作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
该文提出了基于钽酸锂漏波材料设计的扇形声表滤波器。钽酸锂在36°Y-X切向时,其机电耦合系数(ΔV/V)为2.4%、频率温度系数(TCF)为-32×10-6/℃。36°Y-X钽酸锂具有较强的压电耦合性和适中的温度稳定性,用它设计相对带宽5%~10%的滤波器可以实现较小的插入损耗和适中的温度稳定性,器件实测结果与仿真相符。
扇形声表滤波器 漏波材料 36°Y-X钽酸锂 插入损耗 温度稳定性 fan-shaped SAW filter leaky wave material 36°Y-X LiTaO3 insertion loss temperature stability 
压电与声光
2023, 45(5): 674
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060
绝缘体上压电基板(POI)是一种新兴的压电单晶复合薄膜结构材料。POI基板由压电单晶材料薄层(单晶钽酸锂/铌酸锂)、二氧化硅层及高阻硅衬底构成, 采用Smart-Cut工艺制备, 可保证板层高均匀度及高质量的批量生产。通过这种基板可设计满足5G通信要求的高性能集成声表面波(SAW)谐振器和滤波器。基于POI材料制备的SAW器件具有高频、高品质因数(Q)值、低温度敏感性及较大带宽等优良特性, 同时还能在同一芯片上集成多个SAW滤波器, 具有广阔的市场应用前景。该文介绍了POI基板的制备、国内外的研究现状及POI基板在高性能SAW滤波器中的应用, 综述了制备POI基板的关键技术并展望了未来的发展趋势。
绝缘体上单晶钽酸锂薄膜(LTOI) POI基板 声表面波 智能剥离技术 晶体离子注入剥离(CIS) 晶圆键合 LiTaO3-on-insulator(LTOI) piezo-on-insulator(POI) substrate surface acoustic wave (SAW) Smart-Cut process crystal ion slicing(CIS) wafer bonding 
压电与声光
2023, 45(1): 66
作者单位
摘要
1 中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
2 重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆 400044
通讯系统传输效率的提升对滤波器带宽的要求越来越高,如果使用常规声表面波(SAW)滤波器设计技术,则将面临损耗大或带宽达不到要求的问题。该文根据系列宽带SAW滤波器产品开发结果,总结了采用特殊技术用LiTaO3压电基片实现相对带宽8%以上的宽带SAW滤波器设计方法,其包括利用外围电感、电容增加SAW谐振器的谐振频率和反谐振频率的间隔,提高阻抗元滤波器带宽;利用多模式纵向耦合谐振滤波器结构增加滤波器带宽;利用双通带滤波器并联结构获得大带宽滤波器。上述方法各有优缺点,其均能获得约为9%的带宽。
钽酸锂 声表面波 大带宽 滤波器 LiTaO3 SAW wide bandwidth filter 
压电与声光
2022, 44(5): 726
作者单位
摘要
中电科仪器仪表有限公司, 山东青岛266555
针对自由空间和波导传输太赫兹辐射功率兼容测试的需求,开展了光敏面直径为10 mm的多功能太赫兹热释电探测器的相关研究。通过有限元分析及热电耦合仿真设计,建立了敏感元件由100 m 厚的钽酸锂(LiTaO3)晶片和碳纳米管吸收层组成的太赫兹热释电探测器模型;采用优化的精确减薄抛光和剥离等关键工艺,重点攻克了采用大晶片多阵列方式制作LiTaO3基太赫兹热释电探测器敏感元件的工艺难题,并完成了太赫兹热释电探测器的研制。在设定条件下,该探测器的响应度为371.8 V/W,噪声等效功率为0.34 nW/Hz1/2。实验结果表明,设计并制作的太赫兹热释电探测器的集成度高、响应度良好、噪声等效功率低,能够有效解决大光斑太赫兹光束功率测试问题。
钽酸锂 太赫兹探测器 大晶片多阵列 精确减薄 LiTaO3 terahertz detector large wafer and multi-array precise thinning 
红外
2020, 41(4): 14
作者单位
摘要
电子科技大学 光电科学与工程学院, 成都 610054
用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积了LiTaO3薄膜, 并在氧气气氛中不同温度下进行退火。采用SEM、XRD、XPS等表征方法分析了薄膜的结晶性能、各元素化学价态和元素原子百分比。结果表明, 经700℃退火处理1h得到的薄膜结晶性能最好, 在(104)晶向上具有强烈的择优取向性。薄膜退火温度的升高导致薄膜中Li空位缺陷和O空位缺陷减少。研究表明, 薄膜中O/Li的原子比对结晶性能有着非常明显的影响, 原子值越接近晶体化学计量比, 结晶性能越好。
钽酸锂 铁电薄膜 射频磁控溅射 结晶性能 近化学计量比 LiTaO3 ferroelectric film RF magnetron sputtering crystallization behavior near stoichiometric 
