硅基钽酸锂压电单晶复合薄膜材料及应用

丁雨憧; 何杰; 陈哲明; 龙勇; 毛世平; 马晋毅

doi:doi:10.11977/j.issn.1004-2474.2023.01.014

压电与声光, 2023, 45 (1): 66, 网络出版: 2023-04-07

硅基钽酸锂压电单晶复合薄膜材料及应用

Single-Crystal LiTaO3 Composite Film Material on Si Substrate and Its Applications

丁雨憧何杰陈哲明龙勇毛世平马晋毅

作者单位

中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060

图 & 表

丁雨憧, 何杰, 陈哲明, 龙勇, 毛世平, 马晋毅. 硅基钽酸锂压电单晶复合薄膜材料及应用[J]. 压电与声光, 2023, 45(1): 66. DING Yuchong, HE Jie, CHEN Zheming, LONG Yong, MAO Shiping, MA Jinyi. Single-Crystal LiTaO3 Composite Film Material on Si Substrate and Its Applications[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2023, 45(1): 66.