 200072
通过溶液法制备了新型有源层钨锌锡氧化物(WZTO)薄膜晶体管(TFT), 研究了不同退火温度对WZTO薄膜和TFT器件性能的影响。XRD结果表明即使退火温度达到500 ℃, WZTO薄膜仍为非晶态结构。W掺杂显著降低了薄膜表面粗糙度, 其粗糙度均从0.9 nm降低到0.5 nm以下; 但不影响薄膜可见光透过率, 其透过率均大于85%。同时XPS分析证实随退火温度升高, WZTO薄膜中对应氧空位的峰增加。制备的WZTO器件阈值电压由8.04 V 降至3.48 V, 载流子迁移率随着退火温度的升高而增大, 开关电流比达到107。
退火温度 溶液法 薄膜晶体管 annealing temperatures solution-processed thin film transistors WSnZnO WSnZnO 
发光学报
2019, 40(2): 209
作者单位
摘要
1 湖南师范大学生命科学学院,湖南,长沙,410081
2 长沙市工商职业中专学校,湖南,长沙,410205
3 中南大学生殖与干细胞工程研究所,湖南,长沙,410078
运用数字差异展示方法,克隆一个与生精相关的睾丸高表达基因.借助公共ESTs数据库,利用DDD软件比较分析各种睾丸文库与其他组织或细胞系文库有差异表达的ESTs,成功克隆到一个在人类睾丸中高表达的新基因.结合实验获得新基因cDNA全长,该基因被国际人类基因命名委员会命名为ZNF474(GeneBank登陆号AY461732).ZNF474的cDNA全长为1 972 bp,定位在5q23.2.通过RT-PCR及测序验证,其开放阅读框的位置在377 bp~1 471 bp处,编码364个氨基酸,在氨基酸水平与小鼠同源基因有66%的一致性,而与其他已知蛋白质无明显同源性.Northern杂交分析显示ZNF474在成体睾丸组织特异高表达,卵巢组织弱表达,在多种其他组织中不表达,为单一转录本.原位杂交显示ZNF474基因在正常成人睾丸组织各级生精细胞、隐睾组织以?熬赴┳橹芯薪细弑泶?综上考虑,推测ZNF474作为生殖细胞中特异的转录因子,对人类的精子发生和卵母细胞的发育可能起重要作用.
数字差异展示方法 表达序列标签 ZNF474基因 
激光生物学报
2006, 15(1): 73

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