竹敏 1,2,*宋航 1蒋红 1缪国庆 1[ ... ]陈一仁 1
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激发态物理重点实验室, 吉林 长春130033
2 中国科学院 研究生院, 北京100039
通过对多层GaSb量子点的生长研究, 发现随着生长层数的增加, 量子点尺寸逐渐变大, 密度没有明显变化, 并且量子点出现了聚集现象;当层数增加到一定数量、量子点聚集到一定大小时, 聚集的量子点处会出现空洞。这些现象表明, 各层量子点在生长过程中存在关联效应, 并且GaAs层不能很好地覆盖在聚集的量子点之上, 在继续生长其它量子点层时, 聚集的量子点处在高温下出现GaSb的蒸发, 从而出现空洞。 PL谱出现了很宽的量子点发光峰, 这很可能是由于多层量子点在生长时大小分布较宽而导致的结果。
GaSb量子点 PL谱 关联效应 LP-MOCVD LP-MOCVD GaSb quantum dots PL spectrum relatedness effects 
发光学报
2010, 31(6): 859
吴雷学 1,2,*汪韬 1王警卫 1,2李晓婷 3[ ... ]梅书刚 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
2 中国科学院研究生院,北京 100049
3 长安大学 理学院,西安 710061
4 ,中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
采用自制低压金属有机源化学气相沉积设备,在(100)面GaSb单晶衬底上生长了Ⅱ型InAs/GaSb超晶格材料.利用双晶X射线衍射、光学显微镜、原子力显微镜和光致发光谱等分析手段对材料特性进行了表征,获得了表面光亮的晶体质量较好的Ⅱ型InAs/GaSb超晶格材料,在77 K下得到光致发光谱峰值波长为3.25 μm.研究了生长温度、过渡层、界面层对其表面形貌的影响,得出生长温度在500 ℃~520 ℃,无过渡层,使用InAsSb界面层有利于改善材料的表面形貌.
超晶格 金属有机源化学气相沉积 界面层 表面形貌 Superlattices LP-MOCVD Interfacial layer Surface morphology 
光子学报
2009, 38(8): 1937
阎大伟 1,2,*宋航 2缪国庆 2于淑珍 1,2[ ... ]孙晓娟 2
作者单位
摘要
1 中国科学院激发态物理重点实验室, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春130033
2 中国科学院 研究生院, 北京100049
采用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术,在掺Fe的半绝缘InP衬底上制备了InAs0.157P0.843外延层。利用变温光致发光研究了InAs0.157P0.843外延层在13~300 K温度范围内的发光特性,通过理论分析与计算,证实了在应力作用下InAs0.157P0.843外延层价带顶的轻重空穴带发生了劈裂,并研究了导带底与价带顶轻空穴带之间形成的复合发光峰在应力作用下随温度的变化规律。
低压金属有机化学气相沉积 应力 变温光致发光 InAsxP1-x/InP InAsxP1-x/InP LP-MOCVD stress variable-temperature photoluminescence 
发光学报
2009, 30(3): 309
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学室,西安,710068
2 长安大学理学院,西安,710061
3 吉林大学电子工程学院,长春,130023
4 西北大学电子工程系,西安,710069
采用自制的低压金属有机化学汽相淀积LP-MOCVD设备,在(100)面GaSb单晶衬底上外延生长了InAsSb材料.用X射线双晶衍射、光学显微镜和扫描电镜、电子探针能谱仪等对材料特性进行了表征,分析研究了生长温度、V/Ⅲ比、过渡层等对外延层的影响.并且获得了与GaSb衬底晶格失配度较低的表面光亮的晶体质量较好的InAsSb外延层.
