作者单位
摘要
1 西安电子科技大学 微电子学院, 西安 710071
2 西安理工大学 自动化与信息工程学院, 西安 710048
基于硅通孔(TSV)技术, 提出了应用于三维集成电路的三维螺旋电感。在实际应用中, TSV电感存在电场、温度场和力场之间的相互耦合, 最终会影响TSV电感的实际电学性能。考虑P型和N型两种硅衬底材料, 采用COMSOL仿真软件, 对TSV电感进行多物理场耦合研究。结果表明, 在P型硅衬底情况下, 多物理场耦合的影响更大, TSV电感的电感值和品质因数的变化率可达14.13%和5.91%。
硅通孔 多物理场 三维集成电路 through-silicon via multi-physical field COMSOL COMSOL three dimensional IC 
微电子学
2022, 52(1): 115
作者单位
摘要
1 西安理工大学 自动化与信息工程学院,西安 710048
2 中国电子科技集团公司 第二十四研究所,重庆 400060
基于TSV技术,提出了一种应用于三维集成电路的积累型NMOS变容二极管。通过与传统积累型NMOS变容二极管对比,证明了基于TSV的积累型NMOS变容二极管具有电容密度大、集成度高的优点。分析了TSV高度、TSV直径、源区和漏区结深、源区和漏区宽度对所提出变容二极管性能的影响。结果表明,通过增加TSV高度或增大TSV直径都可以提高电容密度;通过减小源、漏区的结深可以提升电压灵敏度;通过增大源、漏区的宽度可以提高空穴对沟道中产生的电子抑制能力。在上述比较中加入了解析模型。最后给出了该变容二极管的工艺流程。
积累型NMOS变容管 三维集成电路 TSV TSV cumulative NMOS varactor three-dimensional IC 
微电子学
2021, 51(4): 582
作者单位
摘要
东南大学 江苏省建筑材料重点实验室, 南京 211189
陶瓷涂层对海工环境中的钢筋有着较好的保护作用。在碳钢表面喷涂磷酸盐陶瓷涂层, 采用XRD和XRF对陶瓷涂层的物相组成进行分析。结果表明: 实验用陶瓷的主要晶相成分为P2O5与SiO2。采用SEM对陶瓷的表面和截面形貌进行观察, 发现陶瓷涂层内存在微裂纹, 涂层的厚度约为349 μm。采用X-CT测试可以得到陶瓷内部结构的高清图像, 并利用Matlab和Mimics软件对高清图像进行三维重构。此外通过阈值分割技术, 将CT图像内的孔与基体灰度值区分开来, 并计算得到陶瓷涂层的孔隙率为14%, 并采用压汞测试技术对测试结果进行验证。研究认为X-CT无损测试是一种建立陶瓷涂层内可视化孔结构分析的有效工具。
陶瓷 孔隙率 X-CT技术 三维重构 ceramics porosity X-CT technology 3D reconstruction 
无机材料学报
2020, 35(9): 1059
闫宇 1,*刘哲 1,2徐斌 1王凤娟 1[ ... ]R Moncorgé 2
作者单位
摘要
1 厦门大学电子工程系, 福建 厦门 361005
2 法国卡昂大学材料与光电离子研究中心, 卡昂 法国 14050
报道了蓝光半导体激光抽运的掺镨氟化钇锂(Pr:YLF)橙光607 nm固体激光器。光抽运半导体激光器(OPSL)与激光二极管(LD)相比具有光束质量好、输出功率高、吸收效率高等优点,因此采用OPSL作为抽运源有助于提高Pr:YLF激光器性能。分别测量了Pr:YLF在橙光波段内常温(300 K)和低温(12 K)时的偏振发射光谱,表明该晶体的橙光3P0→3H6跃迁主要包含6条发射谱线。采用最高输出功率为1.9 W,中心波长为479.2 nm的OPSL作为抽运源,以及长度为5 mm、掺杂原子数分数为0.5%的Pr:YLF晶体作为增益介质,在平凹腔结构下获得的橙光607 nm最大输连续输出功率为524 mW,对应斜率效率为39.1%。
激光器 橙光激光器 掺镨氟化钇锂晶体 光抽运半导体激光器 
中国激光
2013, 40(s1): s102004
作者单位
摘要
厦门大学电子工程系, 福建 厦门 361005
报道了蓝光激光二极管(LD)(中心波长约为444 nm)单端纵向抽运掺镨氟化钇锂(Pr3+:YLF)的红光(640 nm)和绿光(522 nm)激光器。用单个棱镜作为抽运光束整形器,实验中红光最高输出功率为308.5 mW,其相应的抽运阈值功率为46 mW,斜率效率为47.5%;绿光这三个指标的值相应分别为193.4 mW、162.3 mW和37.1%。结果表明抽运光的整形提升了红、绿光的输出特性。
激光器 可见光激光器 端面抽运 掺镨氟化钇锂晶体 蓝光激光二极管 
中国激光
2013, 40(12): 1202002
作者单位
摘要
1 重庆邮电大学 自动化学院,重庆 400065
2 中国电子科技集团第26 研究所,重庆 400060
由于飞机振动、陀螺漂移、框架耦合等原因,机载摄影稳定平台设计与控制是一个复杂的过程,很难获得精确的控制模型。本小型机载摄影稳定平台采用微机械陀螺、直流伺服电机和减速器的三框架结构设计,改善了现有机载摄影稳定平台存在的结构笨重、适应性差等特点,同时将模糊-PID 混合算法应用于平台的稳定控制,当系统误差大的时候采用模糊控制,而当系统误差小时候,采用PID 控制,实现了两种控制算法的优势互补,经仿真和实测数据表明,其控制静态和动态性能都明显的好于传统的PID 控制,将稳定误差减小了±0.1°左右,得到了较为满意的稳定控制效果。
机载摄影 陀螺稳定平台 模糊-PID 控制 aerial photography gyro-stabilized platform fuzzy-PID control 
光电工程
2010, 37(10): 23
作者单位
摘要
南京工学院六系激光研究室
中国激光
1984, 11(7): 443

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