作者单位
摘要
河南工业大学理学院, 郑州 450001
采用射频(RF)磁控溅射法在石英衬底上制备了MoS2薄膜。通过正交试验研究了溅射时间、溅射温度、氩气流量和溅射功率对MoS2薄膜结构的影响。通过XRD、Raman、XPS、EDS和SEM对MoS2薄膜的结晶度、薄膜厚度和表面形貌进行分析,得到了制备MoS2薄膜的最佳工艺参数。发现溅射温度较高或较低结晶度都很差,在较低的溅射温度下样品的XRD衍射峰不明显。而当温度为250 ℃时,样品的XRD衍射峰较多,结晶度较好。根据正交试验法得出溅射温度对MoS2的结晶效果起着至关重要的作用,其次是氩气流量。当溅射温度为250 ℃,氩气流量为6 mL/min,溅射时间为30 min,溅射功率为300 W或400 W时,MoS2膜的结晶度较好。在这个条件下制备的膜较厚,但为以后的实验指明了方向。保持溅射温度、溅射功率和氩气流量不变,通过减少时间成功制备了厚度为58.9 nm的薄膜。
MoS2薄膜 射频磁控溅射 二维材料 正交试验法 工艺参数 MoS2 films RF magnetron sputtering two-dimensional material orthogonal test method process parameter 
人工晶体学报
2023, 52(2): 271
作者单位
摘要
天津航海仪器研究所,天津 300100
采用激光泵浦的方式实现了一种高灵敏度核磁共振磁力仪。该磁力仪采用87Rb-129Xe作为工作物质,利用共振激光泵浦极化性质活泼的碱金属原子87Rb,再通过自旋交换碰撞的方式使129Xe原子核自旋极化,在固定磁场和驱动磁场的作用下,原子宏观磁矩发生进动,且进动频率与固定磁场呈正比。当在固定磁场方向存在有外界磁场时,检测到的进动频率就会发生变化,通过检测进动频率的变化就可实现对磁场的精确测量。对此测磁方法的灵敏度、磁场响应线性度、分辨率等性能进行了测试,结果得到:测磁灵敏度为0.28pT/Hz1/2(@1 Hz),分辨率优于0.171 nT,且响应非线性度为0.662 6%。
核磁共振 激光泵浦 自旋交换 原子核自旋 进动频率 nuclear magnetic resonance laser pump spin exchange nuclear spin precession frequency 
应用激光
2021, 41(4): 902
作者单位
摘要
1 中国科学院理化技术研究所, 北京100190
2 中国科学院研究生院, 北京100049
3 云南师范大学化学化工学院, 云南 昆明650092
合成了一种新配体N,N-二[(二苯基膦)甲基]-2-吡啶胺(L)及其双核铜(Ⅰ)配合物(CuBrL)2 (1), 采用1H NMR、 吸收光谱、 质谱和元素分析等方法对化合物进行表征, 并通过X射线单晶衍射确定配合物1的晶体结构。 该晶体结构属三斜晶系, P-1空间点群。 配合物1是中心对称的双核Cu(Ⅰ)配合物, 中心离子Cu(Ⅰ)采取扭曲四面体空间构型, 分别与配体L的两个P原子和两个桥联的Br原子配位; 其中Cu-Cu距离为0.306 0 nm, 大于两个铜原子的范德华半径之和, 因此不存在Cu-Cu相互作用。 密度泛函理论(DFT)计算表明1的HOMO电子密度主要集中于铜和卤素原子, 而LUMO电子密度分布在配体(L)上。 研究工作表明, 配合物1的最低能级激发态通过金属到配体电荷跃迁(MLCT)和卤素到配体的电荷跃迁(XLCT)两种机制形成。
铜(Ⅰ) 双核配合物 光谱 吡啶胺 密度泛函理论 Copper(Ⅰ) Dinuclear complexes Spectroscopy Aminopyridine DFT 
光谱学与光谱分析
2010, 30(5): 1342
作者单位
摘要
上海交通大学 微纳科学技术研究院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室, 微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海 200240
报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127.8° Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对电极构成,其叉指周期为400 μm,宽度为100 μm,孔径为12 mm,整个器件的尺寸为26 mm×26 mm×0.45 mm。由于铌酸锂晶体的各向异性,叉指换能器沿Y、X方向的谐振频率不同,分别为9.3 MHz 和9.6 MHz。基于铜材料相对于铝材料的优点,选用了铜材料并采用剥离工艺制作了电极,得到了优化的工艺参数。最后,用了超长时间超声波辅助方法彻底去除残胶,实现了对水滴的二维驱动,输入功率为9 W,液滴运动的平均速率为5 mm/s。利用ANSYS软件分析了声表面波在铌酸锂衬底内的传播,内部振动的模拟结果与理论分析一致。实验表明,利用声表面波实现液体的二维驱动是可行的,该液体驱动原型可用于片上系统和μ-TAS。
液体驱动 声表面波 剥离工艺 有限元分析(FEA) liquid actuation Surface Acoustic Wave(SAW) lift-off process Finite Element Analysis (FEA) 
光学 精密工程
2009, 17(7): 1548
作者单位
摘要
1 上海交通大学 微纳米科学技术研究院 薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240
2 上海交通大学 生命科学技术研究院,上海 200240
考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在LiNbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器.为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结构,即浮动电极型单向换能器,然后利用ANSYS软件,对声表面波换能器进行了优化设计和分析,制作出了孔径尺寸为5mm,电极厚度为0.8μm,指宽为6.7μm,周期为80μm的浮动电极型单向换能器.该声表面波驱动器比以往的驱动器具有更高的谐振频率(接近50MHz)和更有效的方向可控性,从而有助于微光学控制系统的进一步微型化和可控化.
声表面波驱动器 微机电系统 浮动电极型单向换能器 Surface Acoustic Wave(SAW) actuator MEMS Floating Electrode Unidirectional Transducer(FEUDT 
光学 精密工程
2009, 17(6): 1300

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