1 广东省特殊儿童发展与教育重点实验室，广东 湛江 524048
2 岭南师范学院物理科学与技术学院，广东 湛江 524048
糖度检测在生物、医疗等领域具有关键作用。为了提高旋光法测量糖溶液浓度的分辨率，本文提出利用正交反射镜消除偏振光被金属平面镜反射后的消旋光现象，建立了参考臂和测量臂信号的相位差与溶液浓度之间的函数关系，并研究了正交反射多次旋光效应。在不增加样品长度的前提下，通过多次旋光使分辨率倍增。以葡萄糖溶液为例，四次旋光的实验结果表明：在0~0.4690 g/mL范围内，浓度测量分辨率为8×10-6 g/mL，最大测量相对误差小于0.54%。正交反射多次旋光检测技术可以为血糖与自闭症发病机理研究提供实时在线血糖检测。
光谱学 旋光法 正交反射 多次旋光 葡萄糖浓度 激光与光电子学进展
2022, 59(21): 2130001
1 上海大学 机电工程与自动化学院，上海200444；上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海201203
2 上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海2012203
3 上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海201203
4 上海大学 机电工程与自动化学院，上海200444
工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一，其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度。在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动误差，而这些运动误差会影响TFT阵列基板长寸测量精度。为解决上述工件台运动误差对长寸测量精度的影响，文中基于桥式结构的长寸测量设备研究分析了工件台运动误差对长寸测量精度的影响机理，设计了一种共光路多自由度激光干涉仪测量系统，给出了激光干涉仪测量系统光束结构布局及测量补偿方案。通过搭建测试平台，基于4.5代基板对比测试了工件台运动误差补偿前后的重复性及最终长寸测量重复性。试验结果表明，研究的工件台运动误差测量及补偿技术可以满足100 nm高精度运动台定位精度技术需求。
薄膜晶体管 长寸 工件台 运动误差 激光干涉仪 测量补偿 TFT total pitch plate stage moving error laser interferometer measurement of compensation
1 天津航天中为数据系统科技有限公司, 天津 300301
2 天津市智能遥感信息处理技术企业重点实验室, 天津 300301
3 航天恒星科技有限公司, 北京 100086
图像法是光电吊舱视轴稳定精度检测的常用方法之一, 具有原理简单、成本低、通用性强等优点。通过载体模拟设备对光电吊舱施加外界扰动, 检测载荷相机所捕获固定目标的图像偏移量, 从而得到光电吊舱的稳定精度, 其中目标图像偏移量检测是整个流程的关键。提出一种基于图像灰度的目标图像偏移量检测方法, 可有效提升光电吊舱视轴稳定性的检测精度, 通过理论推导和实验证明, 目标图像偏移量检测精度可达到1/100像素以上, 具有重要的工程应用价值。
光电吊舱 图像灰度 偏移量 稳定精度 electro-optical pod grayscale of image offset stabilization accuracy
高光谱图像技术在农产品检测及识别方面有广阔的应用前景。 野生黑枸杞经济效益显著, 经常被种植黑枸杞冒充。 提出一种利用高光谱图像对野生黑枸杞无损快速识别的方法。 主要内容和结果如下: (1)共采集256份(野生、 种植各128份)黑枸杞在900~1 700 nm范围的高光谱反射光谱, 每份平均光谱作为此样品的光谱; (2)采用标准正态变换(SNV)对采集的光谱预处理; 基于Kennard-Stone法, 按照校正集和预测集比例为2:1对样品划分, 用连续投影算法(SPA)对光谱进行降维处理, 提取特征波长30个; 分别将全光谱和SPA 提取的30个特征波长作为模型输入, 建立支持向量机(SVM)、 极限学习机(ELM)和随机森林(RF)识别模型。 (3)结果表明, 在识别野生黑枸杞模型中, 基于全光谱和SPA建立的SVM, ELM和RF模型校正集识别率均高于98.8%, 基于全光谱和SPA建立的SVM, ELM和RF模型预测集识别率均高于97.7%。 基于全光谱(FS)建立的三种识别模型略优于基于SPA建立的三种识别模型。 但从简化模型方面, SPA提取的特征波常数仅为全光谱的11.8%, 大大降低了模型运算量。 三种模型中, 基于随机森林模型无损识别野生黑枸杞效果最好, 均达到100%。 研究表明, 利用高光谱图像技术结合分类模型可快速识别野生黑枸杞。
野生黑枸杞 高光谱图像 支持向量机 极限学习机 随机森林算法 Wild black Goji berry Hyperspectral image technology Support vector machine Extreme learning machine Random forest
在固液界面控制方面，对Si等成熟半导体的研究较多，而对锑化铟(InSb)材料的研究极少。对InSb晶体等径段生长过程中晶体拉速、转速和坩埚转速对固液界面形状的影响进行了模拟分析以及实际的晶体生长实验。结果表明，这三个生长参数对固液界面形状的平稳控制具有一定的效果。获得了平稳固液界面控制方法，为后续生长更低位错密度、更均匀径向电学参数分布的InSb材料打下了基础。
晶体拉速 晶体转速 坩埚转速 固液界面形状 模拟 InSb InSb crystal pulling speed crystal rotating speed crucible rotating speed solid-liquid interface shape simulation
1 上海微电子装备(集团)股份有限公司, 上海 201203
2 上海大学 机电工程与自动化学院, 上海 200444
提出了一种使用小尺寸MASK(光罩)的高精度曝光技术, 能够实现1.5 μm分辨率, 几乎可以忽略的MASK成本。同时以曝光控制技术为基础, 提出了一种快速进行TP/OL/CD精确测量的技术, 为降低国产设备的测量使用成本提供了研究方向, 同时提高了国产屏的性价比, 可大幅降低单点测量时间和测量成本。
曝光 长寸 测量 光罩 精度 成本 exposure total pitch(TP) measurement mask accuracy cost
1 上海大学 材料科学与工程学院, 上海 200072
2 上海大学 上海市新型显示设计制造与系统集成专业技术服务平台, 上海 200072
3 上海微电子装备集团有限公司, 上海 200072
通过溶液法制备了新型有源层钨锌锡氧化物(WZTO)薄膜晶体管(TFT), 研究了不同退火温度对WZTO薄膜和TFT器件性能的影响。XRD结果表明即使退火温度达到500 ℃, WZTO薄膜仍为非晶态结构。W掺杂显著降低了薄膜表面粗糙度, 其粗糙度均从0.9 nm降低到0.5 nm以下; 但不影响薄膜可见光透过率, 其透过率均大于85%。同时XPS分析证实随退火温度升高, WZTO薄膜中对应氧空位的峰增加。制备的WZTO器件阈值电压由8.04 V 降至3.48 V, 载流子迁移率随着退火温度的升高而增大, 开关电流比达到107。
退火温度 溶液法 薄膜晶体管 annealing temperatures solution-processed thin film transistors WSnZnO WSnZnO
