作者单位
摘要
南京理工大学 电子工程与光电技术学院,南京 210094
为了解决波像差检测中红外检测装置成本过高的问题,提出了一种单探测器红外菲索干涉仪光路设计方法,实现干涉图和对点成像共享同一近红外探测器与系统全部光学元件的货架商品化。基于菲索干涉原理,依据工作波长1 310 nm的近红外光纤激光器和12.8 mm×10.24 mm靶面的近红外探测器选型,结合20 mm口径的测量孔径需求,确立了干涉成像光路的垂轴放大率为1/2,对点成像光路的视场角为±1.2°。结合激光器0.14的数值孔径,确定准直光路的光圈数(F数)需大于3.54。首先计算准直光路、干涉成像光路和对点成像光路的共轭关系确定成像元件的基本参数,选择以索雷博在近红外波段的胶合透镜作为光学元件,考虑单镜组校正像差能力较差的情况,采用双透镜组的方式构建了准直镜和成像镜。然后通过分光镜和反射镜构成折叠光路结构,利用分光镜对光束的分束与合束,以及在对点光路中合理选择中继镜,实现干涉成像光路和对点成像光路对单探测器的共享。最终设计的干涉仪有效口径为20 mm,测量重复性优于λ/100,在保证波像差检测精度与口径的要求同时有力地控制了研制的成本。
光学设计 单探测器菲索型干涉仪 光路设计 近红外 经济成本 Optical design Single detector Fizeau interferometer Optical path design Near infrared Economic cost 
光子学报
2022, 51(6): 0622003
庄锦程 1张齐元 2王芳 3吴鹏 3[ ... ]韩森 3,*
作者单位
摘要
1 苏州科技大学 数理学院,江苏 苏州 215009
2 苏州维纳仪器有限责任公司,江苏 苏州 215123
3 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
现有的焦距检测方法通常由于检测仪器光源波长与光学系统不完全匹配从而产生纵向色差影响检测结果。针对这一问题,研究光学系统纵向色差的变化规律,并确定在400 nm~1 000 nm波段用于表示其函数关系的Conrady公式和复消色差特性公式。根据光学系统近焦位置的离焦量与位置呈线性关系的特性, 提出使用菲索干涉仪测量5种不同波长的焦距位置,获得单透镜和双胶合镜头的纵向色差曲线。实验结果表明: 在400 nm~1 000 nm波段单色系统和消色差系统的纵向色差的函数关系分别符合Conrady公式和复消色差特性公式,研究结果为焦距的理论计算和精确检测提供了新的思路和参考。
纵向色差 波长 单色系统 消色差系统 菲索干涉仪 longitudinal chromatic aberration wavelength monochromatic system achromatic system Fizeau interferometer 
应用光学
2020, 41(5): 1037
作者单位
摘要
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西 西安 710021
针对大平面菲索干涉图像的相干噪声问题,采用旋转毛玻璃片的方法改变光束的相干性,来降低干涉系统的噪声。通过对毛玻璃的转速与条纹对比度和系统信噪比之间的关系进行仿真,获得最佳干涉条纹状态所需要的毛玻璃控制参数。在不同控制参数下获取干涉图像,并分别对各图像的条纹对比度和系统信噪比进行分析。研究结果表明,增加的毛玻璃转速,虽然在一定程度上降低了干涉图像的对比度,但却有效地提高了信噪比,便于后续的干涉图像处理。
系统噪声 旋转毛玻璃 菲索干涉 信噪比 对比度 system noise rotated diffuser Fizeau interferometer signal-to-noise ratio (SNR) contrast 
光电工程
2018, 45(1): 170492
作者单位
摘要
1 西安工业大学 陕西省薄膜与检测技术重点实验室, 西安 710021
2 中国兵器科学研究院宁波分院, 浙江 宁波 315103
基于菲索干涉的变频相移技术, 提出一种分步相移标定方法.生成n组t步相移干涉图,每步相移为π/2;将每步的n组干涉图分别与初始干涉图做相乘和傅里叶变换运算, 在此基础上构建每步相移的误差函数;通过求取误差函数极值点来实现对每步相移值的准确标定.结果表明, 该标定方法的标定准确度优于传统标定方法, 且标定准确度提高了2~3个数量级.该方法不仅避免了传统相移标定中存在的随机误差, 也彻底消除了累积误差.