生长温度 LP-MOCVD LP-MOCVD GaSb InAsSb Growth temperature GaSb InAsSb 
光子学报
2005, 34(9): 1363
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学室,西安,710068
2 长安大学理学院,西安,710061
3 西北大学电子工程系,西安,710069
采用自制的低压金属有机化学汽相淀积LP-MOCVD设备, 在(100)面偏(110)面 9°的Ge单晶衬底上外延生长了GaInP2材料,研究了生长温度、Ⅴ/Ⅲ比、生长速率等生长参数对GaInP2材料的表面形貌和固相组分的影响.结果表明,当GaInP2材料的生长温度为650~680℃,生长速率为25~35 nm/min,Ⅴ/Ⅲ为180~220时,获得了满足级联电池的GaInP2材料.
材料 LP-MOCVD LP-MOCVD GaInP_2 Ge GaInP2 Material Ge 
光子学报
2005, 34(6): 909
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院激发态物理重点实验室,吉林 长春 130033
2 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春 130022
在经NH3等离子体氮化的Si(100)衬底上,用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)的方法生长了ZnO缓冲层,经X射线衍射(XRD)测量,得到了单一取向的ZnO(0002)膜.在此ZnO缓冲层上利用低压金属有机化学气相淀积(LP-MOCVD)方法生长了较高质量的ZnCdSe/ZnSe量子阱.通过不同阱宽的ZnCdSe/ZnSe量子阱生长和测量,得到了多级共振拉曼峰.从发光谱中可见,在520 nm附近有很强的发光,而在未覆盖ZnO的Si衬底上直接生长的ZnCdSe/ZnSe量子阱结构,其光致发光(PL)谱未见发光.可见,在氮化的Si衬底上覆盖ZnO膜生长的ZnCdSe/ZnSe量子阱质量较好,是一种在Si衬底上生长Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料的有效方法.
薄膜物理学 Si衬底 ZnCdSe/ZnSe量子阱 低压金属有机化学气相淀积 
中国激光
2004, 31(3): 297
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学室,西安,710068
2 长安大学基础课部,西安,710061
采用自制的低压金属有机化学汽相淀积LP-MOCVD设备, 在Ge衬底(100)面向(111)偏9°外延生长出GaAs电池结构,对电池材料进行了X射线衍射分析.另外,对由此材料制成的太阳电池进行了性能测试,测试结果表明,Ge衬底的高温处理工艺对GaAs/Ge太阳电池的电流电压特性有一定的影响.试验表明,在600~700℃之间高温处理效果较好.
太阳电池 LP-MOCVD GaAs/Ge 
光子学报
2003, 32(8): 921
作者单位
摘要
中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学室,西安,710068
本文采用自制的LP-MOCVD设备,外延生长出GaInP2/GaAs/Ge叠层太阳电池结构片,对电池材料进行了X射线衍射测试分析.另外,采用二次离子质谱仪测试了电池结构的剖面曲线.用此材料做出的叠层太阳电池,AMO条件下光电转换效率η=13.6%,开路电压Voc=2230mV,短路电流密度Jsc=12.6mA/cm2.
叠层太阳电池 LP-MOCVD GaInP2/GaAs/Ge 
光子学报
2002, 31(2): 209
作者单位
摘要
1 华南理工大学应用物理系,广州,510641
2 华南师范大学MOCVD实验室,广州,510631
本文分析了低压转盘MOCVD生长室中气流的流动特征,首次提出了在高温(700℃左右)下生长InGaAlP外延层时,抑制In组分脱吸附的“动压力模型”.解释了托盘转速和生长压力等生长参数对In组分控制的影响.
低压有机金属化学气相外延 动压力 In组分 LP-MOCVD InGaAlP InGaAlP the dynamical pressure In composition 
量子电子学报
2001, 18(2): 175
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心,北京 100083
报道了用低压金属有机物化学气相淀积(in Chinese)LP-MOCVD)方法外延生长InGaAsP/InP应变补偿多量子阱结构。用此材料制备的掩埋异质结(BH)条形结构多量子阱激光器具有极低阈值电流4~6 mA。20~40 ℃时特征温度T0高达67 K,室温下外量子效率为0.3 mW/mA。
应变补偿 激光器 
中国激光
1998, 25(9): 785

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