作者单位
摘要
华东师范大学 精密光谱科学与技术国家重点实验室,上海 200241
为了制备高质量表面周期结构,利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高斯光诱导的亚波长周期条纹。利用子脉冲间隔为100 ps的脉冲串诱导的亚波长条纹最佳,条纹周期为1 008 nm,结构取向角为2.8°,边缘粗糙度为3.9 nm,可达到光刻工艺的标准。
激光加工 激光诱导表面周期结构 亚波长周期条纹 法布里-珀罗腔 飞秒激光脉冲串  Laser processing Laser induced periodic surface structures Near-subwavelength ripples Fabry-Perot cavity Femtosecond laser pulse train Si 
光子学报
2023, 52(7): 0752301
作者单位
摘要
1 暨南大学光子技术研究院,广东省光纤传感与通信技术重点实验室,广东 广州 510632
2 广东工业大学先进光子技术研究院,广东 广州 510006
激光诱导表面周期结构由于其周期相关的光栅衍射特性在明场下显示出鲜艳的结构色,备受研究人员的广泛关注,而微纳结构在显微镜暗场显示的颜色通常容易被忽略。本文报道通过飞秒激光对氧化铟锡薄膜加工形成双周期光栅结构,利用其在明场和暗场的观察下具有不同的颜色特性实现图像加密应用。通过控制飞秒激光的偏振、脉冲能量和扫描速度在氧化铟锡薄膜上形成与偏振和波长相关的亚波长周期光栅,通过控制激光加工线条行间距形成大周期光栅。本文研究了激光加工能量和加工线条之间的间距对其形成双周期结构在明场和暗场显色的影响,利用不同加工参数结构在明场和暗场下显示不同的颜色实现图像加密。激光直写加工可以快速制备大面积区域,有望在商品防伪、图案装饰、超表面设计等方面发挥潜在的应用价值。

结构色 激光诱导表面周期结构 信息防伪 激光加工 structural color laser induced periodic surface structure anti-counterfeiting laser processing 
光电工程
2022, 49(1): 210320

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