作者单位
摘要
1 北京航空航天大学电子信息工程学院,北京 100191
2 电子科技大学物理学院,四川 成都 611731
3 中国科学院物理研究所,北京 100191
4 张江实验室,上海 201210

基于自旋电子材料的太赫兹(THz)发射器具有高效率、超宽带、低成本、易集成等许多独特优势,不仅能够应用在高重复频率激光振荡器驱动的THz时域光谱仪上,而且在高能飞秒激光放大器驱动下能够产生强场THz电磁脉冲,在THz谱学成像、强场THz物理等方面已展现出重要的应用价值。然而,以往基于自旋电子产生THz电磁波的辐射机理和器件研制方面的工作均基于远场THz时域光谱技术,得到的结果是对泵浦激光光斑作用面积的THz发射信息的平均,无法给出材料在微纳尺度上的超快自旋电流以及THz发射性能方面的有用信息。本工作采用光纤飞秒激光器驱动的超快THz散射型扫描近场光学显微成像技术,研究了铁磁异质结材料钨/钴铁硼/铂(W/CoFeB/Pt)在纳米空间尺度下的自旋电子太赫兹发射性能,在横向百纳米尺度上获得了高信噪比的自旋电子THz发射,为纳米空间分辨上实现THz频率的超快自旋电流的产生、探测、操控等提供了新方法,对超快THz自旋光电子学的发展有一定的参考价值。

太赫兹辐射 自旋电子 散射型扫描近场光学显微镜 太赫兹自旋电流 
激光与光电子学进展
2024, 61(3): 0325001
王娜 1,2刘立拓 2,*宋晓娇 2王德钊 2,3[ ... ]周维虎 1,2,3,4,**
作者单位
摘要
1 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥,230009
2 中国科学院微电子研究所光电中心,北京 100029
3 长春理工大学光电工程学院,吉林 长春,130022
4 北京航空航天大学仪器科学与光学工程学院,北京 100191
微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(TSOM)的检测方法。利用可见光光源显微镜和精密位移台,沿光轴对亚表面缺陷进行扫描,得到亚表面缺陷的一系列光学图像。将采集到的图像按照空间位置进行堆叠,生成TSOM图像。通过获得所测特征的最大灰度值来获得亚表面缺陷的定位信息。提出方法对2000 μm深亚表面缺陷的定位相对标准差达到0.12%。该研究为透明样品亚表面缺陷检测及其深度定位提供了一种新方法。
亚表面缺陷 缺陷检测 过焦扫描光学显微镜 深度定位 
光学学报
2023, 43(21): 2112001
作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
研究了太赫兹散射式扫描近场光学显微镜(Terahertz scattering-type scanning near-field optical microscopy,THz s-SNOM)对亚表面金属微纳结构的显微成像检测。首次采用自主搭建的THz s-SNOM系统对表面覆盖了六方氮化硼薄膜的金微米线进行太赫兹近场显微测量,获得了具有纳米量级空间分辨率和较高对比度的近场显微图。结合全波数值模拟,分析了THz s-SNOM探测亚表面金属微纳结构的空间分辨率、近场散射信号强度和成像对比度。研究表明,THz s-SNOM具有优良的亚表面显微成像检测能力,可应用于微纳电子器件的亚表面结构表征和缺陷检测。
散射式扫描近场光学显微镜 亚表面检测 太赫兹成像 scattering-type scanning near-field optical microscopy subsurface detection Terahertz imaging 
光学仪器
2023, 45(4): 9
付娆 1,2方宇 1,2杨勇 4向东 1,2吴晓静 3,*
作者单位
摘要
1 南开大学现代光学研究所,天津 300350
2 天津市微尺度光学信息技术科学重点实验室,天津 300350
3 天津市人民医院,天津 300121
4 之江实验室智能感知研究院,浙江 杭州 310013
