1 中国电子科技集团公司第五十八研究所, 江苏 无锡 214063
2 电子科技大学 重庆微电子产业技术研究院, 重庆 401331
3 电子科技大学 广东电子信息工程研究院, 广东 东莞 523808
4 电子科技大学 集成电路科学与工程学院(示范性微电子学院), 成都 611731
5 电子科技大学(深圳)高等研究院, 广东 深圳 518000
6 西南交通大学 信息科学与技术学院, 成都 611756
提出了一种数字前台校准技术, 即电容重组技术, 并将该技术与LMS数字后台校准技术相结合, 提高了LMS算法的收敛速度。提出的算法使用RC混合结构的14位SAR ADC进行建模。仿真结果表明, LMS算法的收敛速度可以提高到1 k个转换周期内, 同时校准后ADC的ENOB平均值从1059 bit提高到1379 bit。SFDR平均值从7133 dB提高到11293 dB, DNL最大值的平均值从188 LSB提高到097 LSB。INL最大值的平均值从801 LSB提高到088 LSB。
逐次逼近型模数转换器 最小均方根 数字校准 电容重组 SAR ADC least mean square digital calibration capacitor recombination
1 清华大学 精密仪器系, 北京 100083
2 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所, 浙江 宁波 315201
3 吉林大学 电子科学与工程学院, 吉林 长春 130012
作为最基本的微光学元件, 微透镜在多个领域都有非常广泛的潜在应用, 然而常见的面向透明硬脆材料微透镜的制备方法效率低下, 且对作业环境的要求较高, 极大地限制了透明硬脆材料微透镜阵列的大面积制备。空间光调制器作为一种对光场进行调制的设备, 可以方便地实现多焦点或者结构化的光场, 在光通讯、激光加工等领域具有重要的应用潜力。本文介绍了利用飞秒激光烧蚀结合湿法刻蚀制备硬脆材料微透镜阵列的基本方法, 并系统地分析了影响所制备微透镜形貌的关键因素。通过在加工过程中对聚焦光斑的数量和位置进行精细调控, 极大地提高了透明硬脆材料微透镜阵列的加工效率, 且可以在加工过程中动态地调整飞秒激光烧蚀改性的形貌, 从而实现不同尺寸微透镜阵列的高速制备, 展现了空间光场调制技术在微光子集成芯片加工领域的应用前景。
飞秒激光 湿法刻蚀 空间光场调制 微透镜阵列 femtosecond laser wet etching spatial light modulation microlens
1 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 中国科学院上海技术物理研究所 光学薄膜与材料研究室, 上海 200083
将碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外焦平面器件衬底去除后, 其响应波段可拓展到可见光波段, 在高光谱成像应用中可显著减小系统的尺寸和重量, 对光电探测系统的小型化和微型化具有重要实用价值.而明确碲镉汞材料在可见近红外波段的光学常数, 对碲镉汞器件在这一响应波段的性能研究具有重要意义.分别测量了不同组分碲镉汞材料的椭圆偏振光谱, 拟合得到了其在400~1600 nm波段范围内的光学常数值, 并利用反射光谱对获得的光学常数进行了验证.采用这些碲镉汞外延材料光学常数测量值, 并选用ZnS和YF3分别作为高低折射率的增透膜材料, 针对不同响应波段的背入射可见近红外碲镉汞焦平面器件, 设计了不同的宽谱增透膜系, 响应波段范围内的平均透过率高于90%.
碲镉汞 可见近红外波段 光学常数 增透膜 Hg1-xCdxTe visible to near-infrared optical constant antireflection coatings
1 复旦大学 信息科学与工程学院 上海超精密光学制造工程技术研究中心, 上海 200433
2 中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
3 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083
利用椭圆偏振光谱进行薄膜样品的测量数据分析拟合时, 薄膜厚度与介电常数通常具有一定的关联性。不同色散模型的选取也会对拟合结果产生明显的影响, 引起较大误差。介绍了唯一性检测在椭偏拟合中的实现方法。并以二氧化钛样品为例, 利用唯一性检测对比了不同色散模型、不同厚度、不同测量波段、不同入射角度时的唯一性检测结果。结果表明, 唯一性检测能够有效标定出椭偏测量和拟合过程中所产生的误差, 同时能够对不同色散模型进行量化对比, 提升拟合精度。
椭圆偏振光谱 唯一性检测 薄膜 二氧化钛 spectroscopic ellipsometry uniqueness test thin film titanium dioxide 红外与毫米波学报
2015, 34(6): 2015
1 湖南衡阳师范学院物理与电子信息科学系,衡阳,421008
2 南华大学研究生处,衡阳,421008
求解了经典电磁场中二能级原子系统的密度矩阵演化方程,得到了系统状态的演化规律.
二能级原子 电磁场 密度矩阵 态的演化 Two-level Electromagnetism field Density matrix Evolution of the state 原子与分子物理学报
2003, 20(4): 533