本文研究了基于T公司生产的某型号正性光阻, 采用错位叠加紫外曝光工艺, 实现灰阶曝光效果的方法, 最终得到具有特定角度的楔形斜面结构。光阻在进行紫外感光前后, 对紫外光的吸收系数α会发生变化, 根据朗伯比尔定律(Lambert-Beer law), 将楔形斜面结构等效成台阶状结构, 并通过实验计算出使该光阻发生光解反应的临界曝光能量I、光阻感光前后的吸收系数α和α′, 并进一步根据等效模型结构得到错位叠加曝光过程中每步曝光所需能量大小。实验结果表明, 使光阻进行分解反应的临界曝光能量I约为8 mJ, 对紫外光的吸收系数α约为1.14。经过紫外感光后, 光阻对紫外光的吸收系数α′降为原来20%, 进一步根据计算得到的曝光能量进行实验, 最终制作出所需的斜角为32°的楔形结构。错位叠加曝光的方法可以得到具有特定角度的楔形斜面微结构, 而且该过程所需的曝光条件可以根据楔形角度进行计算。

利用电沉积法制备磁屏蔽薄膜，不仅可以精确控制沉积膜的化学成分和厚度，而且可以在复杂几何形状的表面上形成薄膜。通过电沉积装置制备了铁镍-铜-铁镍多层复合磁屏蔽薄膜，并探究了磁场强度、厚度、高温环境对磁屏蔽薄膜屏蔽效能的影响。实验结果表明，50 μm和100 μm样品的屏蔽效能随磁场强度的增大而增大，200 μm的屏蔽效能则是先增大后降低；在4~16 Oe磁场中，厚度越大，薄膜屏蔽效果越好；100 ℃的温度会降低所有厚度的磁屏蔽薄膜的屏蔽效能。

分析了白色光阻材料在不同温度、不同厚度和不同化学品浸泡下色度值、分辨率和附着力的变化情况。验证了白色光阻材料在OGS（One glass solution）触摸屏生产中的工艺条件。首先, 关注白色光阻材料的光密度值（OD值）、分辨率、耐化性、耐高温性能以及在不同厚度下白色光阻材料的色度变化。然后对白色光阻材料和触摸屏制作工艺进行工艺整合, 提出了采用白色光阻加黑矩阵的双层结构, 可以保证白色光阻材料的OD值, 防止后面的金属线被透视出来, 其中白色光阻的厚度控制在15 μm, 黑矩阵的厚度在1.2 μm。在后续的Photo工艺时, 调整工艺参数, 加大了PR的厚度并加大曝光显影时间, 成功解决了这种高段差造成的金属线Open和Remain问题, 并采用OGS工艺制作了白色光阻触摸屏样品。

为了降低薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的功耗, 提出了一种新的双栅之型反转驱动方法。研究了双栅之型反转驱动技术的节能原理, 完成了相关结构设计、电路设计, 制作了35.6 cm(14 in)WXGA(1 366 RGB×768)样品, 测试并分析了节能效果。结果表明, 该技术可以有效降低TFT-LCD的功耗, 在显示彩条画面的情况下, 液晶屏模拟电源功耗降低了70%(191 mW)。分析了出现的莫尔条纹问题, 并提出了解决方案。该研究为降低TFT-LCD及其他显示设备的功耗提供了一种驱动方法及设计参考。

车载测风激光雷达在进行移动测量时,激光雷达在各个方位的累积时间变短,另外还有天空背景光、大气湍流、机械振动 的干扰以及暗噪声、电子学噪声的影响,回波信号的信噪比会因此降低,从而限制激光雷达的探测范围。在风廓线 的反演过程中利用窗口大小随距离变化的滑动平均滤波器和中值滤波器可将1215 km的平均信噪 比提高2.8倍,因而可有效提高探测距离。

介绍了一种高精度1.55 μm全光纤激光相干测速实验系统。实验系统采用光纤激光器作为激光源，利用光纤环行器与望远镜构成收发合置的光学天线，所有光学器件由单模光纤连接。数据处理采用快速傅里叶变换（FFT）频谱分析方法检测信号多普勒频移。利用该系统对转盘进行多次测速实验，速率测量的相对误差小于0.2%。同时对基于光纤激光器相干探测的主要低频噪声本振光强度噪声进行详细讨论，通过抽运驱动电流内调制法抑制本振光强度噪声后，系统的低速多普勒信号探测能力可提高2个数量级。