提出了一种利用循环生成对抗网络实现由大视场、低分辨率染色图像生成与之相匹配的高分辨率虚拟染色图像的方法,在完成了对细胞虚拟染色的同时,解决了传统光学显微镜的大视场与高分辨率两个目标无法同时满足的问题。首先,进行了理论验证,通过对选定图像的分辨率分级缩放模拟实际分辨率变化,训练对应的算法模型并与真实图像相比较,结果在主观与客观上均符合设想预期。在完成理论验证的基础上,分别进行了由10倍、4倍低分辨率真实染色图像生成25倍高分辨率虚拟染色图像的实验。通过主观视觉与客观评价指标进行评价,得到结构相似性、峰值信噪比和归一化均方根误差三个指标的具体数据。结果显示,通过循环生成对抗网络生成的虚拟染色图像与真实染色图像间的相似度较高,虚拟生成效果很好。
显微 光学显微镜 大视场 高分辨率 循环生成对抗网络 虚拟染色 细胞 
光学学报
2023, 43(5): 0518002
孙凤升 1,3,4郑泽波 1黄悟朝 1许宁生 1,2[ ... ]邓少芝 1,**
作者单位
摘要
1 中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广东省显示材料与技术重点实验室,中山大学电子与信息工程学院,广东 广州 510275
2 复旦大学芯片与系统研究院,上海 200433
3 广东大湾区空天信息研究院,广东 广州 510700
4 深圳京鲁计算科学应用研究院,广东 深圳 518131
在中红外至太赫兹的电磁场长波谱段,二维范德瓦耳斯晶体石墨烯和α-MoO3能够分别支持等离极化激元和双曲声子极化激元,实现对长波电磁场的纳米尺度聚焦和调控。不同类型极化激元之间的杂化可以进一步丰富极化激元物理特性,为纳米尺度下的电磁场调控带来更多维度。为此开展了α-MoO3薄片和单层石墨烯异质叠层结构声子极化激元-等离极化激元杂化研究。在理论上通过求解二维光波导麦克斯韦波动方程,分析了α-MoO3/石墨烯异质叠层结构中声子极化激元-等离极化激元杂化激元波导模式的传播特性,计算了波导模式的色散关系,揭示了α-MoO3/石墨烯异质叠层结构特有的电磁场传输机制。在实验上通过干法转移制备了α-MoO3/单层石墨烯异质叠层结构,并采用散射式扫描近场光学显微镜对该异质结构的杂化极化激元特性进行了三维空间纳米光学成像表征,验证了理论结果。研究结果为计算范德瓦耳斯二维晶体叠层结构的杂化极化激元特性提供了定量模型,为研究二维晶体中不同类型的极化激元之间的相互作用及其机制提供了理论和实验参考。
材料 声子极化激元 等离极化激元 杂化极化激元 二维范德瓦耳斯晶体 异质叠层结构 散射式扫描近场光学显微镜 
中国激光
2023, 50(1): 0113013
作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
采用太赫兹散射式扫描近场光学显微镜(THz s-SNOM)研究了化学气相沉积法制备的单层MoS2和WS2晶粒的太赫兹近场响应。在没有可见光激发时,未探测到可分辨的太赫兹近场响应,说明晶粒具有较低的掺杂载流子浓度。有可见光激发时,由于光生载流子的太赫兹近场响应,能够测得与晶粒轮廓完全吻合的太赫兹近场显微图。在相同的光激发条件下,MoS2的太赫兹近场响应强于WS2,反映了两者之间载流子浓度或迁移率的差异。研究结果表明,THz s-SNOM兼具超高的空间分辨率和对光生载流子的灵敏探测能力,对二维半导体材料和器件光电特性的微观机理研究具有独特的优势。
太赫兹散射式近场光学显微镜 二硫化钼 二硫化钨 光生载流子分布 近场成像 terahertz scattering-type near-field optical microscope MoS2 WS2 photo-generated carrier distribution near-field imaging 
光学仪器
2022, 44(1): 63
陈楠 1,2王玥 1,*刘涛 1,2,*夏洋 1,2,3,4
作者单位
摘要
1 中国科学院微电子研究所,北京 100029
2 中国科学院大学,北京,100049
3 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心,北京 100029
4 集成电路测试技术北京市重点实验室,北京 100029
基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。
