浙江大学光电科学与工程学院,浙江 杭州 310027
针对HDMI数码显微相机在观测时由于不同目标反光水平不一致而出现过曝、曝光收敛速度慢、不稳定的问题,提出一种自动曝光优化方法。相较于传统的HDMI显微相机中的自动曝光控制方法,所提方法实现了基于感兴趣区域的曝光控制,可对RAW图像中的任意区域进行测光和亮度统计,拓展亮度统计的动态范围并实现基于不同目标的曝光控制,提升亮度统计的准确性,解决因目标过亮或者过暗而出现的过曝现象。同时设计了可变的曝光调节步长,该功能能够根据当前亮度水平动态调整曝光步长,实现曝光的粗调和细调,以平衡曝光收敛速度和曝光精确度。最终结合实际的相机进行实验,所提曝光控制优化方法相较于原有的自动曝光法曝光偏离度降低了一半,曝光收敛时间缩短了一半以上,最快能在4帧图像内完成曝光收敛。
自动曝光 过曝 RAW图像 数码显微相机 激光与光电子学进展
2024, 61(6): 0618021
红外与激光工程
2024, 53(2): 20230441
1 安徽建筑大学 机械与电气工程学院,安徽 合肥 230601
2 工程机械智能制造安徽省教育厅重点实验室,安徽 合肥 230601
3 过程装备与控制工程四川省高校重点实验室,四川 自贡 643000
4 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系,安徽 合肥 230026
为解决结构光测量高动态范围表面物体时出现局部过度曝光或曝光不足的问题,提出一种改进的多曝光融合方法,利用自适应曝光代替手动曝光,并对图像融合过程进行优化。首先,将初始曝光时间下拍摄的图像利用直方图进行分析,将被测物体表面反射率不同的区域分为若干组,分别计算出每个组别的最佳曝光时间;在此基础上,拍摄不同组别对应最佳曝光时间下投射白光和条纹的图像,并去除图像中超过设定阈值的高灰度值区域,再将投射白光处理后的图像制作成掩模图,与相同曝光时间下投射条纹处理后的图像相乘,进而对多组相乘后的图像进行亮度压缩与融合;最后,通过CLAHE算法提高融合后所生成条纹图的对比度与清晰度,并对条纹解相后进行点云重建和尺寸测量。实验结果表明:文中方法中自适应曝光相较于手动曝光具有高效性和准确性,U型卡、连接块、圆盘三个高动态范围表面物体的点云重建率分别高达99.98%、99.74%、99.76%,测量出的标准块阶梯高度差绝对误差为0.062 mm,相对误差仅为0.69%,该方法有效解决了高动态范围表面物体测量时点云缺失的问题,提高了三维轮廓的测量精度。
高动态范围表面物体 自适应曝光时间 多曝光融合技术 三维轮廓检测 high dynamic range surface objects adaptive exposure time multi-exposure fusion technology 3D contour detection 红外与激光工程
2024, 53(1): 20230370
1 国防科技大学空天科学学院,湖南 长沙 410072
2 酒泉卫星发射中心,甘肃 酒泉 735000
基于多项式拟合的标定方法可在缺乏相机曝光时间的条件下,获取相机响应函数(CRF)曲线和图像曝光比,具备广泛的适用性。然而该方法存在迭代发散和标定精度不高问题,影响其实际应用。本文通过分析传统多项式拟合标定方法流程,发现在全局误差函数条件下,标定数据集合中存在大量无效项,既减少了有效标定数据,又降低了图像曝光比迭代计算精度。针对这一问题,提出了一种改进的联合局部误差函数标定方法,可在两幅曝光相近的图像间选取标定数据,避免引入无效项,使得计算多项式系数和曝光比的数据一致。在公开数据集和某工业相机拍摄数据集上的标定结果表明,改进方法具有较好的收敛性,相比于传统方法,颜色三通道CRF曲线分布更加紧凑,通道间曝光比平均偏差分别减少了49.83%和42.25%。
成像系统 相机响应函数 多曝光图像 拟合多项式
河南工业大学信息科学与工程学院,河南 郑州 450001
相移轮廓术由于其高测量精度和高鲁棒性已广泛应用于各个领域。然而,由于需投射多幅条纹图到物体表面,因此要求物体在测量过程中保持静止。另一方面,当重建高反光运动物体时,不仅出现过曝光现象,过曝光位置还将随着物体运动而变化,对测量提出了挑战。基于此,提出一种测量高反光运动物体的算法。过曝光位置随着物体运动变化意味着并非所有条纹图都存在过曝光。首先,投射双频率条纹图到运动物体表面并拍摄。其次,识别所有条纹图中的过曝光区域,并记录物体上每一点的非过曝光条纹图。再次,基于非等间隔相移的非过曝光条纹图进行相位提取,获得双频率相位分布。最后,对双频率相位分布进行运动补偿,并基于双频率解包裹算法实现正确解包裹,完成高反光运动物体三维重构。实验结果表明,该算法能有效减小高反光运动物体引起的测量误差,具有较高的工业应用价值。