干涉测量 变频相移 相移标定 菲索干涉 傅里叶变换 Interferometry Wavelength tuning phase-shifting Phase-shifting calibration Fizeau interferometry Fourier transform 
光子学报
2016, 45(7): 070712001
作者单位
摘要
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密工程研究中心, 吉林 长春 130033
由于非共光路误差是菲索干涉仪进行高精度检测中最重要的误差因素之一,而非共光路误差是由于非理想的光学系统即干涉仪的出射波前不理想造成的,所以为了测量干涉仪的出射波前来评估干涉仪非共光路误差的大小,提出一种利用干涉仪猫眼位置绝对测量干涉仪出射波前的方法。该方法基于干涉仪自身的面形测量功能,操作非常简单,只需要一块反射镜就能够实现干涉仪出射波前的测量。该方法通过至少三个猫眼位置的测量得到干涉仪出射波前的自身剪切数据,然后通过基于旋转平移的绝对检测算法直接得到干涉仪的出射波前的二维波前数据。实验结果表明:该方面能够实现不包括Power在内均方根(RMS)值约为15 nm 的测量精度。该方法能够准确测量干涉仪出射波前,从而评估干涉仪非共光路误差。
测量 光学检测 猫眼 菲索干涉仪 波前 
中国激光
2015, 42(12): 1208002
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械及物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100039
3 中国人民解放军防化研究院, 北京 102205
针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求, 提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论, 通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表达形式; 然后根据旋转角度所引起的误差修正泽尼克系数进而修正旋转非对称项误差; 最后用数值仿真及实验的方法验证了校正模型的正确性。在旋转角度误差为0.1°条件下的仿真结果显示: N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.13%, 校正后面形误差RMS值为真实面形的6.79%; 实验结果显示: N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.28%, 校正后面形误差RMS值为真实面形的5.77%。这些结果证明所提出的校正模型准确可靠, 提高了旋转平均法的检测精度。
菲索干涉仪 旋转平均法 旋转非对称项面形误差 面形绝对检测 泽尼克多项式 Fizeau interferometer rotational averaging method rotationally asymmetric surface deviation absolute flatness detection Zernike polynomial 
光学 精密工程
2015, 23(5): 1297
作者单位
摘要
1 北京航空航天大学精密光机电一体化技术教育部重点实验室, 北京 100191
2 北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室, 北京 100191
间隙光纤光栅(g-FBG)兼具菲索干涉和相移光纤光栅(PSFBG)的特征,仿真研究和分析了g-FBG反射谱中菲索干涉谱型和相移光纤光栅谱型对微间隙和温度的敏感特性,提出了一种同时测量微间隙和温度的方法,并建立了测量模型。搭建g-FBG实验系统,测试了不同间隙下的反射谱,验证了仿真结果,数据分析表明微间隙测量误差小于±5 nm;制作g-FBG传感头,实现了位移和温度的同时测量,温度灵敏度为8.3 pm/℃,测量精度可达0.1 ℃。基于g-FBG的微间隙与温度同时测量技术具有精度高、体积小和设计灵活等优点。通过建立微间隙与温度的关联方程,可补偿由于温度变化对间隙测量的影响,实现温度无关的微间隙测量。
光纤光学 微间隙传感器 温度传感器 菲索干涉 相移光纤光栅 
中国激光
2014, 41(11): 1108003
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
为了得到干涉仪的空间频率响应特性,开展了针对干涉仪的仪器传递函数的测评方法研究。建立了干涉仪成像系统的仪器传递函数的理论计算模型,利用光学设计软件仿真了菲索型干涉仪检测光路,计算并分析了该干涉系统的仪器传递函数的理论值。对基于特定频率点下的正弦位相板的方法测评干涉仪的仪器传递函数进行仿真分析,并与干涉仪的仪器传递函数的理论值进行了比对,其最大误差不超过0.6%,验证了该方法的正确性。
菲索型干涉仪 干涉仪的仪器传递函数(ITF) 空间频率响应特性 调制传递函数(MTF) Fizeau interferometer Interferometer transfer function(ITF) spatial frequency responds Modulation Transfer Function(MTF) 
中国光学
2014, 7(1): 137
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在加速段和减速段的问题,详细设计了移相器的行进过程。最后,对移相器的性能进行了标定。在改造后的干涉仪上开展了重复性验证实验,结果表明:干涉仪可以获得λ/11 340的RMS测量重复性。对改造后干涉仪与Zygo公司生产的Verifire XP/D干涉仪的测量精度做了比对实验,结果显示:相同元件下两者测量结果的面形RMS之差约为09 nm,表明提出的移相系统及移相方法在重复性和准确度方面都能满足纳米级面形测量的要求,为研制高精度移相干涉仪奠定了基础。
菲索干涉仪 移相系统 同步采集 面形测量 标定 Fizeau interferometer phase-shifting system synchronous acquisition surface measurement calibration 
中国光学
2013, 6(2): 244
作者单位
摘要
1 中国科学院 长春光学机密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院, 北京 100039
3 空军驻长春地区军事代表室, 吉林 长春 130033
4 二炮驻锦州地区专装军事代表室, 辽宁 锦州 121000
设计了菲索式合成孔径望远镜光学系统, 用3个小口径子孔径合成大口径以获得等效大口径的分辨率。首先, 兼顾空间频率u-v覆盖和结构简单化, 选择子孔径排列方式为Golay-3阵列, 填充因子F=044。然后, 依据光学系统结构特性, 将光学系统分成子孔径、光束控制器和光束组合器, 分别进行光学设计。无焦式子孔径采用后接双胶合消色差透镜的卡塞格林结构, 孔径为300 mm, 视场为02°, 角放大率为10。光束组合器为五片式结构, 采用高折射率玻璃和特殊部分色散玻璃, 焦距为600 mm, F/#=6, 视场为2°。分析总系统点扩散函数和调制传递函数显示: 总系统等效口径为子孔径口径的189倍, 总系统角分辨率为024″。
菲索型望远镜 合成孔径 Golay-3阵列 光学系统设计 Fizeau type telescope synthetic aperture Golay-3 array optical system design 
中国光学
2012, 5(4): 380

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