尤金昌 1,2於亮红 1,*孙奕杰 1樊超 1[ ... ]梁晓燕 1,**
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室,上海 201800
2 上海科技大学物质科学与技术学院,上海 201210
聚焦光场强度是超强超短激光与物质相互作用实验中最为核心的技术指标之一。本文提出了10 PW激光系统在真空条件下聚焦光场的参数测量方案,解决了终端物理靶场在真空环境中难以实现激光参数准确测量的难题。该方案通过平场消色差物镜和大口径光学器件优化设计,降低了取样测量系统引入的色差和单色像差。利用理想光源对取样测量系统进行标定,结果显示,该系统引入的波前畸变峰谷值(PV值)为0.106 μm,均方根值(RMS值)为0.016 μm,接近测量仪器的最小极限值,对主激光测量误差的影响可以忽略。同时,取样测量系统实现了终端变形镜与波前探测器的严格物像共轭关系,保证了自适应光学系统波前校正效果最优。通过对比空气条件和真空条件下的波前和焦斑测量结果,验证了取样测量系统的有效性。在真空条件下,利用该取样测量系统对激光脉冲进行波前、焦斑测量和优化,获得了接近衍射极限的聚焦焦斑。2.7 PW激光脉冲经焦距为2000 mm的离轴抛物面镜聚焦后,聚焦光强可达到4×1021 W/cm2,能为物理实验提供极端的物理条件。
激光光学 超快激光 10 PW激光系统 焦场 波前校正 
中国激光
2023, 50(19): 1901001
邓海芹 1樊超 2郭琨 1汪进 1[ ... ]吴坚 1,*
作者单位
摘要
1 国防科技大学 前沿交叉学科学院,长沙 410073
2 湖南大学 物理与微电子科学学院,长沙 410082
3 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 i-Lab & 纳米器件与应用重点实验室 & 纳米光子材料与器件重点实验室,江苏 苏州 215123
利用窄禁带半导体硒化铅的可饱和吸收性质,通过物理气相沉积法和光纤探针转移,优化工艺制备硒化铅可饱和吸收体器件,搭建不同波长的脉冲光纤激光器。在基本器件不变的情况下,利用简单的环形腔,在近红外1~2 μm范围内实现了稳定的锁模输出,中心波长分别为1 060.46 nm、1 563.24 nm、1 908.34 nm,基频分别为0.593 MHz、13.59 MHz、10.25 MHz,脉宽分别为30.53 ns、4.26 ns、1 ns。该结果扩展了新型纳米晶材料硒化铅化合物的应用,可为脉冲光纤激光的波长调控提供解决方案,并满足多波长可调控激光器在生物医学、监测等场景下的应用需求。
脉冲激光器 可饱和吸收体 物理气相传输 PbSe 近红外 锁模 Pulse laser Saturable absorbers Physical vapor transmission PbSe Near infrared Mode-locking 
光子学报
2021, 50(10): 1014002
作者单位
摘要
1 西安邮电大学通信与信息工程学院,陕西 西安 710121
2 西安邮电大学信息通信网络与安全重点实验室,陕西 西安 710121
为解决双连接分流过程中资源利用率和由阻塞导致的资源浪费之间的矛盾,考虑总功率约束下毫米波链路高间歇性情形以及异构网络链路之间的公平性,以系统加权和速率最大化为优化目标,将非凸问题建模为有界离散时间的马尔可夫决策过程,提出一种具有阻塞预测的动态规划算法来解决微波毫米波并行连接的功率分配问题。仿真结果表明,该算法通过对功率分配策略进行学习,可以显著提升系统性能。
光通信 异构网络 功率分配 动态规划 系统公平性和链路阻塞 
激光与光电子学进展
2021, 58(17): 1706003
刘丹 1,2黄晟 1黄中浩 1刘毅 1,3[ ... ]方亮 2
作者单位
摘要
1 重庆京东方光电科技有限公司, 重庆 400700
2 重庆大学 物理学院, 重庆 400044
3 中国科学院大学 重庆学院,重庆 400714
4 重庆大学 计算机学院, 重庆 400044
5 重庆电子工程职业学院, 重庆 401331
液晶显示器薄膜晶体管(TFT)的栅极需经光刻工艺制得。在光刻工艺中, 除曝光与显影环节外, 光刻胶显影后的关键尺寸(DICD)和锥角(Taper)还受到真空干燥参数的影响。为此, 文章以干燥制程的慢抽时间、保压时间和底压为自变量, DICD和Taper为因变量, 采用全因子实验, 研究了真空干燥制程对光刻胶DICD和Taper的影响。结果表明: 慢抽时间和底压产生的影响较小, 保压时间则是关键参数: 随着保压时间增加, DICD增加、Taper降低。这是因为随着保压时间增加, 光刻胶中的溶剂挥发总量增加, 光刻胶更致密, 显影速度下降, 导致DICD增加; 同时, 光刻胶顶部溶剂挥发量增加, 顶部感光剂浓度增加, 导致顶部侧向显影程度增加, 最终造成光刻胶Taper下降。此外, 建立了DICD和Taper与保压时间的回归方程, 可以预测光刻效果, 或者由预期的光刻效果反推出所需的保压时间。此工作可为薄膜晶体管光刻产线的参数优化和产品良率提升提供参考。
薄膜晶体管 栅极光刻 减压真空干燥 全因子实验 关键尺寸 坡度角 thin film transistor gate lithography vacuum drying full factor experiments DICD Taper 
半导体光电
2021, 42(4): 504
刘丹 1,2刘毅 1,3黄中浩 1吴青友 1[ ... ]方亮 2
作者单位
摘要
1 重庆京东方光电科技有限公司, 重庆 400700
2 重庆大学 物理学院, 重庆 400044