条纹分析 三维重构 相移轮廓术 高动态范围 过曝光 激光与光电子学进展
2024, 61(4): 0412005
1 厦门大学 萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门36005
2 福建省能源材料科学与技术创新实验室(IKKEM),福建厦门361005
3 厦门大学 航空航天学院,福建厦门61102
4 厦门大学 物理科学与技术学院,福建厦门361005
5 厦门大学 九江研究院,江西九江332000
在MLA曝光工艺中,曝光点的数量庞大,通过高倍率显微镜配合人工目检来判定曝光质量耗时耗力,造成工艺成本偏高。为了解决这个问题,设计了一种便于检测的圆环形图案并引入深度学习中的目标检测Yolov5模型,一定程度上能够取代人工目检,完成对曝光质量的快速判定。基于上述方法,分析了不同光刻胶厚度之下,线能量密度的最优区间与光刻胶的剖面倾角。并在同等线能量密度下通过圆度判定曝光图案失真情况。在本研究的MLA曝光工艺中,选取光刻胶厚度、激光曝光功率以及加工平台移动速度作为自变量,评价曝光合格率、光刻胶剖面倾角以及曝光圆度等加工质量参数具有重要的工程意义。
无掩膜光刻 微透镜阵列 曝光合格率 目标检测 maskless lithogrophy microlens array qualification rate object detection
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
研究了常规光刻工艺下单晶薄膜晶圆制备声表面波滤波器的频率分散特性。结果表明,压电单晶薄膜的表面色差是引起频率分散性恶化的根本原因,采用抗反射膜工艺抑制衬底反射以及分区曝光工艺对不同色块进行曝光补偿,均能有效地提高片内频率一致性,频率2 MHz内包含最大器件数量占比,从常规曝光的48.81%提高到抗反射膜工艺的53.57%和分区曝光工艺的70.24%。
压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 曝光补偿 频率一致性 piezoelectric-on-insulator wafer antireflective film exposure compensation frequency consistency
1 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室,上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心,北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海 201800
4 中国科学院超强激光科学卓越创新中心,上海 201800
针对传统熔石英激光窗口在碱金属蒸气环境下易腐蚀的痛点问题,提出了在蓝宝石材料上制备增透微结构的方法,以实现耐高温、耐腐蚀的高透激光窗口。在理论仿真的基础上,采用干涉曝光与反应离子束刻蚀技术,在蓝宝石基底表面上制备了增透微结构,其对795 nm光的单面透过率达到99.23%。在此基础上,制备了双面增透微结构和一面增透微结构一面增透膜的蓝宝石窗口片,相较于蓝宝石基底,它们对795 nm光的透过率分别提升了12.13%和13.02%。高功率激光作用温升测试结果表明,当激光功率从35 W增加到99.6 W时,裸基板温度增加了5.9 ℃,但是双面增透样品的温升均为3.8 ℃,表明双面增透处理可以适当降低温升。同时,光束质量测试结果表明,当高功率激光作用下微结构窗口的温度控制在200 ℃以内时,双面增透样品的光束质量因子在横向上的变化小于0.05,在纵向上的变化小于0.06,表明该增透窗口对入射光光束质量的影响甚小。
薄膜 增透微结构 干涉曝光 反应离子束刻蚀 中国激光
2023, 50(22): 2203101
1 航天工程大学研究生院,北京 101416
2 航天工程大学,北京 101416
高动态范围成像图像是真实表示自然场景中高动态范围亮度的图像,可以反映更多自然场景的信息。多曝光融合以无需改进硬件、算法流程简单的优点成为重建高动态范围图像的重要手段之一,并已在手机相机、工业相机等多个领域得到广泛应用。首先,分别依据融合层次、运动像素处理方式对静态场景、动态场景的多曝光图像融合方法进行分类总结,并对基于深度学习的方法进行单独分析总结。其次,针对多曝光图像融合的相关数据集和性能评价指标进行综述,并对融合方法使用的性能评价指标进行汇总。最后,对多曝光图像融合研究值得关注的问题进行展望,提供了后续相关研究的思路。
多曝光图像融合 高动态范围图像 静态场景 动态场景 深度学习 激光与光电子学进展
2023, 60(22): 2200003