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“超快激光诱导自组织周期微纳结构”专题
基于法布里-珀罗腔产生飞秒激光脉冲串在硅表面诱导高质量亚波长周期条纹（特邀）
许宇锋 张羽婵 *蒋其麟 沈辉辉 贾天卿 **
作者单位
摘要
华东师范大学 精密光谱科学与技术国家重点实验室，上海 200241
为了制备高质量表面周期结构，利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形，输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串，在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示，利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高斯光诱导的亚波长周期条纹。利用子脉冲间隔为100 ps的脉冲串诱导的亚波长条纹最佳，条纹周期为1 008 nm，结构取向角为2.8°，边缘粗糙度为3.9 nm，可达到光刻工艺的标准。
激光加工 激光诱导表面周期结构 亚波长周期条纹 法布里-珀罗腔 飞秒激光脉冲串 硅 Laser processing Laser induced periodic surface structures Near-subwavelength ripples Fabry-Perot cavity Femtosecond laser pulse train Si 
PDF全文 Full Text
光子学报
2023, 52(7): 0752301
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