3 中国科学院大学 重庆学院, 重庆 400714
ITO刻蚀产线由刻蚀设备、中央药液供给系统(Chemical central Supply System, CCSS)、刻蚀液管理系统(Etchant Management System, EMS)3大组件构成。明确组件之间的相互作用, 确认相互作用对刻蚀液浓度的影响, 进而管控刻蚀, 对ITO刻蚀制程至关重要。本文结合重庆京东方ITO刻蚀产线, 探究不同生产模式下刻蚀液各组分浓度的变化, 结合回归分析、因果链和统计方法分析了各成分浓度变化的原因, 并确认刻蚀液浓度变化对刻蚀程度的影响。实验结果表明: 仅CCSS开启, 刻蚀液中酸液浓度增加, 致其刻蚀能力逐渐增强。在CCSS开启的基础上, EMS开启补充水和硝酸功能, 可以保持刻蚀液浓度稳定, 进而延长刻蚀液的使用时间。但是, 在CCSS和EMS补给均开启的模式下, 刻蚀液浓度在初期波动, 然后逐步趋于稳定, 且在浓度波动期间会有一个硝酸浓度偏高的区域, 此区域的刻蚀能力强。该研究为ITO刻蚀液使用时间延长、产品良率提升提供了参考。
薄膜晶体管 湿法刻蚀 ITO刻蚀液 浓度变化 ITO电极 thin film transistor wet etch ITO etchant concentration change ITO electrode 
液晶与显示
2021, 36(4): 549
作者单位
摘要
1 河南工业大学信息科学与工程学院, 河南 郑州 450001
2 中国科学院西安光学精密机械研究所, 陕西 西安 710119
为了研究使用联合变换相关器(JTC)测量空间相机的亚像元像移时CCD离焦对像移测量精度的影响,基于菲涅耳衍射理论,推导了离焦引起的二次相位因子。分别通过计算机仿真和实验,研究了对JTC使用功率谱相减并以0值为门限二值化的处理方法时,离焦对像移测量精度的影响程度。结果表明,当离焦量小于透镜焦距的5%时,由此引起的像移测量误差不大于10%,具有较好的稳健性;继续增加离焦量,则像移测量误差会呈非线性显著增加。研究结果为解决空间相机像移的在轨准确测量问题提供了有益的探索和参考。
遥感 像移 联合变换相关器 离焦 
光学学报
2011, 31(10): 1028002
作者单位
摘要
1 河南工业大学信息科学与工程学院, 河南 郑州 450001
2 中国科学院西安光学精密机械研究所, 陕西 西安 710119
为了测量由卫星姿态不稳定或振动等原因引起的空间相机的亚像元像移,使用了光学联合变换相关器(JTC)对安装在相机焦面上的辅助面阵CCD采集到的相邻两帧图像进行相关运算。给出了使用该方法测量像移的原理,搭建了实现JTC的光学实验平台,对JTC测量相机像移的性能进行了实验研究。结果表明,使用JTC完全可以测量空间相机的亚像元像移,并且像移测量精度不随所拍摄景物的内容变化。测量误差服从均值为0的正态分布,在显著性水平为0.05下,像移测量误差的均方差不大于0.12 pixel,完全满足空间相机的使用要求。
遥感 像移 联合变换相关器 测量 
光学学报
2011, 31(7): 0712006
作者单位
摘要
河南工业大学信息科学与工程学院, 河南 郑州 450001
为了减小运动估计算法的计算复杂度和提高红外图像超分辨率重建的可靠性,提出了一种有效的三步搜 索算法。该算法采用多步搜索策略,根据运动矢量分布的中心偏移性及并行处理的思想,在最佳匹配点所在的区域使用菱形小 模板代替新三步法中的正方形小模板来进行精细搜索,以提高算法的搜索精度。实验结果表明,与全搜索法、菱形搜索算 法和预测性菱形搜索算法相比,该算法能在保证搜索精度的同时大大缩短消耗时间。
超分辨率重建 红外图像 运动估计 块匹配 运动矢量 super-resolution reconstruction infrared image motion estimation block matching motion vector 
红外
2010, 31(4): 37
作者单位
摘要
河南工业大学 信息科学与工程学院,河南 郑州 450001
提出一种从序列低分辨率欠采样图像中重建出一幅高分辨率图像的重建方法。该方法基于MAP算法,通过利用梯度投影的方法对重建结果不断进行迭代优化得到最终的理想高分辨率影像。实验结果证明,该方法有效,它不仅能够非常容易的引入各种先验条件进行约束从而提高解的收敛速度,并且能够得到质量较好的高分辨率重建图像。在取得相同质量图像的前提下,该算法所需时间明显降低。
超分辨率 图像重建 最大后验概率 梯度投影 Super-resolution image reconstruction maximum posterior probability gradient projection 
红外技术
2010, 32(5): 279
作者单位
摘要
河南工业大学信息科学与工程学院,郑州 450001
为了对高帧频采集的序列图像进行亚像元配准,使用了基于时间调制的光学联合变换相关的方法对相邻两帧图像进行相关运算,测量出相对像移量。给出了使用该方法测量像移的原理,并搭建了实现该方法的实验平台。对不同像移图像的测量结果表明,在使用基于时间调制的光学相关法测量像移时,测量误差服从均值为0的正态分布,在显著水平为0.05下,像移测量误差的均方差不大于0.12个像元。
像移 测量 时间调制 光学相关 亚像元 飞行器 image drift measurement time modulation optical correlator sub-pixel aerocraft 
电光与控制
2010, 17(1): 73

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!