压电与声光, 2023, 45 (1): 66, 网络出版: 2023-04-07
硅基钽酸锂压电单晶复合薄膜材料及应用
Single-Crystal LiTaO3 Composite Film Material on Si Substrate and Its Applications
绝缘体上单晶钽酸锂薄膜(LTOI) POI基板 声表面波 智能剥离技术 晶体离子注入剥离(CIS) 晶圆键合 LiTaO3-on-insulator(LTOI) piezo-on-insulator(POI) substrate surface acoustic wave (SAW) Smart-Cut process crystal ion slicing(CIS) wafer bonding
知识挖掘
相关论文
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
58篇
4篇
1篇
1篇
本文研究领域论文发表情况(统计图):
丁雨憧, 何杰, 陈哲明, 龙勇, 毛世平, 马晋毅. 硅基钽酸锂压电单晶复合薄膜材料及应用[J]. 压电与声光, 2023, 45(1): 66. DING Yuchong, HE Jie, CHEN Zheming, LONG Yong, MAO Shiping, MA Jinyi. Single-Crystal LiTaO3 Composite Film Material on Si Substrate and Its Applications[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2023, 45(1): 66.