作者单位
摘要
1 中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室,北京 100190
2 中国科学院大学未来技术学院,北京 101407
为探索不同尺寸的水凝胶微图案对细胞的诱导调控作用,本文采用飞秒激光无掩模投影光刻技术,将水凝胶前驱体溶液制备成所设计的图案,同时结合大面积拼接,获得了具有大面积、不同尺寸的多边形和多角星微结构。详细研究了微结构的最佳加工条件及其浸润性。带有微结构的基底与成纤维细胞共培养的实验结果表明,微结构的空间限位作用会改变细胞形貌,从而能够对细胞的生长行为进行有效地调控。尤其在小尺寸的多边形和多角星微结构上,细胞核会落入微结构的中心陷窝,细胞骨架则不断铺展分布,并逐渐与微结构形貌趋于一致。该研究证实了微结构图案单元尺寸对诱导细胞行为功能至关重要,将为利用生物相容性水凝胶微结构进行体外细胞研究提供新技术与新方法。

无掩模投影光刻 水凝胶 微图案 细胞行为 maskless optical projection lithography hydrogel micropattern cell behavior 
光电工程
2022, 49(2): 210336
作者单位
摘要
1 中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心, 北京 100190
2 中国科学院大学未来技术学院, 北京 100049
3 中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 重庆 401122
研究了一种基于数字微镜器件 (DMD)的数字掩模投影光刻 (DMPL)技术,以400 nm飞秒激光作为光源, 结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同DMD像素投影光场强度分布,将投影光刻的线宽分辨率推进至亚微米 尺度,实现了具有跨尺度加工能力(单次曝光面积在百微米以上,曝光精度在百纳米)的DMPL技术,同时详细对比分析了DMPL 中存在的几何和 物理光学模型,阐明了像素个数与加工结构尺寸的关系,并进一步基于物理光学模型分析了DMPL中极限分辨率的关键科学问题。
激光技术 仪器数字掩模投影光刻 数字微镜器件 跨尺度 飞秒激光 分辨率 laser technology instrument digital-mask projective lithography digital micromirror device cross-scale femtosecond laser resolution 
量子电子学报
2019, 36(3): 354

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