散射式扫描近场光学显微镜 扫描探针技术 近场光学 衍射极限 超分辨 Scattering-type scanning near field optical microscopy Scanning probe microscope Near-field optics Diffraction limit Super-resolution 
光子学报
2021, 50(11): 1111001
作者单位
摘要
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
基于自建的太赫兹散射型扫描近场显微镜系统(THz s-SNOM),研究了其在显微表征半导体载流子浓度分布中的应用。对基于半导体硅的静态随机存取存储器(SRAM)的纳米结构进行了近场显微成像测量,并采用可见光调控本征硅样品表面的载流子浓度,实现了不同浓度(1014~1017 cm?3)光生载流子的近场检测。结果表明,此THz s-SNOM能够对半导体微纳结构的载流子分布进行高空间分辨率的显微表征,测量结果与基于偶极子模型的计算结果具有较好的吻合度。
扫描近场光学显微镜 太赫兹 纳米成像 半导体 scanning near-field optical microscopy terahertz nano-imaging semiconductor 
光学仪器
2020, 42(6): 28
作者单位
摘要
1 贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室, 贵州 贵阳 550025
2 贵州大学医学院, 贵州 贵阳 550025
利用TiN纳米粒子对CdSe量子点和多孔Al2O3薄膜构成的异质结的表面荧光增强效应进行了实验研究。采用电化学沉积的方法,将TiN纳米粒子沉积于多孔Al2O3薄膜表面,再将胶体CdSe量子点自组装于TiN/Al2O3薄膜的表面,进而制备了CdSe/TiN/Al2O3异质结。同时,利用扫描近场光学显微镜测量了CdSe/TiN/Al2O3异质结的表面增强荧光效应。结果表明,由于TiN具有良好的电子传输特性,提高了CdSe量子点和多孔Al2O3薄膜之间的光生电子转移效率,进而增强了多孔Al2O3薄膜界面的荧光。该研究结果可广泛应用于光伏、光显示、光传感及纳米生物成像等领域。
表面光学 表面增强荧光 CdSe/Al2O3异质结 TiN纳米粒子 CdSe量子点 扫描近场光学显微镜 
中国激光
2020, 47(9): 0913001
作者单位
摘要
1 南开大学 电子信息与光学工程学院 现代光学研究所, 天津市微尺度光学信息技术科学重点实验室, 天津 300350
2 天津大学 精密仪器与光电子工程学院, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
采用电磁场有限元方法, 数值模拟了孔径型扫描近场光学显微镜(aperture Scanning Near-field Optical Microscopy, a-SNOM)在照明模式下的工作过程.针对金偶极天线结构, 改变天线 长度和纳米间隙尺寸, 计算了a-SNOM探针孔径的远场辐射速率随探针端面中心坐标变化的扫描曲线, 实现了超越a-SNOM探针通光孔径尺寸的天线金属纳米间隙的超分辨测量, 对于100 nm通光孔径的 探针, 可分辨最小尺寸为10nm(0.016倍波长)的金属间隙.通过对比金属和介质偶极天线的a-SNOM探针远场辐射速率测量的计算结果, 表明天线金属纳米间隙的超分辨测量的实现是由于金属间隙表面 等离激元的激发.
纳米光子学 偶极天线 扫描近场光学显微镜 分辨率 探针 间隙表面等离激元 远场辐射速率 Nanophotonics Dipole antenna Scanning near-field optical microscope Resolution Probe Gap surface plasmon polariton Radiative emission rate 
光子学报
2020, 49(5): 0512001

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