半导体光电
2019, 40(6): 806
作者单位
摘要
南京航空航天大学理学院, 江苏 南京 211106
采用提拉法生长了双掺杂钕离子(Nd 3+)和铟离子(In 3+)的同成分LiTaO3单晶。测量了该单晶的紫外-可见光吸收光谱,分析了该晶体的缺陷结构,得到了铟离子的掺杂浓度阈值。当铟离子掺杂浓度达到该阈值时,In∶Nd∶LiTaO3晶体的抗光损伤能力显著增强。铟离子取代晶体中的反位T aLi4+,使晶体光电导增大,减弱了光折变效应。In∶Nd∶LiTaO3晶体在光波长0.808 μm处的吸收峰的半峰全宽为15 nm,吸收截面为5.26×10 -21 cm 2。采用0.808 μm半导体激光作为抽运源,钕离子在光波长1.06 μm处出现强烈的荧光带。这些研究结果表明, In∶Nd∶LiTaO3 作为多功能晶体可以应用于高功率的光子学或光电子学器件中。
材料 钽酸锂晶体 缺陷结构 光损伤 荧光特性 
光学学报
2018, 38(1): 0116003
作者单位
摘要
电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054
太赫兹(Thz)探测器工作在室温条件下极大地促进了太赫兹科学与技术的应用。超薄(10μm)钽酸锂(LiTaO3)晶片被用作太赫兹探测器敏感元材料。基于钽酸锂晶片太赫兹探测器在2.52 THz激光辐射源照射下, 20Hz斩波频率时响应率可达到8.38×104V/W, 等效噪声功率NEP)可达到1.26×10-10W。这种加工超薄钽酸锂晶片的方法为制备高响应率太赫兹探测器提供了一个可行的方法。
太赫兹探测器 钽酸锂晶片 化学研磨及机械抛光 电压响应率 噪声等效功率 THz detector Lithium tantalate (LiTaO3) wafer chemical grinding and mechanical polishing Voltage responsivity noise equivalent power 
红外与毫米波学报
2016, 35(5): 520
作者单位
摘要
中国工程物理研究院流体物理研究所, 四川 绵阳621900
利用显微共聚焦拉曼光谱技术研究了LiTaO3晶体在298~948 K温度范围内的拉曼光谱, 通过对其高波数拉曼峰的分析, 研究了LiTaO3的相变机制。 研究发现, 除466.7 cm-1峰外, LiTaO3的其余拉曼峰随着温度的升高向低波数方向明显频移; 所有拉曼峰的半高宽随着温度的升高逐渐增加, 同时拉曼峰的强度逐渐减弱; 在933 K附近, LiTaO3的三个拉曼峰的消失, 表明LiTaO3发生了从低温铁电相到高温顺电相的相变; 与此同时, 在该温度附近, 359.5, 385.0以及466.7 cm-1峰的半高宽存在超线性增加。 研究结果表明, LiTaO3从低温铁电相到高温顺电相的相变是一种混合型相变, 其相变过程可逆。
LiTaO3晶体 高温拉曼光谱 相变 LiTaO3 crystal High temperature Raman spectrum Phase transition 
光谱学与光谱分析
2012, 32(4): 985
作者单位
摘要
中国工程物理研究院应用电子学研究所, 四川 绵阳 621900
对基于周期极化钽酸锂(PPLT)晶体的光参变振荡器(OPO)技术进行了理论分析和实验研究,通过三波混频耦合波方程组,计算了PPLT-OPO的波长调谐曲线。分别研究了信号光单谐振结构(SSRO)和闲频光单谐振结构(ISRO)下,PPLT-OPO的中红外激光输出特性。当NdYAG激光器输出的1.064 μm激光抽运功率为48 W,重复频率为5 kHz时,SSRO和ISRO输出的3.9 μm中红外激光功率分别为5.78 W和5.07 W,相应的转换效率分别为12%和10.6%,ISRO输出的3.9 μm激光的近场光斑分布和光束质量优于SSRO的输出结果。
激光器 中红外激光 光参变振荡器 PPLT晶体 单谐振 可调谐 
光学学报
2011, 31(6): 0614001
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院流体物理研究所冲击波物理与爆轰物理实验室,绵阳,621900
2 中国科技大学化学物理系,合肥,230026
利用基于密度泛函理论的平面波赝势结合局域密度近似的从头算方法,计算了LiTaO3晶体在0~200 GPa压力范围内的冷压曲线(P-V/V0)和零温焓,以研究它的高压结构相变.参照同构体LiNbO3的高压相结构,对LiTaO3的菱形相(R3c对称群,室温大气压结构)和正交相(Pbnm对称群)进行计算.结果表明,菱形相压缩线与低压冲击实验数据和静压结果符合较好,而正交相压缩线与扣除热压贡献的高压冲击实验数据相符;正交相更难压缩且各轴向的压缩率不同,对应的常态密度比菱形相高约24 %.理论预测的相变起始压力约为23 GPa.由此可见LiTaO3的冲击高压相具有正交对称性,与LiNbO3的室温高压相类似.
LiTaO3晶体 高压相变 密度泛函理论 平面波赝势 局域密度近似 
原子与分子物理学报
2007, 24(3): 641

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