柔性微纳传感器的新兴发展对先进制造技术提出了更高要求。其中，激光融合制造充分集成激光增材、等材、减材加工形式，凭借高精度、非接触、机理丰富、灵活可控、高效环保、多材料兼容等特点突破了传统制造在多任务、多线程、多功能复合加工中的局限，通过激光与物质相互作用实现跨尺度“控形”与“控性”，为各类柔性微纳传感器的结构-材料-功能一体化制造开辟了新途径。本文首先分析激光增材、等材与减材制造的技术特点与典型目标材料，展示激光融合制造的技术优势，接着针对近年来激光融合制造在柔性物理、化学、电生理与多模态微纳传感器中的典型应用展开讨论，最后对该技术面临的挑战以及未来发展趋势进行了总结与展望，通过多学科交叉互融，开辟柔性微纳传感器制造新路径，拓展激光制造技术的应用场景。

激光直写技术因具有灵活的三维微纳结构加工制造能力，在工业以及各个科学领域中得到广泛应用，但要进入亚100 nm乃至亚50 nm尺度，实现高通量的三维纳米制造还是当前的技术难题。而这在后摩尔时代光电混合集成与多层堆叠集成高度发展的今天显得极为重要。从光学成像的角度，这个问题的核心就是要获得大视场和高分辨信息，即信息带宽积的最大化，在激光直写技术中，就是要实现高通量和高分辨刻写。本文将论述激光直写技术的发展，介绍本课题组在高通量激光纳米直写方向的研究进展。

研究了二氧化碳激光在吸收膜-金属表面的吸收问题,通过研究电磁学、光学常数和表面吸收率的关系,总结出在金属材料表面提高吸收率的表面膜材料的选择原则和有关最佳材料范围.